二硅化钼基陶瓷加热元件保持结构制造技术

一种二硅化钼基陶瓷加热元件保持结构(H)包括：保持构件，该保持构件附接到底座部分(14)并且保持伸长支撑构件(12)；和伸长支撑构件(12)，该伸长支撑构件(12)被保持构件(13)保持，用于将伸长形状的二硅化钼基陶瓷加热元件(11)在伸长支撑构件(12)的长轴线方向上间隔地安装，其中，安装在伸长支撑构件(12)上的伸长二硅化钼基陶瓷加热元件(11)能够在不破坏加热元件保持结构的情况下被更换。设置多个伸长支撑构件(12)，并且蜿蜒形状的伸长二硅化钼基陶瓷加热元件(11)的U形部分能够在由底座部分(14)、多个伸长支撑构件(12)和保持该多个伸长支撑构件的保持构件(13)限定的空间内从单轴方向插入和拔出，或者伸长支撑构件(12)被保持构件(13)可拆卸地保持，使得伸长支撑构件(12)能够从保持构件(13)移除。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于二硅化钼(MoSi2)基陶瓷加热元件的保持结构。
技术介绍
MoSi2基陶瓷加热元件用在半导体装置和用于玻璃等的加工装置中，因为与金属加热元件和其它陶瓷加热元件比较，MoSi2S陶瓷加热元件耐热性极佳。MoSi 2基陶瓷加热元件能够被加热至1600至2000°C的高温，并且能够实现高达约20W/cm2的高表面功率密度。因为MoSi2S陶瓷加热元件缺乏强度并且在高温下软化，因此伸长形状的MoSi2S陶瓷加热元件不能够被其单独一端自由地保持。MoSi2基陶瓷加热元件需要在诸如绝热材料的衬底上以预定间隔保持。在MoSi2基陶瓷加热元件面朝下保持在加热炉中的顶板侧上的情况下，如图1所示，使用U形销钉(3)将MoSi2S陶瓷加热元件(1)附接到绝热材料(2)上的结构是公知的。通过使绝热材料(2)成为陶瓷纤维板单元，使用这个单元能够容易地构造加热炉，其中MoSi2S陶瓷加热元件(1)附接到绝热材料(2)。在加热元件附接结构中，因为MoSi2基陶瓷加热元件借助许多钉附着地固定到绝热材料上，所以当加热元件变得退化或损坏时，难以单独地更换加热元件。然而，在图1中示出的结构中，与MoSi2基陶瓷加热元件附接的陶瓷纤维板单元能够被替换为单元。可替换地，虽然不是不可能破坏所有的钉、对孔进行修理和重新附接钉，但是这需要劳动，而且多次更换实际上是不可能的。
技术实现思路
在图1中示出的传统技术中，由于MoSi2基陶瓷加热元件的附接结构，难以单独更换MoSi2基陶瓷加热元件。如果加热元件能够被单独更换，从成本和劳动的角度看，这是期望的。而且，如果MoSi2基陶瓷加热元件借助许多钉固定，其包含加工这些钉的负担和大成本。而且，这样加热元件单元是不方便的，这在于，当加热至高温时，难以更换，因为加热炉的操作需要停止，以更换加热元件单元。而且，如果加热元件借助许多钉固定，由于在加热的同时加热器的膨胀和收缩，因此存在损坏的风险。鉴于传统技术的上述问题，本专利技术的目的是使能够独立地更换MoSi2基陶瓷加热元件作为加热元件，以能够在加热的同时更换，并且通过提高加热器的固定点的移动自由度来减少损坏的风险。实现以上目的的本专利技术在于(resides in)如下几点:(1) 二娃化钼基陶瓷加热元件保持结构，包括:—个或多个伸长支撑构件，该一个或多个伸长支撑构件用于通过将伸长形状的二硅化钼基陶瓷加热元件安装在沿着伸长支撑构件的长轴线方向的多个位置处，来支撑伸长形状的二硅化钼基陶瓷加热元件，以及多个第一保持构件，该多个第一保持构件用于将每个伸长支撑构件保持在每个伸长支撑构件的长轴线方向的两个或多个位置处，其中，所述多个第一保持构件被所述一个或多个第二保持构件保持或者被保持结构的底座部分保持，并且安装在伸长支撑构件上的伸长二硅化钼基陶瓷加热元件能够在不破坏加热元件保持结构的情况下被更换。(2)根据以上(1)的二硅化钼基陶瓷加热元件保持结构，其中，设置多个伸长支撑构件，并且通过能够在由底座部分或第二保持构件、多个伸长支撑构件以及多个第一保持构件限定的空间中从单轴方向插入和拔出蜿蜒形状的伸长二硅化钼基陶瓷加热元件的U形部分，在不破坏加热元件保持结构的情况下可更换地保持伸长二硅化钼基陶瓷加热元件。(3)根据以上(1)或(2)的二硅化钼基陶瓷加热元件保持结构，其中，伸长支撑构件被第一保持构件可拆卸地保持，并且通过将伸长支撑构件从保持构件拆卸，伸长二硅化钼基陶瓷加热元件能够在不破坏保持结构的情况下被更换。(4)根据以上(1)至(3)的二硅化钼基陶瓷加热元件保持结构，其中，在向上和向下方向两个方向上都敞开的框架体被设置为第二保持构件或底座部分，并且通过将伸长二硅化钼基陶瓷加热元件安装到伸长支撑构件，框架体的向上和向下方向两个方向都能够被加热。(5)根据以上(1)至(3)的二硅化钼基陶瓷加热元件保持结构，其中，第二保持构件是伸长形状，并且保持多个伸长支撑构件中的每个伸长支撑结构的多个第一保持构件被伸长形状的第二保持构件串联地保持。(6)根据以上(5)的二硅化钼基陶瓷加热元件保持结构，其中，在从在向上和向下方向中的至少一个方向上敞开的框架体被设置成与伸长形状的第二保持构件分开，第二保持构件被保持在框架体中，框架体的所述至少一个方向被作成能够由安装到伸长支撑构件的伸长二硅化钼基陶瓷加热元件加热，并且能够将第二保持构件与第一保持构件和伸长支撑构件一起从框架体移除。(7)根据以上⑴至(6)中的任一项的二硅化钼基陶瓷加热元件保持结构，其中，伸长支撑构件包括多个彼此电绝缘的二硅化钼基陶瓷元件，二硅化钼基陶瓷加热元件被以这样的方式安装，即:直接地与二硅化钼基陶瓷元件接触。(8)根据以上(1)至(6)的二硅化钼基陶瓷加热元件保持结构，其中，伸长支撑构件是由容纳二硅化钼基陶瓷的元件的电绝缘陶瓷制成的伸长支撑构件，二硅化钼基陶瓷元件彼此电绝缘，并且二硅化钼基陶瓷加热元件被以这样的方式安装，即:直接地与二硅化钼基陶瓷元件接触。(9)根据以上(8)的二硅化钼基陶瓷加热元件保持结构，其中，电绝缘体插在各个二硅化钼基陶瓷制成的元件之间，以抑制二硅化钼基陶瓷制成的元件的移动，并且电绝缘体具有比二娃化钼基陶瓷制成的元件更大的尺寸，使得在它们的高度上(in theirlevels)形成差异，并且抑制当加热时二硅化钼基陶瓷加热元件的变形。(10)根据以上(7)的二硅化钼基陶瓷加热元件保持结构，其中，多个二硅化钼基陶瓷元件是棒状的或管状的元件，每对相邻的棒状或管状其元件之间介入有电绝缘体，并且被棒状或管状电绝缘体保持在一起。根据本专利技术，提供上述的二硅化钼基陶瓷加热元件保持结构、与其对应的二硅化钼基陶瓷加热元件保持方法、以及在这个加热元件保持结构中使用的特定的构件。根据本专利技术的MoSi2基陶瓷加热元件的保持结构，能够容易地单独更换MoSi2基陶瓷加热元件。能够减少加热元件(加热器)和保持结构的总体制造成本、和更换加热元件的成本和劳动或努力。而且，在优选的实施例中，当加热到高温时也容易更换MoSi2基陶瓷加热元件。而且，根据本专利技术，防止加热元件的支撑材料的退化，并且能够减少对加热元件脱落的关注。而且，能够降低由于在加热到高温或降温到低温期间收缩和膨胀两者造成的Mo S i 2基陶瓷加热元件的损坏频率。【附图说明】图1示出了传统的加热元件保持单元。图2示出了MoSi2基陶瓷加热元件的示例。图3A-3C示出了本专利技术的第一实施例。图4示出了加热元件保持单元的陶瓷棒从其移除的状态。图5示出了伸长的陶瓷保持构件的结构和部件示例。图6A-6B示出了陶瓷管的示例。图7A-7B示出了伸长的陶瓷保持构件的另一个示例。图7C示出了保持如图7A-图7B所示的伸长的陶瓷保持构件的方式的示例。图8A-8B示出了本专利技术的第二实施例。图9A-9B示出了本专利技术的第三实施例。图10示出了本专利技术的第四实施例。图11示出了本专利技术的第四实施例的修改实施例。【具体实施方式】在本专利技术中使用的二硅化钼(MoSi2)基陶瓷加热元件是公知的。二硅化钼(MoSi2)基陶瓷是具有抗高温和高压的加热元件，并且一般地包括从50至95体积百分比的二硅化钼(MoSi2)和5至50体积百分比的二氧化硅基氧化物相或玻璃相，基于以上主要成分的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种二硅化钼基陶瓷加热元件保持结构，包括：一个或多个伸长支撑构件，所述一个或多个伸长支撑构件用于通过将伸长形状的二硅化钼基陶瓷加热元件安装在沿着所述一个或多个伸长支撑构件的长轴线方向的多个位置上而支撑所述伸长形状的二硅化钼基陶瓷加热元件；以及多个第一保持构件，所述多个第一保持构件用于在每个伸长支撑构件的长轴线方向的两个或更多个位置上保持每个伸长支撑构件；其中，所述多个第一保持构件被一个或多个第二保持构件保持，或者被保持结构的底座部分保持，并且能够在不破坏加热元件保持结构的情况下更换被安装在所述伸长支撑构件上的所述伸长二硅化钼基陶瓷加热元件。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：后藤和贵，
申请(专利权)人：山特维克株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP