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本实用新型公开了镀膜腔室检测装置，其包括在镀膜腔室的两侧壁上均开设有一个位于同一直线上的对射孔，在其中的一个对射孔处设置有发射装置，在另一个对射孔处设置有用于接收发射装置对射过来的光源的接收装置；接收装置包括固定安装在镀膜腔室外侧壁上用于光...
该专利属于中建材（内江）玻璃高新技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中建材（内江）玻璃高新技术有限公司授权不得商用。

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