压力检测器的安装结构制造技术

本发明专利技术的目的在于使得即使在压力检测器组装到安装配件主体后，也完全不存在对隔膜的应力影响，另外，也不会受到经年变化的影响。为了达成上述目的，本发明专利技术的结构如下：在将压力检测器(1)气密状地安装于在配管管路或机械装置中安装有的安装配件主体(15)的插接孔(16)内的压力检测器(1)的安装结构中，具备导管(9)、垫片压件(11)、垫片(12)、开口环(13)和罩盖(14)，将垫片压件(11)和开口环(13)插入安装配件主体(15)的插接孔(16)内，并且将罩盖(14)插装于插接孔(16)，将该罩盖(14)紧固于安装配件主体(15)一侧，利用开口环(13)按压垫片压件(11)和垫片(12)，使垫片(12)的一端面与插接孔(16)的底面之间以及垫片(12)的另一端面与垫片压件(11)的前端面之间分别作为密封部。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压力检测器的安装结构
本专利技术涉及利用压力检测元件(压敏元件、应变仪)的隔膜型的压力检测器的安装结构的改良，主要是在半导体制造设备的气体供给系统等中使用的压力检测器的安装结构。
技术介绍
目前，在管路内的流体压力的检测中广泛采用一种利用压力检测元件(例如压敏元件)的隔膜型的压力检测器(例如，参照专利文献1)。图9～图11为表示以往的隔膜型的压力检测器30的示例的图。该压力检测器30由传感器基座31、压力检测元件32、具备隔膜33的隔膜基座34、压力传递用介质35(硅油)、密封用滚珠36和引脚37等构成。若流体压力38经由隔膜33和压力传递介质35施加于压力检测元件32，则从形成压力检测元件32的半导体压力转换器经由引脚37向外部输出与压力成比例的电压信号。图12～图14为表示上述的隔膜型的压力检测器30的相对于管路等的安装结构的示例的局部放大截面图，压力检测器30通过按压部件41、固定配件42隔着垫片43气密状地安装固定于在配管管路或机械装置中安装有的安装配件主体(安装工具主体)39的插接孔40内。即，压力检测器30通过以下方式安装：将垫片43、压力检测器30和按压部件41依次插入安装配件主体39的插接孔40内，通过固定配件42、螺栓(省略图示)将按压部件41紧固固定于安装配件主体39一侧，由按压部件41的前端按压隔膜基座34的凸缘部34a或者传感器基座31和隔膜基座34的两凸缘部31a、34a，由此使压力检测器30隔着垫片43气密状地安装在安装配件主体39的插接孔40内。在上述压力检测器30的安装结构中，如果按压部件41通过固定配件42、螺栓紧固固定于安装配件主体39一侧，则经由按压部件41和垫片43，向隔膜基座34的凸缘部34a或者传感器基座31和隔膜基座34的两凸缘部31a、34a施加上下方向的压缩力(上下方向的反作用力)。万一，在按压部件41的紧固固定时，即使在隔膜基座34的凸缘部34a或者传感器基座31和隔膜基座34的两凸缘部31a、34a上施加的上下方向的压缩力成为起因，使得对隔膜33施加应力的情况下(例如，产生上下方向的压缩力的分力，其施加于隔膜33的情况下)，也会由于在隔膜基座34的凸缘部34a设置的浅槽34b、在传感器基座31的凸缘部31a设置的浅槽31b而使得该部分的壁厚变薄，因此基于应力的移位在上述薄壁部的附近被吸收。由此，应力不会直接传递到隔膜33，从而防止在隔膜33产生应变。其结果，在以往的压力检测器30的安装结构中，压力检测器30相对于安装配件主体39的安装前和安装后的输出、温度特性的变动变得极小，起到优异的实用性效果。但是，即使在上述现有的压力检测器30的安装结构中，在将压力检测器30固定在安装配件主体39的插接孔40时，也难以使隔膜33的应力应变完全消失，存在压力检测器30相对于安装配件主体39的组装前后的输出、温度特性变动的问题。这是因为：在被施加上下方向的压缩力的隔膜基座34的凸缘部34a的附近位置，设置有厚度为0.05mm～0.06mm程度的极薄的隔膜33，所以无论如何也对隔膜33施加压缩力的分力。另外，在压力检测器30组装到安装配件主体39后，会有由于经年变化使得固定配件42、螺栓松弛而导致按压部件41的按压力变弱的情况，在该情况下，还存在在隔膜基座34的凸缘部34a或者传感器基座31和隔膜基座34的两凸缘部31a、34a上施加的压缩力变化，并且对隔膜33施加的应力也变化，导致输出、温度特性大幅度变动的问题。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第3494594号公报
技术实现思路
本专利技术所要解决的问题为在将隔膜型的压力检测器实际安装固定于配管管路等的情况下产生的如上所述的问题，即：由于在将压力检测器组装在安装配件主体的情况下产生的隔膜的应力应变的不均，导致输出、温度特性产生变动而使压力检测器的测定精度降低的问题，其目的在于提供一种即使在压力检测器组装到安装配件主体后，也完全不存在对隔膜的应力影响，并且也不会受到经年变化的影响的压力检测器的安装结构。为了达成上述目的，本专利技术的第一侧面为一种压力检测器的安装结构，上述压力检测器的安装结构用于将压力检测器气密状地安装于在配管管路或机械装置中安装有的安装配件主体的插接孔内，上述压力检测器具备：形成有压力导入孔的壳体；设置于该壳体内且与上述压力导入孔连通的受压室；对应于该受压室的压力而移位的隔膜；和通过该隔膜的位移(移位)将压力转换为电信号的压力检测元件，上述压力检测器的安装结构具备：以向外方突出的状态设置于上述壳体并形成压力导入孔的导管；设置在该导管的前端部，直径比该导管大的环状的垫片压件；设置在上述安装配件主体的插接孔的底面，上述垫片压件的前端面要抵接的环状的垫片；跟上述垫片压件的与前端面相反一侧的面抵接的开口环；和装卸自由地插装在上述安装配件主体的插接孔内，按压上述开口环的罩盖(bonnet)，上述压力检测器的安装结构构成为：将上述垫片压件和上述开口环插入上述安装配件主体的插接孔内，并且将上述罩盖插装于上述插接孔，将该罩盖紧固于上述安装配件主体一侧，利用上述开口环按压上述垫片压件和上述垫片，使该垫片的一端面与上述插接孔的底面之间以及上述垫片的另一端面与上述垫片压件的前端面之间分别作为密封部。本专利技术的第二侧面为一种压力检测器的安装结构，上述压力检测器的安装结构用于将压力检测器气密状地安装于在配管管路或机械装置中安装有的安装配件主体的插接孔内，上述压力检测器具备：形成有压力导入孔的壳体；设置于该壳体内且与上述压力导入孔连通的受压室；对应于该受压室的压力而移位的隔膜；和通过该隔膜的位移(移位)将压力转换为电信号的压力检测元件，上述压力检测器的安装结构具备：以向外方突出的状态设置于上述壳体并形成压力导入孔的导管；设置在该导管的前端部，直径比该导管大的环状的垫片压件；设置在上述安装配件主体的插接孔的底面，上述垫片压件的前端面要抵接的环状的垫片；跟上述垫片压件的与前端面相反一侧的面抵接，具有插入上述导管的插入部的U字形环；和装卸自由地插装在上述安装配件主体的插接孔内，按压上述U字形环的罩盖，上述压力检测器的安装结构构成为：将上述垫片压件和上述U字形环插入上述安装配件主体的插接孔内，并且将上述罩盖插装于上述插接孔，将该罩盖紧固于上述安装配件主体一侧，利用上述U字形环按压上述垫片压件和上述垫片，使上述垫片的一端面与上述插接孔的底面之间以及上述垫片的另一端面与上述垫片压件的前端面之间分别作为密封部。本专利技术的第三侧面的特征在于：压力检测器的隔膜包括接受来自上述压力导入孔的压力的隔壁隔膜和设置有上述压力检测元件的压力检测隔膜，在上述隔壁隔膜与上述压力检测隔膜之间设置有填充了压力传递用介质的压力室。本专利技术的第四侧面的特征在于：在上述第一侧面中，使上述开口环为沿直径方向对半分割的开口环，另外，使上述罩盖形成为其内径比上述垫片压件的外径大且比上述开口环的外径小的筒状的罩盖，并且使该罩盖装卸自由地螺接于上述安装配件主体的插接孔内。专利技术效果由于本专利技术为如下的结构：在压力检测器的壳体的内部设置受压室，并且在上述壳体设置对应于受压室的压力而移位的隔膜，另外，将形成有与上述受压室连通的压力导入孔的导管以突出状态设置于壳体，将垫片压件设置在该导本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压力检测器的安装结构，所述压力检测器的安装结构用于将压力检测器气密状地安装于在配管管路或机械装置中安装有的安装配件主体的插接孔内，所述压力检测器具备：形成有压力导入孔的壳体；设置于该壳体内且与所述压力导入孔连通的受压室；对应于该受压室的压力而移位的隔膜；和通过该隔膜的移位将压力转换为电信号的压力检测元件，所述压力检测器的安装结构的特征在于，具备：以向外方突出的状态设置于所述壳体并形成所述压力导入孔的导管；设置在该导管的前端部，直径比该导管大的环状的垫片压件；设置在所述安装配件主体的插接孔的底面，被所述垫片压件的前端面抵接的环状的垫片；跟所述垫片压件的与前端面相反一侧的面抵接的开口环；和装卸自由地插装在所述安装配件主体的插接孔内，按压所述开口环的罩盖，所述压力检测器的安装结构构成为：将所述垫片压件和所述开口环插入所述安装配件主体的插接孔内，并且将所述罩盖插装于所述插接孔，将该罩盖紧固于所述安装配件主体一侧，利用所述开口环按压所述垫片压件和所述垫片，使该垫片的一端面与所述插接孔的底面之间以及所述垫片的另一端面与所述垫片压件的前端面之间分别作为密封部。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.03.28 JP 2013-0682171.一种压力检测器的安装结构，所述压力检测器的安装结构用于将压力检测器气密状地安装于在配管管路或机械装置中安装有的安装配件主体的插接孔内，所述压力检测器具备：形成有压力导入孔的壳体；设置于该壳体内且与所述压力导入孔连通的受压室；对应于该受压室的压力而移位的隔膜；和通过该隔膜的移位将压力转换为电信号的压力检测元件，所述压力检测器的安装结构的特征在于，具备：以向外方突出的状态设置于所述壳体并形成所述压力导入孔的导管；设置在该导管的前端部，直径比该导管大的环状的垫片压件；设置在所述安装配件主体的插接孔的底面，被所述垫片压件的前端面抵接的环状的垫片；跟所述垫片压件的与前端面相反一侧的面抵接的开口环；和装卸自由地插装在所述安装配件主体的插接孔内，按压所述开口环的罩盖，所述压力检测器的安装结构构成为：将所述垫片压件和所述开口环插入所述安装配件主体的插接孔内，并且将所述罩盖插装于所述插接孔，将该罩盖紧固于所述安装配件主体一侧，利用所述开口环按压所述垫片压件和所述垫片，使该垫片的一端面与所述插接孔的底面之间以及所述垫片的另一端面与所述垫片压件的前端面之间分别作为密封部。2.一种压力检测器的安装结构，所述压力检测器的安装结构用于将压力检测器气密状地安装于在配管管路或机械装置中安装有的安装配件主体的插接孔内，所述压力检测器具备：形成有压力导入孔的壳体；设置于该壳体内且与所述压力导入孔连通的受压室；对应于...

【专利技术属性】
技术研发人员：土肥亮介，西野功二，池田信一，深泽政纪，石黑胜巳，
申请(专利权)人：株式会社富士金，日本电产科宝电子株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP