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本发明的一种用于高真空下类金刚石基固-液复合润滑薄膜的制备方法，包括如下步骤：首先以铝合金、钛合金、轴承钢作为基体材料，使用前进行抛光、丙酮超声清洗、无水乙醇超声清洗、烘干并置于真空室中，抽真空至5.0×10-3Pa，在沉积薄膜前对样件进行...
该专利属于上海航天设备制造总厂所有，仅供学习研究参考，未经过上海航天设备制造总厂授权不得商用。

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