嵌入式位移平台移载精度与振动感测的方法技术

一种嵌入式位移平台移载精度与振动感测的方法，上述感测方法的所述位移平台于一移载台设有至少一感测模块，所述感测模块包括电性连接的一供电与稳压装置

【技术实现步骤摘要】
嵌入式位移平台移载精度与振动感测的方法


[0001]本专利技术关于一种位移平台的感测方法，尤指一种特别使用于
XXY
平台与
XY
θ
平台的嵌入式位移平台移载精度与振动感测的方法
。

技术介绍

[0002]现有
XXY
对位平台或是
XY
θ
平台上并无一套可以实时感测与监测移载台运行状态的机能建置，所以无法实时感测出所述移载台产生的偏移
、
偏摆以及振动等状况，于此，不仅会影响移载台的运行效能，而且无法有效提升工艺的加工质量与稳定性，因此，如何开发出一套
XXY
对位平台与
XY
θ
平台连接智慧化与智能化实时感测技术，已是目前使用者所需求且为急待突破的重点指标技术
。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于解决现有技术存在的上述缺失，提供一种嵌入式位移平台移载精度与振动感测的方法
。
[0004]上述感测方法的所述位移平台于一移载台设有至少一感测模块，所述感测模块包括电性连接的一供电与稳压装置
、
若干感测单元
、
一信号处理装置以及一通信转换装置，该供电与稳压装置供给所述感测模块的电能及稳定电压，所述感测单元用以感测
、
监测该移载台的工作动态，并依据工作动态产生至少二个感测信号，该信号处理装置处理所述感测信号，再经由该通信转换装置转换成相对应的感测数据，并以有线
、
无线其中的一通信接口传输到一计算器设备，该计算器设备具有用以分析感测数据及事件记录的一软件界面，以及用以将该感测数据显示为感测信息的一屏幕，该软件界面设定有默认目标数据值，以供与所述感测数据比对分析，作为自动启用事件记录并加注时间戳的依据，借此取得该位移平台运行过程中是否有偏移
、
偏摆
、
或振动等的情况，进一步适时调整该位移平台的运转，达到移载精度以及稳定性提升
。
[0005]较佳地，该供电与稳压装置以电池
、
有线及无线的其中一方式达到所述感测模块的供电
、
充电需求
。
[0006]较佳地，所述感测单元包括温度计
、
加速规
、
陀螺仪以及磁力计
。
[0007]较佳地，所述通信转换装置的有线通信接口以
RS
‑
232、RS
‑
485、RS
‑
422、USB、TTL、Modbus、UART、LAN
及
CAN
等其中至少一种接口传输至该计算器设备
。
[0008]较佳地，所述通信转换装置的无线通信接口以
RF
射频通信
、WI
‑
FI、
蓝牙
、ANT、Zigbee
等其中至少一种接口传输至该计算器设备
。
[0009]较佳地，所述感测模块更包括一存储装置，该存储装置连接该信号处理装置，用以记录所述感测信号
。
[0010]较佳地，该存储装置以内建
RAM、ROM
以及外接记忆卡等任一接口记忆储存所述感测信号
。
[0011]对照先前技术的功效：本专利技术可通过感测
、
监测该移载台的工作动态，以侦测该位
移平台的移载精度以及振动，并将所述感测数据经由通信接口传输至该计算器设备，再由该软件界面予以分析
、
显示及记录该移载台的动态信息，作为调整
、
校正与控制该位移平台的依据，确保该移载台的移载精度与移载过程的稳定性，使该位移平台的运作可以达到精确且有效的控制，因而有助于提升工艺效能，增进位移平台的产业应用普及化
。
附图说明
[0012]图1为本专利技术的位移平台及计算器设备的配置示意图
。
[0013]图2为本专利技术的感测流程示意图
。
[0014]图3为本专利技术的感测模块的架构示意图
。
[0015]图中：
10:
位移平台；
11:
移载台；
20:
感测模块；
21:
供电与稳压装置；
22:
感测单元；
23:
信号处理装置；
24:
通信转换装置；
25:
存储装置；
30:
计算器设备；
31:
软件界面；
32:
屏幕
。
具体实施方式
[0016]下面结合附图和具体实施例对本专利技术作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好的理解本专利技术并能予以实施，但所举实施例不作为对本专利技术的限定
。
[0017]首先，先请参阅图1至图3所示，一种嵌入式位移平台移载精度与振动感测的方法，特别使用于
XXY
平台与
XY
θ
平台，所述位移平台
10
于一移载台
11
设有至少一感测模块
20
，所述感测模块
20
包括电性连接的一供电与稳压装置
21、
若干感测单元
22、
一信号处理装置
23
以及一通信转换装置
24
，该供电与稳压装置
21
供给所述感测模块
20
的电能及稳定电压，所述感测单元
22
用以感测
、
监测该移载台
11
的工作动态，并依据工作动态产生至少二感测信号，该信号处理装置
23
处理所述感测信号，再经由该通信转换装置
24(
微处理器
MCU、SOC、PLC
等
)
转换成相对应的感测数据，并以有线
、
无线其中的一通信接口传输到一计算器设备
30
，该计算器设备
30
具有用以分析感测数据及事件记录的一软件界面
31
，以及用以将该感测数据显示为感测信息的一屏幕
32
，该软件界面
31
设定有默认目标数据值，以供与所述感测数据比对分析，作为自动启用事件记录并加注时间戳的依据，借此取得该位移平台
10
运行过程中是否有偏移
、
偏摆
、
或振动等的情况，进一步适时调整该位移平台
10
的运转，达到移载精度以及稳定性提升
。
[0018]上述供电与稳压装置
21
以电池
、
有线及无线的其中一方式达到所述感测模块
20
的供电
、
充电需求
。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种嵌入式位移平台移载精度与振动感测的方法，其位移平台于一移载台设有至少一感测模块，所述感测模块包括电性连接的一供电与稳压装置
、
若干感测单元
、
一信号处理装置以及一通信转换装置，该供电与稳压装置供给所述感测模块的电能及稳定电压，所述感测单元用以感测
、
监测该移载台的工作动态，并依据工作动态产生至少二个感测信号，该信号处理装置处理所述感测信号，再经由该通信转换装置转换成相对应的感测数据，并以有线
、
无线其中的一通信接口传输到一计算器设备，该计算器设备具有用以分析感测数据及事件记录的一软件界面，以及用以将该感测数据显示为感测信息的一屏幕，该软件界面设定有默认目标数据值，以供与所述感测数据比对分析，作为自动启用事件记录并加注时间戳的依据，借此取得该位移平台运行过程中是否有偏移
、
偏摆
、
或振动的情况，进一步适时调整该位移平台的运转，以提升移载精度以及稳定性
。2.
如权利要求1所述的嵌入式位移平台移载精度与振动感测的方法，其中，该供电与稳压装置以电池
、
有线及无线的其中一种方式达到所述感测模块的供电
、
充电需求
。3.
如权利要求1所述的嵌入式位...

【专利技术属性】
技术研发人员：李浩玮，林柄宏，邱毓英，
申请(专利权)人：全研科技有限公司，
类型：发明
国别省市：