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本发明提供一种涂敷装置及其改良方法，该涂敷装置具备涂敷对象物的移送功能，能够使设备节约空间化，并且在因设备的布局变更等进行移动设置时，也不会招致成本提高。在涂敷装置(1)中，具有喷出涂敷液的喷嘴(7)的移动体(6)与载置于工作台(4)的基板...
该专利属于中外炉工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过中外炉工业株式会社授权不得商用。

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