一种旋转式振镜扫描装置制造方法及图纸

技术编号:12382540 阅读:53 留言:0更新日期:2015-11-25 04:07
一种旋转式振镜扫描装置,包括激光器、转轴、扫描振镜、转动装置、工作反射镜和转台,扫描振镜固定在转台上;转轴连接在扫描振镜上,转动装置驱动转轴旋转,从而通过扫描振镜带动转台旋转;激光器发射的激光经过扫描振镜和工作反射镜反射照射到工作面上。旋转式振镜扫描装置在360度圆周范围内形成四个工作位置,使得扫描振镜保证加工精度的前提下,工作范围扩大4倍,克服了扫描振镜固定方式形成的工作空间局限,同时还避免了多扫描振镜工作方式带来的系统复杂度和硬件成本增加的问题。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种旋转式振镜扫描装置,其特征在于:包括激光器、转轴、扫描振镜、转动装置、工作反射镜和转台,其中:扫描振镜固定在转台上;转轴的第一端连接在扫描振镜上,转动装置驱动转轴旋转,从而通过扫描振镜带动转台旋转;转轴呈中空状,沿其轴向设置有通孔,工作反射镜固定在转台上,激光器发射的激光经过转轴的通孔照射到扫描振镜,随后激光束依次由扫描振镜和工作反射镜反射,照射到转台下方的工作面上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:黄见洪翁文陈金明李锦辉阮开明邓晶刘华刚林文雄
申请(专利权)人:中国科学院福建物质结构研究所
类型:新型
国别省市:福建;35

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