机械手臂的取放机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种机械手臂的取放机构，该机械手臂主要由取放机构与二维旋转机构所组成；其中，该取放机构主要由基板、二个支撑板、二个固定板、二个作动轴、四个驱动单元与二个取放模块所组成；驱动该二个驱动单元通过该二个作动轴驱动另外二个驱动单元，使设置于该另外二个驱动单元上的该二个取放模块可分别拿起或放下物体。相较于现有技术所提供的齿轮转换箱，本实用新型专利技术提供的取放机构与二维旋转机构减轻机械手臂摆动时所造成的误差，不仅能减少组件的损毁，也能够在一定范围内进行取料、料件交换、下料等物料移动与转移步骤。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及机械手臂的
，尤其涉及一种机械手臂的取放机构。
技术介绍
随着科技发展日新月异，对于机械及运用也越来越广泛，在许多产业中许多制程中，因加工作业时所需的高精准度、高重复性及高危险性等因素，已渐渐地由机械手臂取代传统的人力作业，并再通过操作人员的操控来执行减少安全上的疑虑，且同时大幅地增进工作上的效率。请参阅图1，图1示出了现有技术中的机械手臂立体图，如图1所示，现有技术中的机械手臂I’主要包括有:第一机械臂11’、第二机械臂12’、第一驱动组件13’、旋转基座14’、第二驱动组件15’以及齿轮转换箱16’ ；其中，该第一机械臂11’的前端设置有夹取组件连接头111’，且该第二机械臂12’分别连接于该第一机械臂11’与该齿轮转换箱16’之间，并且，该第一驱动组件13’连接于该齿轮转换箱16’，此外，该齿轮转换箱16’设置于该旋转基座14’上，该第二驱动组件15’连接于该旋转基座14’。于上述现有技术中的机械手臂I’技术结构中，该第一驱动组件13’的运作可通过该齿轮转换箱16’驱动该第二机械臂12’进行上下摆动，进而使得连接于第一机械臂11’的夹取组件连接头111’的夹取组件(未图标)，得以移动至特定高度进行物料夹取或放置；此外，该第二驱动组件15’的运作可驱动该旋转基座14’进行转动，进而使得该第二机械臂12’与其上的第一机械臂11’旋转，此方式达到物料移动的效果。另一方面，于现今高科技产业技术中，随着集成电路的半导体组件的积集度日益增加，制程的准确度及生产效率相对重要，其中，在半导体制程中发生些微的错误，便可能导致制程失败，造成晶圆的毁损，因而耗费大量成本。是以，现代晶圆厂中，多通过类似上述的机械手臂进行晶圆制程中，诸如取料、料件交换、下料等物料移动与转移步骤，进而有效地确保产品的生产良率。然而，于实际使用状态下，现有技术中的机械手臂I’其应用于晶圆制程中却往往产生下列问题:1、第二机械臂12’的上下摆动过程中，由于该齿轮转换箱16’通过齿轮的齿对齿契合，在契合时往往产生间隙，作动所造成的间隙误差会导致该第一机械臂11’上的物料产生偏移，进而影响产品良率。2、承上述，由于该齿轮转换箱16’必须支撑整体的第一机械臂11’与第二机械臂12’的重力力矩并驱动其产生摆动，如此，往往导致该齿轮转换箱16’的负担极大，因而产生组件的毁损。
技术实现思路
本技术创作的目的在于提供一种机械手臂。不同于现有技术中的机械手臂，本技术的机械手臂主要由取放机构与二维旋转机构所组成；其中，该取放机构主要由基板、二个支撑板、二个固定板、二个作动轴、四个驱动单元与二个取放模块所组成；并且，该基板由该二个支撑板与该第一固定板支撑该二个作动轴与该四个驱动单元。进一步地，该二维旋转机构主要由基座与旋转座所组成；其中，该连接于该基座的该旋转座连接于取放机构的该基板的底部表面。如此设置，驱动该二个驱动单元通过该二个作动轴驱动另外二个驱动单元，使设置于该另外二个驱动单元上的该二个取放模块可分别拿起(或放下)物体；并且，马达驱动该旋转座，使该取放机构进行转动。相较于现有技术所提供的齿轮转换箱，本技术的取放机构与二维旋转机构系减轻机械手臂摆动时所造成的误差，不仅能减少组件的损毁，也能够在一定范围内进行取料、料件交换、下料等物料移动与转移步骤。为了达成本技术上述的目的，本技术所提出一种机械手臂的取放机构，包括:基板；至少一个支撑板，设置于该基板上；第一固定板，设置于该基板上并连接于该支撑板的一端；至少一个作动轴，其一端连接固定于该第一固定板上；至少一个第一驱动单元，连接于该作动轴的另一端；至少一个第二驱动单元，设置于该支撑板上，并连接该作动轴；至少一个取放模块，连接于该第二驱动单元上；其中，控制该第一驱动单元驱动该第二驱动单元，能够使得该第二驱动单元带动该取放模块沿着作动轴进行往返运动；其中，当该取放模块运行至该往返运动的第一位置时，该取放模块可接着进行外部物品的捡取或放置；相对地，当该取放模块运行至该往返运动的第二位置时，该取放模块可接着进行外部物品的放置或捡取。上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。【附图说明】图1示出了现有技术中的机械手臂立体图；图2A示出了本技术实施提供的一种取放机构的第一立体图；图2B示出了本技术实施提供的一种取放机构的第二立体图；图3示出了本技术实施提供的取放机构的爆炸图；图4示出了本技术实施提供的取放机构的侧面剖视图；图5A示出了本技术实施提供的第二驱动单元的滑块的左侧视图；图5B示出了本技术实施提供的第二驱动单元的滑块的右侧视图；图6A示出了本技术实施提供的第四驱动单元滑块的左侧视图；图6B示出了本技术实施提供的第四驱动单元滑块的右侧视图；图7示出了本技术实施提供的使用该取放机构进行拿取或放置的示意图；图8示出了本技术实施提供的该取放机构与二维平面旋转机构的立体图；图9A示出了本技术实施提供的一种二维平面旋转机构的第一立体图；图9B示出了本技术实施提供的一种二维平面旋转机构的第二立体图；图10示出了本技术实施提供的二维平面旋转机构的爆炸图；图11示出了本技术实施提供的二维平面旋转机构进行旋转的示意图。符号说明:I取放机构2 二维平面旋转机构11基板12第一支撑板13第一固定板14第一作动轴15第一驱动单元16第二驱动单元17第一取放模块18外壳19第二固定板20第一结合件21基座22旋转座23齿轮箱24伺服马达25第一辅助连接件26第二辅助连接件111辅助固定板112辅助滑轨113辅助固定架114履带式线槽131第一轴承161滑轨162滑块171结合块172取放件173辅助件181第一长孔182第二长孔191第二轴承201旋转接合件211安装槽221固定座222底座223转轴231齿轮组232马达容置槽1131辅助滑动部1132辅助固定部1621第一结合面1622第二结合面1623固定面1624螺孔12a第二支撑板14a第二作动轴15a第三驱动单元16a第四驱动单元17a第二取放模块Illa辅助固定板112a辅助滑轨113a辅助固定架114a履带式线槽131a第三轴承161a 滑轨162a 滑块171a结合块172a取放件173a辅助件181a第一长孔182a第二长孔191a第四轴承1131a辅助滑动部1132a辅助固定部1621a第一结合面1622a第二结合面1623a 固定面1624a 螺孔I’现有技术中的机械手臂11’第一机械臂12’第二机械臂13’第一驱动组件14’旋转基座15’第二驱动组件16’齿轮转换箱111’夹取组件连接头【具体实施方式】...

【技术保护点】
一种机械手臂的取放机构，其特征在于，包括：基板；至少一个支撑板，设置于该基板上；第一固定板，设置于该基板上并连接于该支撑板的一端；至少一个作动轴，其一端连接固定于该第一固定板上；至少一个第一驱动单元，连接于该作动轴的另一端；至少一个第二驱动单元，设置于该支撑板上，并连接该作动轴；至少一个取放模块，连接于该第二驱动单元上；其中，控制该第一驱动单元驱动该第二驱动单元，能够使得该第二驱动单元带动该取放模块沿着作动轴进行往返运动；其中，当该取放模块运行至该往返运动的第一位置时，该取放模块可接着进行外部物品的捡取或放置；相对地，当该取放模块运行至该往返运动的第二位置时，该取放模块可接着进行外部物品的放置或捡取。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：邱毓英，宋柏苇，
申请(专利权)人：全研科技有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71