【技术实现步骤摘要】
一种具有复合密封方式的静压气体轴承及其使用方法
:一种具有复合密封方式的静压气体轴承及其使用方法,属于超精密静压气体润滑领域。
技术介绍
:静压气体轴承以外部供给的压缩气体为气源,通过在轴承体和承载面之间形成一层厚度微小的润滑气体薄膜实现运动支撑。相对于润滑油或润滑脂,气体粘性系数极小,作为润滑介质摩擦力小,因此静压气体轴承支撑的运动定位平台具有运动定位精度高、使用寿命长,发热量低、轴承高速运动温度变化小,克服了传统轴承高温工作时润滑介质失效、热稳定性差等缺点,并可以弥补磁悬浮轴承的磁场对加工环境的影响,广泛应用于光刻曝光、干涉测量和半导体检测等超精密工程
随着超精密加工和测量工艺的进步,不仅要求运动平台具有极高的运动定位精度,而且必须工作在真空或超洁净环境中,但常规静压气体轴承润滑气体从轴承边缘直接排出,将污染真空或超洁净环境,无法满足真空或超洁净环境下光刻曝光、干涉测量和半导体检测的苛刻要求。针对上述问题,本专利技术提出一种具有复合密封方式的静压气体轴承及其使用方法,使静压气体轴承的润滑气体得到直接回收,同时提高轴承外缘的密封性能,使静压气体轴承可工作在真空或超洁净环境并能避免润滑气体对真空或超洁净环境的污染。
技术实现思路
:本专利技术之目的是:提出一种具有复合密封结构的静压气体轴承及其使用方法,使静压气体轴承可工作在真空或超洁净环境并能避免润滑气体对真空或超洁净环境的污染,便于静压气体轴承的进一步推广应用。为了实现本专利技术之目的,拟采用以下的技术方案:本专利技术由:轴承体、电加热器、回流槽、供气孔I、气腔、节流孔、供气孔II、承载面、回流孔I ...
【技术保护点】
一种具有复合密封方式的静压气体轴承,它至少由:轴承体(1)、电加热器(2)、回流槽(3)、供气孔I(4)、气腔(5)、节流孔(6)、供气孔II(7)、承载面(8)、回流孔I(9)、回流孔II(10)、机械泵(11)、机械泵进气管(12)、开关阀(13)、真空泵排气管(14)、真空泵(15)、真空泵进气管(16)、插板阀(17)、压缩机(18)、压缩机排气管(19)和调压阀(20)组成,其特征在于,所述的轴承体(1)上设置电加热器(2),轴承体(1)与承载面(8)之间的气膜(21)与回流槽(3)下部连通,回流槽(3)上部通过回流孔I(9)与回流孔II(10)连通,回流孔II(10)与插板阀(17)的进气口连通,插板阀(17)的出气口通过真空泵进气管(16)与真空泵(15)的进气口连通,真空泵(15)的出气口通过真空泵排气管(14)与开关阀(13)的进气口连通,开关阀(13)的出气口通过机械泵进气管(12)与机械泵(11)的进气口连通,压缩机(18)的出气口通过压缩机排气管(19)与调压阀(20)的进气口连通,调压阀(20)的出气口与供气孔I(4)连通,供气孔I(4)通过供气孔II(7)与 ...
【技术特征摘要】
1.一种具有复合密封方式的静压气体轴承,它至少由:轴承体(1)、电加热器(2)、回流槽(3)、供气孔I(4)、气腔(5)、节流孔(6)、供气孔II(7)、承载面(8)、回流孔I(9)、回流孔II(10)、机械泵(11)、机械泵进气管(12)、开关阀(13)、真空泵排气管(14)、真空泵(15)、真空泵进气管(16)、插板阀(17)、压缩机(18)、压缩机排气管(19)和调压阀(20)组成,其特征在于,所述的轴承体(1)上设置电加热器(2),轴承体(1)与承载面(8)之间的气膜(21)与回流槽(3)下部连通,回流槽(3)上部通过回流孔I(9)与回流孔II(10)连通,回流孔II(10)与插板阀(17)的进气口连通,插板阀(17)的出气口通过真空泵进气管(16)与真空泵(15)的进气口连通,真空泵(15)的出气口通过真空泵排气管(14)与开关阀(13)的进气口连通,开关阀(13)的出气口通过机械泵进气管(12)与机械泵(11)的进气口连通,压缩机(18)的出气口通过压缩机排气管(19)与调压阀(20)的进气口连通,调压阀(20)的出气口与供气孔I(4)连通,...
【专利技术属性】
技术研发人员:李运堂,吴进田,梁宏民,沈传康,
申请(专利权)人:中国计量学院,
类型:发明
国别省市:浙江;33
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