为了提供能够对于测量与被计测气体相关的物理量的测量部，减少受到被计测气体以外的热效应的物理量测量装置，该装置包括：芯片封装(40)，利用高分子树脂对测量与被计测气体相关的第1及第2物理量的第1及第2测量部、和信号处理部进行模塑成型，信号处理部与第1及第2测量部连接，处理来自第1及第2的测量部的信号；及壳体(11)，固定并容纳芯片封装(40)，且形成有使从主通道(70)导入的被计测气体流至第1测量部的第1及第2旁通通道(12、14)，芯片封装(40)中，在第1及第2测量部之间配置有信号处理部(44)，壳体(11)通过使来自主通道(70)的被计测气体在第1测量部和第2测量部间流动，形成冷却信号处理部(44)的冷却部。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种适合于对与被计测气体相关的物理量进行测量的物理量测量装置。
技术介绍
以往，存在具有对被计测气体的流量、压力、温度、或湿度等物理量进行测量的测量部的物理量测量装置。可以列举例如具有流量测量元件来作为对物理量进行测量的测量部的一个的流量测量装置等。流量测量元件当中，热式的流量测量元件是在硅基台上形成加热元件和热电元件，根据该加热元件的热的移动来对测量部的流量进行测量的传感器。由于该流量传感器能够对较广流量域进行测量，精度也较好且成本低，因而被广泛地使用于从民用到工业用的计测器中。另外，大规模集成电路由于近年来集成度大幅地提高，大小与功能之比非常出色，因而不论民用/工业用被使用于所有的电子设备中。在汽车领域中，例如内燃机中采用吸入空气流量测量装置，吸入空气流量测量装置至少包括形成副空气通道的壳体和配置于副空气通道(副通道)的流量传感器。通过将该吸入空气流量测量装置配置于主通道(也称作进气管路或进气管)，来把流经主通道的吸入空气的一部分导入副空气通道中。导入的吸入空气由流量传感器的流量检测部输出与吸入空气流量相应的信号，由流量传感器的大规模集成电路(信号处理部)对输出的信号进行信号处理。尤其，近年来，采用电子控制式燃料喷射装置的汽车已经一般化了，但发动机室内密集配置有传感器及控制设备。随此，连接各种传感器与对该传感器进行控制的控制设备之间的电线束的根数也增加，复杂地伸入。为此，通过将多个传感器及控制设备一体化来减少部件个数，进而谋求提高发动机室内的景观。因此，从减少部件个数、提高景观的观点，存在除了吸入空气流量以外，将例如温度测量部、湿度测量部、或压力测量部等的对物理量进行测量的部分一体地组装到装置中的倾向。例如作为这样的装置的一个例子，专利文献1中记载有“一种吸入空气流量测量装置，其由计测进气管内的吸入空气流量的空气流量测量装置、和检测进气管内的湿度的湿度检测装置一体地构成，检测吸入空气流量的空气流量检测元件被安装于将流经所述进气管的空气的一部分导入的副空气通道的内部，且检测湿度的湿度检测部被安装于在所述副空气通道的内部开口的第二副空气通道中”。 现有技术文献专利文献 专利文献1日本专利特开2010-43883号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题然而，在如专利文献1的装置的情况下，由于对与被计测气体相关的物理量进行测量的多个测量部汇集于一个装置内而得以一体化，因而这些测量部容易受到相互的热效应。而且，由于作为大规模集成电路的信号处理部，近年来在其集成度增大的同时，因与这些多个测量部电连接而容易发热。其结果，各测量部受到被计测气体以外的其他的测量部或信号处理部的热效应，因而其测量精度可能会降低。本专利技术正是鉴于这点而完成的，其目的在于，提供一种物理量测量装置，其对于测量与被计测气体相关的物理量的测量部，能够减少受到被计测气体以外的热效应。 用于解决课题的手段为了解决上述问题，本专利技术所涉及的物理量测量装置包括:芯片封装，其利用高分子树脂对第1测量部、第2测量部和信号处理部进行模塑成型，所述第1测量部对与从主通道导入的被计测气体相关的第1物理量进行测量，所述第2测量部对与从主通道导入的被计测气体相关的第2物理量进行测量，所述信号处理部与所述第1测量部及所述第2测量部连接，至少对来自该第1测量部及第2测量部的信号进行处理；以及壳体，所述壳体固定并容纳所述芯片封装，且形成有第1旁通通道和第2旁通通道，所述第1旁通通道使从主通道导入的被计测气体流至所述第1测量部，第2旁通通道使从主通道导入的被计测气体流至所述第2测量部，芯片封装中，在所述第1测量部和所述第2测量部之间配置有所述信号处理部，在所述壳体形成有冷却部，所述冷却部利用使来自所述主通道的被计测气体在所述第1测量部和所述第2测量部之间流动，来对所述信号处理部进行冷却。 专利技术的效果根据本专利技术，对于测量与被计测气体相关的物理量的测量部，能够减少受到被计测气体以外的热效应。【附图说明】图1是示出将热式流量计作为本专利技术所涉及的物理量测量装置使用于电子燃料喷射方式的内燃机控制系统中的一实施方式的系统图。 图2是示出将本专利技术的一实施方式所涉及的热式流量计安装于进气管后的状态的立体图。 图3是本实施方式所涉及的芯片封装的立体图。 图4的㈧是图3所示的芯片封装的侧视图；图4的⑶是图4的㈧所示的A-A线向视截面图。 图5是从上游侧看到的图2所示的热式流量计的侧视图。 图6是图5的B部放大图。 图7是图2所示的热式流量计的正视图。 图8是图7所示的C-C线向视截面图。 图9是取下图2所示的热式流量计的盖的图，图9的(A)是取下正面盖后的状态的正视图、图9的(B)是取下背面侧盖后的状态的后视图。 图10是图9的(A)所示的热式流量计的立体图。图11是图10的D部放大图。【具体实施方式】以下，根据附图对本专利技术的实施方式进行说明。 在以下的实施方式中，作为本专利技术所涉及的物理量测量装置的一个例子，是将对被计测气体的流量和湿度进行测量的热式流量计搭载于内燃机的例子，只要能够期待如下所示的作用效果的话，其测量的物理量及所搭载的设备并不限定于此。图1是示出将本实施方式所涉及的热式流量计使用于电子燃料喷射方式的内燃机控制系统的一实施方式的系统图。如图1所示，根据包括发动机汽缸112和发动机活塞114的内燃机110的动作，吸入空气作为被计测气体IA从空气滤清器122被吸入，并借助包含形成有主通道70的进气管71的例如进气主体、节流阀主体126、进气歧管128被导入至发动机汽缸112的燃烧室。作为被导入至燃烧室的吸入空气的被计测气体IA的流量用本实施方式所涉及的热式流量计10来计测，根据所计测的流量，由燃料喷射阀152供给燃料，与作为吸入空气的被计测气体IA—起以混合气体的状态被导入至燃烧室。此外，在本实施方式中，燃料喷射阀152被设在内燃机的进气端口，喷射至进气端口的燃料与作为吸入空气的被计测气体IA一起形成混合气体，借助进气阀116被导入至燃烧室，燃烧并产生机械能。热式流量计10不仅能够使用于将燃料喷射至图1所示的内燃机的进气端口的方式，而且同样地也能够使用于将燃料喷射至各燃烧室的方式。两种方式的包含热式流量计10的使用方法的控制参数的计测方法及包含燃料供给量、点火正时的内燃机的控制方法的基本概念大致相同，作为两种方式的代表例，图1中示出了将燃料喷射至进气端口的方式。被导入至燃烧室的燃料及空气形成燃料和空气的混合状态，通过火花塞154的火花点火，爆炸性地燃烧，且产生机械能。燃烧后的气体从排气阀118被导入至排气管，作为排气EA从排气管被排出车外。作为被导入至所述燃烧室的吸入空气的被计测气体IA的流量可以通过根据加速器踏板的操作使其开度变化的节流阀132来进行控制。根据被导入至所述燃烧室的吸入空气的流量可以控制燃料供给量，驾驶员通过对节流阀132的开度进行控制并对被导入至所述燃烧室的吸入空气的流量进行控制，便能够对内燃机产生的机械能进行控制。作为从空气滤清器122导入且流经主通道70的吸入空气的被计测气体IA的流量、湿度及温度，利用热式流量计10进行计测，由热式流量计10将表示吸入空气的流量、湿度及温度的电信号输入至控制装置20本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种物理量测量装置，其特征在于，包括：芯片封装，其利用高分子树脂对第1测量部、第2测量部和信号处理部进行模塑成型，所述第1测量部对与从主通道导入的被计测气体相关的第1物理量进行测量，所述第2测量部对与从主通道导入的被计测气体相关的第2物理量进行测量，所述信号处理部与所述第1测量部及所述第2测量部连接，至少对来自该第1测量部及第2测量部的信号进行处理；以及壳体，所述壳体固定并容纳所述芯片封装，且形成有第1旁通通道和第2旁通通道，所述第1旁通通道使从主通道导入的被计测气体流至所述第1测量部，第2旁通通道使从主通道导入的被计测气体流至所述第2测量部，所述芯片封装中，在所述第1测量部和所述第2测量部之间配置有所述信号处理部，在所述壳体形成有冷却部，所述冷却部利用使来自所述主通道的被计测气体在所述第1测量部和所述第2测量部之间流动，来对所述信号处理部进行冷却。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：矶谷有毅，星加浩昭，余语孝之，三木崇裕，
申请(专利权)人：日立汽车系统株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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