本发明专利技术提供一种能够长期良好地实施电镀的供电部件。第二供电部件(30)与被镀物(1)接触并对被镀物(1)施加负电压，所述被镀物(1)以在被镀物(1)与阳极(10)与之间形成了供电镀液流动的空间的状态而被配置。第二供电部件(30)具备：铜制的中心部件(31)；钛制的被覆部件(32)，其对该中心部件(31)的四周的至少电镀液所浸湿的部位进行被覆。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种供电部件以及具备该供电部件的高速电镀装置。
技术介绍
在专利文献1中公开了一种现有的高速电镀装置。该高速电镀装置具备由金属筒和盖部件构成的密闭容器，其中，所述金属筒为阳极，所述盖部件一体地结合在该金属筒的两端上。金属筒为铜制，并在其内表面以及端面上电沉积有铂薄膜。相对置的两个盖部件设置有供栓部件滑动自如地插穿的插穿孔。栓部件为对被镀物进行夹持并保持的部件，且构成保持装置的一部分。此外，栓部件也为与被镀物接触并施加负电压的供电部件。为了防止由电镀液导致的溶解，该栓部件通过耐腐蚀性的树脂而被覆膜。另外，该高速电镀装置具备电源装置，所述电源装置以向金属筒施加正电压且向被镀物施加负电压的方式，对金属筒以及栓部件进行通电。此外，该高速电镀装置具备由以使电镀液在密闭容器内流动的方式使电镀液进行循环的栗等构成的循环装置。该高速电镀装置在将栓部件所夹持的被镀物收纳至密闭容器内之后，以使电镀液在密闭容器内流动的方式对栗进行驱动。而且，通过向金属筒施加正电压并经由栓部件而向被镀物施加负电压，从而能够实施电镀时间较短的高速电镀。在先技术文献专利文献专利文献1:日本特开昭55-138097号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题但是，当专利文献1的高速电镀装置的栓部件在插穿孔中滑动且被施加有负电压时，会发热并膨胀。因此，为了不会被电镀液溶解的而对该栓部件进行了被覆的耐腐蚀性的树脂可能会劣化并剥落。由于当对栓部件进行被覆的耐腐蚀性的树脂剥落时，可能发生栓部件被电镀液溶解、或者电镀液从栓部件的外周面与插穿孔的内周面之间漏泄的情况，因此需要更换栓部件。本专利技术为鉴于上述现有的情况而完成的专利技术，其将提供一种能够长期良好地实施电镀的供电部件以及具备该供电部件的高速电镀装置作为应当解决的课题。 用于解决课题的方法本专利技术的供电部件与被镀物接触并向被镀物施加负电压，该被镀物以在阳极与该被镀物之间形成了使电镀液流动的空间的状态而被配置，所述供电部件的特征在于，具备:铜制的中心部件；钛制的被覆部件，其对该中心部件的四周的至少所述电镀液所浸湿的部位进行被覆。专利技术效果在该供电部件的电镀液所浸湿的部位处，通过与铜相比而耐腐蚀性较高的钛制的被覆部件而对铜制的中心部件进行被覆。因此，该供电部件提高了相对于电镀液的耐腐蚀性。因此，能够减少该供电部件的更换频率。此外，由于该供电部件具备与钛相比电传导率较高的铜制的中心部件，因此与仅由钛而形成的供电部件相比，能够对供电时的发热量进行抑制，并且能够减少电镀液的温度上升。因此，本专利技术的供电部件以及具备该供电部件的高速电镀装置能够长期良好地实施电镀。【附图说明】图1为表示沿着实施例的高速电镀装置的第二供电部件的移动方向的截面的剖视图。图2为表示沿着实施例的高速电镀装置的保持部件的移动方向的截面的剖视图。图3表示实施例的阳极，㈧为表示将钛制的平板料与铂制的平板料焊接在一起的状态的剖视图，(B)为表示卷成圆筒状并使端面对接而焊接在一起的状态的剖视图。图4为表不实施例的阳极与第一供电部件的剖视图。图5为将实施例的高速电镀装置的与阳极的上部相比靠上方的部分进行放大的剖视图。图6为将实施例的高速电镀装置的对阳极下部进行支承的下部承受部件四周放大后的剖视图。图7为从上方观察实施例的高速电镀装置的俯视图。图8为实施例的第二供电部件所处的位置的水平剖视图。图9为实施例的第二供电部件的局部剖视图。图10为实施例的保持部件所处的位置的水平剖视图。图11为表示沿着实施例的高速电镀装置的第二供电部件的移动方向的截面、且为被镀物下降至阳极内前的剖视图。图12为表示沿着实施例的高速电镀装置的保持部件的移动方向的截面、且为被镀物下降至阳极内前的剖视图。图13为表示沿着实施例的高速电镀装置的第二供电部件的移动方向的截面、且为被镀物的下端部被插入到支承棒的上端的凹部中的状态的剖视图。图14为表示沿着实施例的高速电镀装置的第二供电部件的移动方向的截面、且为被镀物下降至阳极内的状态的剖视图。图15为表示实施例的第二供电部件的顶端部与被镀物的外周面接触的状态的剖视图。图16为表示沿着实施例的高速电镀装置的保持部件的移动方向的截面、且为保持部对被镀物进行保持的状态的剖视图。图17为表示保持部对被镀物进行保持的状态的水平剖视图。图18为对实施例的高速电镀装置的与阳极的上部相比靠上方的部分进行了放大、且为表示保持部对被镀物进行保持的状态的剖视图。【具体实施方式】参照附图，对将本专利技术的具备供电部件的高速电镀装置具体化了的实施例进行说明。<实施例>如图1及图2所示，实施例的高速电镀装置具备:阳极10 ;第一供电部件20，其与阳极10接触并施加正电压；第二供电部件30，其与作为工件的被镀物1接触并施加负电压；保持装置40，其具备对被镀物1进行保持的保持部件41 ;加压装置50，其向配置有保持部件41的保持室45内送入空气而进行加压；循环装置60，其使电镀液进行循环；电源装置70，其对阳极10和第二供电部件30进行通电。阳极10为圆筒状并以在铅直方向上延伸的方式而被配置。如图3及图4所示，阳极10具有由钛制的板料形成的外筒部11、和由铂制的板料形成的内筒部12。此外，如图1及图2所示，阳极10具有分别外嵌于上下端部上的钛制的环形部件13。该阳极10以接下来所说明的方式被制造。首先，使铂制的平板料12A重叠在钛制的平板料11A上，并通过电阻焊接而使表面彼此焊接在一起，从而制造双重结构的板料10A(参照图3(A))。接下来，以使铂制的平板料12A成为内侧的方式卷起来，以成为圆筒状的方式成形，并以使端面对接的方式进行焊接(参照图3(B))。而且，将环形部件13分别焊接在阳极10的上下端部的外周面上从而实现一体化。如此，由于将由铂制的板料12A构成的内筒部12焊接在具有导电性的钛制的外筒部11的内表面上从而形成阳极10，因此，能够使由铂制的板料12A构成的内筒部12牢固地紧贴在导电性的外筒部11上。因此，能够减少在电镀工序中由铂当前第1页1 2 3 4 本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种供电部件，其与被镀物接触并对被镀物施加负电压，该被镀物以在该被镀物与阳极之间形成了供电镀液流动的空间的状态而被配置，所述供电部件的特征在于，具备：铜制的中心部件；钛制的被覆部件，其对该中心部件的四周的至少所述电镀液所浸湿的部位进行被覆。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：望月嘉隆，宫崎稔久，高松辉，
申请(专利权)人：KYB株式会社，株式会社中央制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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