一种真空下多探针摩擦磨损测试及原位形貌探测系统技术方案

本发明专利技术公开了一种真空下多探针摩擦磨损测试及原位形貌探测系统，包括主体和外部手动驱动装置；所述主体包括腔体上盖、安装在腔体上盖上面用于密封的光窗顶盖和安装腔体上盖内部的多探针组件；其能在高真空下实现对具有不同功能的SPM针尖切换，使摩擦学测试及原位形貌探测在高真空环境下可相继完成，且原位定位精度较高。由于更换针尖时无须打开腔体，确保了实验样品不受外界因素干扰，使实验所得结果更为真实可信；不仅如此，也节省了实验前期设备调整校准时间，提高实验效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及真空下多探针摩擦学测试及原位形貌探测系统。
技术介绍
摩擦是物质世界普遍存在的物理现象，与人类的生活和生产有极其密切的关系。摩擦、磨损和润滑是研究两个相互接触、相对运动表面间行为的科学与技术。所有装备运动部件都涉及摩擦、磨损和润滑。人们对摩擦磨损现象的研究由来已久，并且方兴未艾。随着科技的发展，摩擦学研究渗透到微观世界；而微观领域的摩擦磨损更有利于从分子与原子层次揭示摩擦的起源。这些研究大都依赖于相应的实验设备或仪器。随着科学技术的发展，人们已经研制出很多种显微镜用来观察微观尺度下的摩擦表面的形貌变化，典型的显微镜包括扫描电子显微镜(SEM)、扫描探针显微镜(SPM)等。扫描探针显微镜包括扫描隧道显微镜(STM)、原子力显微镜(AFM)、摩擦力显微镜(FFM)等，其在微观摩擦学的研究中发挥了极大的作用。然而，如今商业化的扫描探针显微镜主要为单一探针工作模式。单一探针功能相对单一，难以实现一些较为复杂的实验方式。特别是观测微观磨损实验中，若采用单一探针模式，在完成磨损实验后，需要更换曲率半径更小的针尖方可对表面磨损区域进行原位的高分辨形貌扫描与观测。在更换针尖过本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空下多探针摩擦磨损测试及原位形貌探测系统，其特征在于：包括主体和外部手动驱动装置(9)；所述主体包括腔体上盖(1)、安装在腔体上盖(1)上面的光窗顶盖(2)和安装腔体上盖(1)内部的多探针组件；所述多探针组件包括多个探针(12)、用于承载探针(12)并携其原位切换定位的运动平板(4)、连接在运动平板(4)一侧的过渡板(5)、导轨(6)和用于驱动导轨(6)的连接板(7)；所述导轨(6)分别与过渡板(5)和连接板(7)的一端连接；所述连接板(7)的另一端与外部手动驱动装置(9)内部的短轴(8)连接；所述探针(12)设置在运动平板(4)上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：余丙军，张超杰，钱林茂，陈磊，高健，金晨宁，
申请(专利权)人：西南交通大学，
类型：发明
国别省市：四川;51