一种微米粒径有机无机杂化钙钛矿薄膜的制备装置及方法制造方法及图纸

技术编号:12698543 阅读:139 留言:0更新日期:2016-01-13 17:40
一种微米粒径有机无机杂化钙钛矿薄膜的制备装置,包括真空腔体、上热台、下热台、真空泵和电学测量装置,真空腔体设有抽气接口和接线接口,上热台和下热台相互平行设置于真空腔体下部并通过支撑板与真空腔体底部固定,真空泵利用抽气接口通过真空管道及阀门与真空腔体连通,电学测量装置利用接线接口通过导线与下热台上的ITO玻璃片上沟道的两端连接;利用该装置,采用低真空度下相互平行热台进行的低压化学气相沉积法工艺制备有机无机杂化钙钛矿薄膜。本发明专利技术的优点是:该制备方法提高了蒸气分子流的向基板方向输运的均匀度,制备的薄膜均匀度高、粒径大,进程可控,提高了生成薄膜的光电性能,适合大规模及柔性薄膜的生产。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及有机无机杂化半导体
,具体涉及一种微米粒径有机无机杂化 钙钛矿薄膜的制备方法。
技术介绍
含氮有机阳离子卤化物(AX)和二价金属卤化物(MX2)反应生成的化合物通常是 钙钛矿晶型,因此也被叫做有机无机杂化钙钛矿化合物(化学式AMX3,其中A为含氮有机阳 离子,Μ为二价金属阳离子,X为卤素阴离子)。由AMX3作为活性层构成的薄膜太阳能电池 是近年来太阳能电池领域一个十分热门的话题。该类电池通常被称为钙钛矿型太阳能电池 (PSC)。美国UCLA的Yang团队通过研究薄膜的界面工程,制作的PSC具有高达19. 3%的光 电转换效率。韩国KRICT的Seok课题组使用包含DMS0的碘化铅制成了光电转换效率达到 20. 1 %的PSC,其活性层的粒径尺寸达到微米级别。PSC的效率目前仍有一定的增长空间。 其中最有效的方法是进一步提高构成薄膜的晶粒的尺寸。 钙钛矿薄膜的溶液制备法包括单步溶液法和两步溶液法。单步溶液法的制备方法 通常是:将适量的ΜΧ0ΡΑΧ溶解在同一溶剂(如丁内酯)中,然后用湿法将其制备成 膜,最后退火处理。两步溶液法的第一种方法通常是:首先将M本文档来自技高网...
一种<a href="http://www.xjishu.com/zhuanli/24/CN105239054.html" title="一种微米粒径有机无机杂化钙钛矿薄膜的制备装置及方法原文来自X技术">微米粒径有机无机杂化钙钛矿薄膜的制备装置及方法</a>

【技术保护点】
一种微米粒径有机无机杂化钙钛矿薄膜的制备装置,其特征在于:包括真空腔体、上热台、下热台、真空泵和电学测量装置,真空腔体设有抽气接口和接线接口,上热台和下热台相互平行设置于真空腔体下部并通过支撑板与真空腔体底部固定,上热台与下热台的间距不大于热台横向尺寸的1/10,真空泵利用抽气接口通过真空管道及阀门与真空腔体连通,电学测量装置利用接线接口通过导线与下热台上的ITO玻璃片上沟道的两端连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:曹焕奇印寿根于昊陈晓敏杨利营
申请(专利权)人:天津理工大学
类型:发明
国别省市:天津;12

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