一种提高短波深紫外激光输出效率的倍频晶体耦合器制造技术

本发明专利技术公开一种提高短波深紫外激光输出效率的倍频晶体耦合器，包括第一BaF2晶体棱镜、KBBF晶体和第二BaF2晶体棱镜；KBBF晶体呈平板状；两个BaF2晶体棱镜分别设置于KBBF晶体的两侧面，两个BaF2晶体棱镜的顶角和底角两两相邻，且两个BaF2晶体棱镜与KBBF晶体的两侧面光胶接触；KBBF晶体的c轴晶向垂直于两个BaF2晶体棱镜与KBBF晶体的接触面；两个BaF2晶体棱镜的与KBBF晶体的接触面、KBBF晶体的两侧面、光束入射面、以及光束出射面都为抛光面；通光方向为两个BaF2晶体棱镜的内禀双折射率为零的晶向。所述倍频晶体耦合器能够有效减少KBBF晶体与BaF2晶体棱镜处接触面的反射损失，从而提高倍频光的转换效率和输出功率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光学晶体耦合器件
更具体地，涉及一种提高短波深紫外激 光输出效率的倍频晶体耦合器。
技术介绍
现有技术中，产生紫外、深紫外激光的最有效的途径之一是通过非线性光学晶体 的激光变频（包含倍频、和频、光参量振荡和放大）技术实现，而倍频由于操作简单而优于 和频等方法，最具有实用价值。常用的方法是将非线性光学晶体按位相匹配角切割，基频激 光按一定的角度入射，精确转动晶体调整入射角到位相匹配角（称角度调谐）或控制晶体 温度，使晶体达到位相匹配温度而实现有效变频输出。但是，有的非线性光学晶体存在解理 等特性不易切割，有的非线性光学晶体体积有限或造价昂贵，不能从中切割出一定尺寸以 满足特定入射角下的位相匹配角要求。 例如，在波长小于200nm的深紫外区域，目前只有KBe2B03F(KBBF)和 RbBe 2B03F(RBBF)两种非线性光学晶体可实现波长短于200nm的直接倍频输出，但是KBBF 和RBBF晶体具有层状习性，晶体沿c方向厚度一般仅l-2mm，无法按照相位匹配方向进行 切割，直接采用斜入射方式，随着入射角的增大，会发生全反射，斜入射的最短倍频波长在 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种提高短波深紫外激光输出效率的倍频晶体耦合器，其特征在于，包括第一BaF2晶体棱镜、KBBF晶体和第二BaF2晶体棱镜；KBBF晶体呈平板状；两个BaF2晶体棱镜分别设置于KBBF晶体的两侧面，两个BaF2晶体棱镜的顶角和底角两两相邻，且两个BaF2晶体棱镜与KBBF晶体的两侧面光胶接触；KBBF晶体的c轴晶向垂直于两个BaF2晶体棱镜与KBBF晶体的接触面；两个BaF2晶体棱镜的与KBBF晶体的接触面、KBBF晶体的两侧面、光束入射面、以及光束出射面都为抛光面；通光方向为两个BaF2晶体棱镜的内禀双折射率为零的晶向。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李如康，王晓洋，刘丽娟，夏明军，陈创天，
申请(专利权)人：中国科学院理化技术研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11