本实用新型专利技术公开了镀膜腔室检测装置，其包括在镀膜腔室的两侧壁上均开设有一个位于同一直线上的对射孔，在其中的一个对射孔处设置有发射装置，在另一个对射孔处设置有用于接收发射装置对射过来的光源的接收装置；接收装置包括固定安装在镀膜腔室外侧壁上用于光源通过、且起密封作用的密封结构和固定在镀膜腔室内侧壁与密封结构位于同一直线上的光源接收结构；发射装置固定安装在镀膜腔室外侧壁上用于光源通过、且起密封作用的密封结构和通过光源安装板固定安装在密封结构上的光电对射光源；发射装置的密封结构与接收装置的密封结构具有相同的结构。
【技术实现步骤摘要】
本技术属于检测装置，具体涉及一种镀膜腔室检测装置。
技术介绍
目前，传统的同步检测装置安装在玻璃镀膜真空腔室内。在生产过程中，如果检测元件出现故障需维修或更换时，需将镀膜腔内的阀门打开破真空后，采用吊装设备将上腔体吊离之后才能进行相关工作。使得工作量大，停机时间长，且工作完成后还得重新抽真空，消耗更多的能源。
技术实现思路
针对现有技术中的上述不足，本技术提供了一种检修或更换非常方便的镀膜腔室检测装置。为了达到上述专利技术目的，本技术采用的技术方案为:提供一种镀膜腔室检测装置，其包括在镀膜腔室的两侧壁上均开设有一个位于同一直线上的对射孔，在其中的一个对射孔处设置有发射装置，在另一个对射孔处设置有用于接收发射装置对射过来的光源的接收装置；接收装置包括固定安装在镀膜腔室外侧壁上用于光源通过、且起密封作用的密封结构和固定在镀膜腔室内侧壁与密封结构位于同一直线上的光源接收结构；发射装置固定安装在镀膜腔室外侧壁上用于光源通过、且起密封作用的密封结构和通过光源安装板固定安装在密封结构上的光电对射光源；发射装置的密封结构与接收装置的密封结构具有相同的结构。本技术的有益效果为:本检测装置通过其独有的结构可以设置在玻璃镀膜真空腔室壁上，其检测效果完全不受影响，同时还能保证镀膜腔室的密封性；一旦检测装置需要维修或更换非常的方便，大大缩短了停机时间；检修或更换时，镀膜真空腔不需破真空，从而节约了再次抽真空的运行成本。【附图说明】图1为镀膜腔室的剖视图。图2为图1中A部的放大图。图3为图1中B部的放大图。其中，1、镀膜腔室；2、发射装置；21、密封座；22、紧固螺钉；23、视镜玻璃；24、光源安装板；25、光电对射光源；26、压盖；27、衬垫；3、接收装置；31、接收端底板；32、压板；33、反射板；34、锁紧螺钉。【具体实施方式】下面对本技术的【具体实施方式】进行描述，以便于本
的技术人员理解本技术，但应该清楚，本技术不限于【具体实施方式】的范围，对本
的普通技术人员来讲，只要各种变化在所附的权利要求限定和确定的本技术的精神和范围内，这些变化是显而易见的，一切利用本技术构思的技术创造均在保护之列。如图1所示，该镀膜腔室检测装置包括在镀膜腔室I的两侧壁上均开设有一个位于同一直线上的对射孔，在其中的一个对射孔处设置有发射装置2，在另一个对射孔处设置有用于接收发射装置2对射过来的光源的接收装置3。参考图2，图2示出了图1中A部的放大图，其具体展示了接收装置3的具体结构。如图2所示，该接收装置3包括固定安装在镀膜腔室I外侧壁上用于光源通过、且起密封作用的密封结构和固定在镀膜腔室I内侧壁与密封结构位于同一直线上的光源接收结构。参考图3，图3示出了图1中B部的放大图，其具体展示了发射装置2的具体结构。如图3所示，发射装置2固定安装在镀膜腔室I外侧壁上用于光源通过、且起密封作用的密封结构和通过光源安装板24固定安装在密封结构上的光电对射光源25 ;如图2和图3所示，该发射装置2的密封结构与接收装置3的密封结构的结构是一样的。在本技术的一个实施例中，该密封结构包括固定安装在镀膜腔室I侧壁上的密封座21 ;密封座21上开设有一凹槽、与凹槽连通用于光源通过的通孔和通过压盖26固定安装在凹槽内的视镜玻璃23。其中，视镜玻璃23可以堵住对射孔和密封座21上开设的通孔，并在视镜玻璃23与密封座21的接触面上安装上O型密封圈来保证镀膜腔室I内的真空度。光源安装板24固定在压盖26上，光电对射光源25由固定螺拴固定在光源安装板24上，光电对射光源25在光源安装板24上的安装位置可以根据需要调节。在设计时，由于采用压盖26紧紧地将视镜玻璃23压住，连同密封座21 —起由六颗紧固螺钉22紧密地固定在腔体外壁上的方式固定密封结构，为了避免紧固螺钉22锁得太紧时压盖26损坏视镜玻璃23，在压盖26的边缘设置有与视镜玻璃23接触、用于保护视镜玻璃23的衬垫27。衬垫27可以采用聚四氟乙烯制作。由于镀膜腔室I为高真空腔室，而检测装置安装在镀膜腔室I外，所以要求该设计的发射端和接收端都必须具有非常可靠的密封性能。于是在镀膜腔室I两侧壁上对射孔处的密封座21与侧壁接触处设置有密封圈，该处密封圈最好选用O型密封圈。光源接收结构包括固定安装在镀膜腔室I内侧壁的接收端底板31和通过压板32固定安装在接收端底板31上的反射板33。具体地为，采用压板32将反射板33紧紧地压在接收端底板31上，并用锁紧螺钉34将压板32和接收端底板31固定安装在镀膜腔室I内侧壁上。由于反射板33与接收端底板31和压板32等部件都不是易损件，所以将其安装在镀膜腔室I内。接收端侧的镀膜腔室侧壁腔壁上的对射孔和该处密封结构上的视镜玻璃23和通孔为备用结构。进行检测时，光电对射光源25发出的光源穿过视镜玻璃23，通过发射装置2处的密封座21上的通孔和发射装置2侧镀膜腔室I侧壁的对射孔，直达接收装置上的反射板33，给出信号，完成检测。虽然结合附图对本技术的【具体实施方式】进行了详细地描述，但不应理解为对本专利的保护范围的限定。在权利要求书所描述的范围内，本领域技术人员不经创造性劳动即可做出的各种修改和变形仍属本专利的保护范围。【主权项】1.镀膜腔室检测装置，其特征在于:包括在镀膜腔室的两侧壁上均开设有一个位于同一直线上的对射孔，在其中的一个对射孔处设置有发射装置，在另一个对射孔处设置有用于接收所述发射装置对射过来的光源的接收装置； 所述接收装置包括固定安装在所述镀膜腔室外侧壁上用于光源通过、且起密封作用的密封结构和固定在所述镀膜腔室内侧壁与密封结构位于同一直线上的光源接收结构； 所述发射装置固定安装在所述镀膜腔室外侧壁上用于光源通过、且起密封作用的密封结构和通过光源安装板固定安装在所述密封结构上的光电对射光源；所述发射装置的密封结构与所述接收装置的密封结构具有相同的结构。2.根据权利要求1所述的镀膜腔室检测装置，其特征在于:所述密封结构包括固定安装在镀膜腔室侧壁上的密封座；所述密封座上开设有一凹槽、与所述凹槽连通用于光源通过的通孔和通过压盖固定安装在所述凹槽内的视镜玻璃。3.根据权利要求2所述的镀膜腔室检测装置，其特征在于:所述压盖的边缘设置有与所述视镜玻璃接触、用于保护视镜玻璃的衬垫。4.根据权利要求1-3任一所述的镀膜腔室检测装置，其特征在于:所述光源接收结构包括固定安装在所述镀膜腔室内侧壁的接收端底板和通过压板固定安装在所述接收端底板上的反射板。【专利摘要】本技术公开了镀膜腔室检测装置，其包括在镀膜腔室的两侧壁上均开设有一个位于同一直线上的对射孔，在其中的一个对射孔处设置有发射装置，在另一个对射孔处设置有用于接收发射装置对射过来的光源的接收装置；接收装置包括固定安装在镀膜腔室外侧壁上用于光源通过、且起密封作用的密封结构和固定在镀膜腔室内侧壁与密封结构位于同一直线上的光源接收结构；发射装置固定安装在镀膜腔室外侧壁上用于光源通过、且起密封作用的密封结构和通过光源安装板固定安装在密封结构上的光电对射光源；发射装置的密封结构与接收装置的密封结构具有相同的结构。【IPC分类】G01D21/00【公开号】CN204807本文档来自技高网...
【技术保护点】
镀膜腔室检测装置，其特征在于：包括在镀膜腔室的两侧壁上均开设有一个位于同一直线上的对射孔，在其中的一个对射孔处设置有发射装置，在另一个对射孔处设置有用于接收所述发射装置对射过来的光源的接收装置；所述接收装置包括固定安装在所述镀膜腔室外侧壁上用于光源通过、且起密封作用的密封结构和固定在所述镀膜腔室内侧壁与密封结构位于同一直线上的光源接收结构； 所述发射装置固定安装在所述镀膜腔室外侧壁上用于光源通过、且起密封作用的密封结构和通过光源安装板固定安装在所述密封结构上的光电对射光源；所述发射装置的密封结构与所述接收装置的密封结构具有相同的结构。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：贺强，
申请(专利权)人：中建材内江玻璃高新技术有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51
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