一种轴承内圈滚道强化处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种轴承内圈滚道强化处理装置，它包括真空处理室、高压靶台、旋转机构、传动机构、等离子体产生器、大功率高压脉冲电源、供气系统和高真空抽气系统。通过本实用新型专利技术装置，形成一套完整的轴承内圈滚道离子注入处理设备。射频电源建立射频放电氮、碳、氩等离子体，大功率高压脉冲电源对被处理内圈滚道提供负高压脉冲偏压，以实施离子注入或薄膜沉积处理。冷却套上的轴承内圈在缓慢旋转，表面获得较均匀的注入剂量，使得轴承内圈滚道获得较均匀的注入剂量；强化处理效果更好。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种轴承内圈滚道强化处理装置，属于轴承内圈滚道表面强化处理生产设备及其制造领域。
技术介绍
我国是轴承生产大国、轴承出口数量占世界首位，但国产轴承大多为中、低档轴承，附加值较低，加上企业之间的无序竞争，利润率非常低；然而我国军工企业、航空、航天等高新技术与科学研究、原子能发电站、高速列车等等行业急需要的长寿命高端轴承、特种轴承大多需要进口。由于国产轴承钢冶金质量和国外轴承钢差距较大，以及由于国产轴承在设计、制造、润滑、装配等方面与国外的差距，使国产轴承与国外轴承相比，其抗磨损、抗腐蚀、抗疲劳性能较差，使用寿命较低。等离子体浸泡式离子注入工艺不存在类似薄膜的剥落问题，可以精确控制注入离子数量，其控制方法是检测注入电荷的数量和能量，能保持试样表面粗糙度，不影响尺寸精度。由于离子注入工艺特点很适用轴承的表面改性处理，它不用改变轴承的材料、设计和机械加工工艺就可达到轴承延长的目的。等离子体浸泡式离子注入(PIII)是一种新颖离子注入技术，它消除了束线离子注入技术固有的直射性限制，设备较简单、投资费用较低、但只能小批量处理零件，得不到了迅速发展。
技术实现思路
本技术目的是提供一种可对轴承内圈进行等离子体注入的强化处理装置。本技术的方案如下:一种轴承内圈滚道强化处理装置，包括真空处理室、高压靶台、旋转机构、传动机构、等离子体产生器、大功率高压脉冲电源、供气系统和高真空抽气系统；所述的真空处理室包括钟罩、底板，所述的钟罩置于底板上方；所述的高压靶台包括靶台圆盘和绝缘支座，所述的绝缘支座一端固定在底板上，另一端固定在靶台圆盘底部将其支撑固定；所述的靶台圆盘上设置冷却套，该冷却套一端穿过靶台圆盘；所述的旋转机构包括传动轴和齿轮组；所述的传动轴一端穿过底板，另一端活动固定在高压靶台底壁上;所述的齿轮组包括转矩分配齿轮、内圈旋转齿轮和过渡齿轮，所述的转矩分配齿轮套接在传动轴，其周边配合四个被冷却套一端套接的内圈旋转齿轮；所述的过滤齿轮用于配合连接远处端的内圈旋转齿轮。所述的等离子体产生器包括射频电源和条态弧形电极，射频电源一端与设置于真空处理室内的条态弧形电极连接，另一端与钟罩连接；所述的高真空抽气系统包括涡轮分子栗和旋片式真空栗，所述的真空栗与涡轮分子栗连接，所述的涡轮分子栗吸入口穿过底板与真空处理室连通；所述的供气系统包括钢瓶、气体质量流量计、电磁阀、混气室和布气管，所述的气体质量流量计两端分别连接电磁阀，两端的电磁阀分别与钢瓶、混气室连接；所述的混气室与真空处理室内的布气管连接；所述的大功率高压脉冲电源负极与靶台圆盘连接，正极与底板连接并接地。进一步，所述的传动机构包括减速电机、主动齿轮和被动齿轮，减速电机与主动齿轮连接，主动齿轮与被动齿轮配合，所述的被动齿轮套接在传动轴上。进一步，所述的真空处理室还包括视窗和铅皮罩，所述的铅皮罩置于钟罩外且将钟罩包围；所述的视窗穿过铅皮罩及钟罩。进一步，所述的钟罩外设置半幅式水道冷却管。进一步，所述的的布气管一端封闭，管壁上分布若干个通孔。本实用新新型的真空处理室、高压靶台、旋转机构、传动机构、等离子体产生器、大功率高压脉冲电源、供气系统和高真空抽气系统，形成一套完整的轴承内圈滚道离子注入处理设备。射频电源建立射频放电氮、碳、氩等离子体，大功率高压脉冲电源对被处理轴承内圈滚道提供负高压脉冲偏压，以实施离子注入或薄膜沉积处理。冷却套上的轴承内圈在缓慢旋转，表面获得较均匀的注入剂量，使得轴承内圈滚道获得较均匀的注入剂量；强化处理效果更好。【附图说明】图1为本技术的结构示意图。图2为本技术冷却套与轴承内圈的连接结构示意图。图3为本技术冷却套的结构示意图。图4为本技术齿轮组的结构示意图。【具体实施方式】下面结合附图对本技术做进一步说明。—种轴承内圈强化处理装置，包括真空处理室、高压靶台、旋转机构、传动机构、等离子体产生器、大功率高压脉冲电源、供气系统和高真空抽气系统。真空处理室包括钟罩1、底板2，钟罩1置于底板2上方；本技术设置有铅皮罩30置于钟罩外且将钟罩包围；视窗31穿过铅皮罩及钟罩。在设备运行过程中同时会产生软X射线及RF电磁辐射，他们均对人体有损伤作用，必需适当防护。在设备中，由于注入电压不太高，仅为20-35kV，因此由离子轰击零件表面所撞击出的二次电子能量不是很高，器壁产生的软X射线也不会太强，但仍然可能伤害工作人员的健康。用3_厚的高纯防护铅皮严密包裹真空处理处理室外表面，可有效地屏蔽所产生的软X射线，使真空处理室外泄漏的软X射线剂量远低于非放射性工作者允许的最低剂量。高压靶台包括靶台圆盘8和绝缘支座6，绝缘支座6 —端固定在底板上，另一端固定在靶台圆盘3底部将其支撑固定；靶台圆盘8上设置冷却套5，该冷却套5—端穿过靶台圆盘8。冷却套由套体51、套座52和伸出端53构成；套体中空，通入冷却液；套座用于支撑轴承内圈；伸出端穿过靶台圆盘，伸出端与靶台圆盘间设置滑动轴承，使得冷却套可以在靶台圆盘上旋转。冷却套内穿过输油管，输油管底端设置有旋转接头9，旋转接头上设置进油口 35当前第1页1 2 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种轴承内圈滚道强化处理装置,其特征在于，包括真空处理室、高压靶台、旋转机构、传动机构、等离子体产生器、大功率高压脉冲电源、供气系统和高真空抽气系统；所述的真空处理室包括钟罩、底板，所述的钟罩置于底板上方；所述的高压靶台包括靶台圆盘和绝缘支座，所述的绝缘支座一端固定在底板上，另一端固定在靶台圆盘底部将其支撑固定；所述的靶台圆盘上设置冷却套，该冷却套一端穿过靶台圆盘；所述的旋转机构包括传动轴和齿轮组；所述的传动轴一端穿过底板，另一端活动固定在高压靶台底壁上；所述的齿轮组包括转矩分配齿轮、内圈旋转齿轮和过渡齿轮，所述的转矩分配齿轮套接在传动轴上，其周边配合四个被冷却套一端套接的内圈旋转齿轮；所述的过渡齿轮用于配合连接远处端的内圈旋转齿轮；所述的等离子体产生器包括射频电源和条态弧形电极，射频电源一端与设置于真空处理室内的条态弧形电极连接，另一端与钟罩连接；所述的高真空抽气系统包括涡轮分子泵和旋片式真空泵，所述的真空泵与涡轮分子泵连接，所述的涡轮分子泵吸入口穿过底板与真空处理室连通；所述的供气系统包括钢瓶、气体质量流量计、电磁阀、混气室和布气管，所述的气体质量流量计两端分别连接电磁阀，两端的电磁阀分别与钢瓶、混气室连接；所述的混气室与真空处理室内的布气管连接；所述的大功率高压脉冲电源负极与靶台圆盘连接，正极与底板连接并接地。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：傅小林，洪学江，孙新民，翁慧成，柴林，
申请(专利权)人：黄山迈瑞机械设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34