激光器及其倍频模组制造技术

本发明专利技术涉及一种激光器及其倍频模组。倍频模组包括二倍频晶体、分色镜、第一全反射镜、三倍频晶体、第二全反射镜及滤光组件。第一全反射镜位于第一位置时，基频激光可直接输出。第一全反射镜位于第二位置时，基频激光进入二倍频晶体实现倍频，得到二倍频激光。此时，若第二全反射镜位于第三位置，二倍频激光则会经分色镜分离，从而实现二倍频激光的输出。进一步的，将第二全反射镜移动至第四位置，第一混合光束则进入三倍频晶体中。而从第二输出端输出的第二混合光束经滤光组件过滤后，便可得到三倍频激光的输出。因此。在上述激光器及其倍频模组中，通过调整第一全反射镜及第二全反射镜的位置，即可进行三种不同频率的激光输出之间的切换。

Laser and frequency doubling module thereof

The invention relates to a laser and a frequency doubling module thereof. Double frequency module comprises a two frequency crystal, dichroic mirror, the first reflector, three frequency crystal, second total reflector and filter assembly. When the first total mirror is in the first position, the fundamental frequency laser can be output directly. When the first total mirror is positioned at the second position, the fundamental frequency laser enters the two frequency doubling crystal to realize frequency doubling, and a two frequency doubling laser is obtained. At this time, if the second mirror is in the third position, two laser is the dichroic mirror separation, so as to realize the output of the two laser. Further, the second total mirror is moved to the fourth position, and the first mixing beam enters the three octave crystal. The second hybrid beam output from the second output end is filtered by the filter component, and then the output of the three octave laser can be obtained. Therefore. In the laser and the frequency doubling module, the switching between the three different frequencies of the laser output can be performed by adjusting the position of the first total reflector and the two total reflector.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及激光的
，特别涉及一种激光器及其倍频模组。
技术介绍
激光作为近代科学技术中的重大专利技术之一，广泛应用于冷加工领域。特别是在非金属以及精密加工中，激光的应用价值尤其突出。现有激光技术基本是通过808nm或880nm半导体泵浦激光晶体或利用线偏振发生器产生1064nm的激光束。而随着全球对精细加工的需求日益增加，使得532nm绿光激光及355nm紫外激光的应用领域不断扩大。因此，需要对产生的基频1064nm激光束进行变频，以得到两倍频的532nm绿光激光及三倍频的355nm紫外激光。目前，市面上的绿光激光器多采用固体倍频的方案。即在激光器的腔内或者腔外设置倍频晶体，使激光束通过倍频晶体来实现激光由1064nm到532nm、355nm的转换。然而，目前的激光器只能分别输出经过变频后的532nm、355nm激光束或者基频的1064nm激光。但有些场景则需要1064nm、532nm、355nm三种频率的激光同时使用。这样，就需要准备三个激光器分别输出不同频率的激光束才能满足需求，这将会使得成本升高，也使得操作不方便。
技术实现思路
基于此，有必要针对现有激光器只能输出一种频率激光的问题，提供一种能输出三种不同频率激光的激光器及其倍频模组。一种倍频模组，包括：二倍频晶体，包括第一入射端及第一出射端，基频激光可经所述第一入射端进入所述二倍频晶体，并从所述第一出射端输出频率加倍的二倍频激光与所述基频激光的第一混合光束；分色镜，所述第一混合光束出射至所述分色镜表面时，所述基频激光发生透射且所述二倍频激光发生反射；活动设置的第一全反射镜，可设置于第一位置及第二位置，所述第一全反射镜位于所述第一位置时，所述基频激光直接输出，所述第一全反射镜位于所述第二位置时，所述基频激光进入所述二倍频晶体；三倍频晶体，包括第二入射端及第二出射端，所述第一混合光束可经所述第二入射端进入所述三倍频晶体，并从所述第二出射端输出频率加三倍的三倍频激光与所述二倍频激光、所述基频激光的第二混合光束；活动设置的第二全反射镜，可设置于第三位置及第四位置，所述第二全反射镜位于第三位置时，所述第一混合光束出射至所述分色镜的表面，所述第二全反射镜位于所述第四位置时，所述第一混合光束进入所述二倍频晶体；及滤光组件，与所述第二出射端耦合，接收所述第二混合光束并出射所述三倍频激光。在其中一个实施例中，还包括光束整形组件，所述光束整形组件与所述第一入射端相对设置并耦合，所述基频激光经所述光束整形组件输出后，进入所述二倍频晶体。在其中一个实施例中，所述光束整形组件包括相对且平行设置的凸透镜及凹透镜，且所述凸透镜与所述凹透镜的相对位置可调。在其中一个实施例中，所述第一全反射镜位于所述第一位置时，遮挡所述第一入射端，以使所述基频光发生反射，所述第一全反射镜位于所述第二位置时，避位所述第一入射端。在其中一个实施例中，还包括第一输出反射镜及第二反射输出镜，所述第一全反射镜位于所述第一位置时，与所述第一输出反射镜相对设置，所述基频光经所述第一全反射镜反射至所述第一输出反射镜；所述第二输出反射镜与所述第一出射端相对设置并相对于所述二倍频晶体的轴线倾斜，所述分色镜与所述第二输出反射镜相对设置，所述第一混合光束经所述第二输出反射镜反射至所述分色镜；其中，所述第一全反射镜位于所述第一位置时，所述第一全反射镜、所述第一输出反射镜、所述分色镜平行及所述第二输出反射镜相互平行。在其中一个实施例中，所述第一全反射镜、所述分色镜、所述第一输出反射镜及所述第二输出反射镜均与所述二倍频晶体的轴线呈45度夹角。在其中一个实施例中，所述第二全反射镜位于所述第四位置时，设置于所述分色镜与所述第二输出反射镜之间，所述第一混合光束经所述第二全反射镜反射进入所述三倍频晶体中。在其中一个实施例中，所述第二输出端的表面为相对于所述三倍频晶体的轴线倾斜的斜面，且所述滤光组件为小孔光阑。在其中一个实施例中，所述三倍频晶体相对于所述二倍频晶体的轴线倾斜预设角度，以使所述滤光组件输出的三倍频激光相对于所述二倍频晶体的轴线平行。一种激光器，包括：壳体；安装于所述壳体内的激光发生装置，用于产生基频激光；及如上述优选实施例中任一项所述的倍频模组，所述倍频模组安装于所述壳体内并与所述激光发生装置相耦合，以使所述基频激光进入所述倍频模组。上述激光器及其倍频模组，当第一全反射镜位于第一位置时，基频激光无法进入二倍频晶体，故基频激光可直接输出。移动第一全反射镜至第二位置时，基频激光进入二倍频晶体实现倍频，得到二倍频激光。且第二全反射镜位于第三位置时，二倍频激光从第一混合光束中经分色镜分离，从而实现二倍频激光的输出。进一步的，将第二全反射镜移动至第四位置，第一混合光束则进入三倍频晶体中。而从第二输出端输出的第二混合光束经滤光组件过滤后，便可得到三倍频激光的输出。因此。在上述激光器及其倍频模组中，通过调整第一全反射镜及第二全反射镜的位置，即可进行三种不同频率的激光输出之间的切换。附图说明图1为本专利技术较佳实施例中的激光器输出基频激光时，倍频模块的结构示意图；图2为本专利技术较佳实施例中的激光器输出二倍频激光时，倍频模块的结构示意图；图3为本专利技术较佳实施例中的激光器输出三倍频激光时，倍频模块的结构示意图。具体实施方式为了便于理解本专利技术，下面将参照相关附图对本专利技术进行更全面的描述。附图中给出了本专利技术的较佳的实施例。但是，本专利技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本专利技术的公开内容的理解更加透彻全面。需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本专利技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本专利技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本专利技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。请参阅图1、图2及图3，本专利技术较佳实施例中的激光器包括壳体(图未示)、激光发生装置(图未示)及倍频模组100。壳体具有内部空腔结构，用于收容激光发生装置及倍频模组100。壳体还设有激光输出通道，用于所需频率的激光输出。激光发生装置安装于壳体内，用于产生基频激光。具体在本实施例中，基频激光为1064nm激光。其中，激光发生装置可以为固体激光发生器、光纤激光发生器或者其他类型的线偏振激光发生器中的任意一种。倍频模组100安装于壳体内并与激光发生装置相耦合，以使激光发生装置产生的基频激光进入倍频模组100。其中，倍频模组100包括二倍频晶体110、分色镜120、第一全反射镜130、三倍频晶体140、第二全反射镜150及滤光组件160。倍频模组100的各部分可直接安装于壳体上，也可安装于支架(图未示)上，再通过支架安装于壳体。二倍频晶体110包括第一入射端及第一出射端。其中，第一入射端与第一出射端分别位于二倍频晶体110轴线的两端。二倍频晶体110可以为本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种倍频模组，其特征在于，包括：二倍频晶体，包括第一入射端及第一出射端，基频激光可经所述第一入射端进入所述二倍频晶体，并从所述第一出射端输出频率加倍的二倍频激光与所述基频激光的第一混合光束；分色镜，所述第一混合光束出射至所述分色镜表面时，所述基频激光发生透射且所述二倍频激光发生反射；活动设置的第一全反射镜，可设置于第一位置及第二位置，所述第一全反射镜位于所述第一位置时，所述基频激光直接输出，所述第一全反射镜位于所述第二位置时，所述基频激光进入所述二倍频晶体；三倍频晶体，包括第二入射端及第二出射端，所述第一混合光束可经所述第二入射端进入所述三倍频晶体，并从所述第二出射端输出频率加三倍的三倍频激光与所述二倍频激光、所述基频激光的第二混合光束；活动设置的第二全反射镜，可设置于第三位置及第四位置，所述第二全反射镜位于第三位置时，所述第一混合光束出射至所述分色镜的表面，所述第二全反射镜位于所述第四位置时，所述第一混合光束进入所述二倍频晶体；及滤光组件，与所述第二出射端耦合，接收所述第二混合光束并出射所述三倍频激光。

【技术特征摘要】
1.一种倍频模组，其特征在于，包括：二倍频晶体，包括第一入射端及第一出射端，基频激光可经所述第一入射端进入所述二倍频晶体，并从所述第一出射端输出频率加倍的二倍频激光与所述基频激光的第一混合光束；分色镜，所述第一混合光束出射至所述分色镜表面时，所述基频激光发生透射且所述二倍频激光发生反射；活动设置的第一全反射镜，可设置于第一位置及第二位置，所述第一全反射镜位于所述第一位置时，所述基频激光直接输出，所述第一全反射镜位于所述第二位置时，所述基频激光进入所述二倍频晶体；三倍频晶体，包括第二入射端及第二出射端，所述第一混合光束可经所述第二入射端进入所述三倍频晶体，并从所述第二出射端输出频率加三倍的三倍频激光与所述二倍频激光、所述基频激光的第二混合光束；活动设置的第二全反射镜，可设置于第三位置及第四位置，所述第二全反射镜位于第三位置时，所述第一混合光束出射至所述分色镜的表面，所述第二全反射镜位于所述第四位置时，所述第一混合光束进入所述二倍频晶体；及滤光组件，与所述第二出射端耦合，接收所述第二混合光束并出射所述三倍频激光。2.根据权利要求1所述的倍频模组，其特征在于，还包括光束整形组件，所述光束整形组件与所述第一入射端相对设置并耦合，所述基频激光经所述光束整形组件输出后，进入所述二倍频晶体。3.根据权利要求2所述的倍频模组，其特征在于，所述光束整形组件包括相对且平行设置的凸透镜及凹透镜，且所述凸透镜与所述凹透镜的相对位置可调。4.根据权利要求1所述的倍频模组，其特征在于，所述第一全反射镜位于所述第一位置时，遮挡所述第一入射端，以使所述基频光发生反射，所述第一全反射镜位于所述第二位置...

【专利技术属性】
技术研发人员：任戬，刘猛，刘健，
申请(专利权)人：深圳市杰普特光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44