涂敷装置及其改良方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种涂敷装置及其改良方法，该涂敷装置具备涂敷对象物的移送功能，能够使设备节约空间化，并且在因设备的布局变更等进行移动设置时，也不会招致成本提高。在涂敷装置(1)中，具有喷出涂敷液的喷嘴(7)的移动体(6)与载置于工作台(4)的基板(3)相对移动，向基板涂敷从喷嘴喷出的涂敷液，支承基板且将其向工作台移送的支承臂(10)设于移动体。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，该涂敷装置具备涂敷对象物的移送功能，能够使设备节约空间化，并且即便因设备的布局变更等进行移动设置时，也不会招致成本提闻。
技术介绍
作为使涂敷涂敷液的喷嘴与涂敷对象物相对地移动且向涂敷对象物涂敷涂敷液的涂敷装置，例如，已知有专利文献1。在专利文献1的“涂敷装置及涂敷方法、以及滤色器制造装置及制造方法”的涂敷方法中，通过一边使具有喷出涂敷液的喷出口的涂敷器向保持在工作台上的基板的涂敷位置移动，一边从该涂敷器喷出涂敷液，从而在基板表面上形成涂膜，所述工作台能够不重叠地保持多个基板，在向载置于该工作台上的任意基板保持位置的基板形成涂膜期间，在其他的基板保持位置处进行基板的排出和/或基板的载置。尤其是，向工作台搬入基板且从工作台搬出基板的移动载置装置(机器人)相对于设置有工作台的基底，设置在基板搬运方向上游侧以及下游侧。专利文献1:日本特开2002-102771号公报在
技术介绍
中，涂敷装置与进行基板的搬入搬出的机器人等移动载置装置独立设置。因此，需要能够设置涂敷装置以及移动载置装置这两者的宽敞空间。另外，在进行设备的布局变更、设备的转移等时，出于工厂等的空间狭小本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种涂敷装置，其中，具有喷出涂敷液的喷嘴的喷嘴单元与载置于工作台的涂敷对象物相对移动，向涂敷对象物涂敷从该喷嘴喷出的涂敷液，所述涂敷装置的特征在于，支承涂敷对象物且将其向所述工作台移送的支承臂设于所述喷嘴单元。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：魏志丹，横山雅树，
申请(专利权)人：中外炉工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP