半导体激光器模块及其制造方法技术

本发明专利技术所提供的半导体激光器模块(1)具备：第一基板(10)；第二基板(20)，设置在第一基板(10)上；半导体激光器元件(30)，射出具有沿着Z方向的光轴的激光(L)；准直透镜(40)，对激光(L)的成分中的快轴方向(Y方向)的成分进行准直；以及透镜固定块(50)，具有与X方向垂直的透镜安装面(50A)以及块固定面(50B)。准直透镜(40)在X方向的端部(40A)通过透镜固定用树脂(42)固定于透镜固定块(50)的透镜安装面(50A)。透镜固定块(50)的块固定面(50B)通过块固定用树脂(52)固定于第二基板(20)在X方向的侧面(20A)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及，特别是涉及包含半导体激光器元件以及对从半导体激光器元件射出的激光进行准直的准直透镜的。
技术介绍
—般地，将与半导体激光器元件的pn结垂直的方向称为快轴，将与pn结平行的方向称为慢轴，但半导体激光器元件的快轴方向的开口数比慢轴方向的开口数大得多。因此，从半导体激光器元件射出的激光在快轴方向具有较大的广度。因此，需要将准直透镜配置于半导体激光器元件的射出面的附近，准直透镜对从半导体激光器元件射出的激光的快轴方向的成分进行准直(例如参照专利文献I以及专利文献2)。为了使用这样的准直透镜来构成所希望的光学系统，需要在沿着光轴的方向以及沿着快轴的方向以较高精度将准直透镜固定于半导体激光器元件，抑制半导体激光器元件与准直透镜之间的位置关系的变动。具体而言，需要以微米级来固定以及维持半导体激光器元件与准直透镜之间的位置关系。例如，在专利文献I的第4图所公开的光纤安装装置中，准直透镜(光纤透镜26)以能够沿着其轴线滑动的方式安装，但为了使光纤透镜26能够滑动需要在圆筒形夹具52与光纤透镜26之间形成一定的缝隙。因此，在从半导体激光器元件棒10射出的激光的光轴方向以及快轴方向这两个方向不能以微米级抑制光纤透镜26的位置的变动。另外，专利文献I的光纤透镜26通过环氧树脂50固定于安装部件40，但随着该环氧树脂50的固化收缩，光纤透镜26向激光的光轴方向偏移。并且，由于该光纤透镜26通过环氧树脂50直接固定于安装部件40，所以为了进行光纤透镜26的调心，至少需要在安装部件40与光纤透镜26之间设置调心对准量以上的环氧树脂50。由于由该环氧树脂50的温度、湿度引起的收缩、膨胀，光纤透镜26也向快轴方向偏移。另外，在专利文献2中公开了一种半导体激光器模块，将半导体激光器元件I和准直透镜6分别通过钎焊层5、8固定于一个辅助物体4，从而使半导体激光器元件I的偏转与准直透镜6的偏转连动，来抑制两者间的位置关系的变动。在对半导体激光器元件I的位置进行调整时，为了对钎焊层5、8进行钎焊，需要例如在约400°C的高温下进行半导体激光器元件I的定位。然而，由于在那样的温度下不能从半导体激光器元件I射出激光，所以存在不能一边从半导体激光器元件I射出激光一边对准直透镜6进行调心(所谓的主动调心)这样的问题。在这种情况下，若代替钎焊层5、8使用树脂等固定半导体激光器元件I以及准直透镜6，则能够进行主动调心，但在该情况下，由于因树脂的收缩、膨胀而辅助物体4以及准直透镜6的位置也会相对于半导体激光器元件I大幅变动，所以也存在准直透镜6从调心位置偏离这样的问题。专利文献1:日本特开2004 - 200634号公报专利文献2:日本专利第3423723号公报
技术实现思路
本专利技术是鉴于这样的现有技术的问题点而完成的，第一目的在于提供一种半导体激光器模块，能够减少由固定准直透镜的树脂的收缩、膨胀所带来的影响，并将准直透镜保持在高精度地进行了调心的状态。另外，本专利技术的第二目的在于提供一种半导体激光器模块的制造方法，能够一边进行准直透镜的主动调心，一边将准直透镜以高精度固定在半导体激光器元件。根据本专利技术的第一方式，提供一种半导体激光器模块，能够减少由固定准直透镜的树脂的收缩、膨胀所带来的影响，并将准直透镜保持在高精度地进行了调心的状态。该半导体激光器模块具备基板；元件安装部，其设置在上述基板上；以及半导体激光器元件，其被安装于上述元件安装部。上述半导体激光器元件射出具有沿着第一方向的光轴的激光。上述半导体激光器模块具备:准直透镜，其对从上述半导体激光器元件射出的激光的成分中与上述第一方向垂直的第二方向的成分进行准直；以及透镜固定块，其具有透镜安装面和块固定面，上述透镜安装面相对于与上述第一方向以及上述第二方向垂直的第三方向垂直，上述块固定面与上述第三方向垂直。上述准直透镜在上述第三方向的端部的至少一方通过透镜固定用树脂固定于上述透镜固定块的透镜安装面。上述透镜固定块的上述块固定面通过块固定用树脂固定于上述元件安装部在上述第三方向的侧面。像这样，根据本专利技术的第一方式，由于固定准直透镜的透镜固定用树脂设置在准直透镜在第三方向的端部和与第三方向垂直的透镜安装面之间，所以因透镜固定用树脂的固化收缩、由温度或者湿度引起的透镜固定用树脂的收缩、膨胀而带来的准直透镜的位置的变化主要仅为第三方向。并且，由于准直透镜无需在第三方向调整位置并且在光学上任意位置都可以，所以也能够削薄准直透镜与透镜安装面之间的透镜固定用树脂的厚度，能够减小由透镜固定用树脂的收缩或者膨胀引起的变化量本身。因此，准直透镜的位置在第一方向以及第二方向几乎不会变化。因此，能够减少由固定准直透镜的透镜固定用树脂的收缩、膨胀带来的影响，并将准直透镜保持在高精度地进行了调心的状态。并且，由于将固定透镜固定块的块固定用树脂设置在透镜固定块的与第三方向垂直的块固定面和元件安装部在第三方向的侧面之间，所以由块固定用树脂的收缩、膨胀引起的透镜固定块的位置的变化主要仅为第三方向。并且，由于准直透镜在第三方向无需调整位置并且在光学上任意的位置都可以，所以也能够削薄透镜固定块与元件安装部在第三方向的侧面之间的块固定用树脂的厚度，能够减小由块固定用树脂的收缩或者膨胀引起的变化量本身。因此，透镜固定块的位置在Y方向以及Z方向几乎不会变化，另外，被固定于透镜固定块的准直透镜的位置在Y方向以及Z方向上也几乎没有变化。因此，能够将准直透镜保持在高精度地进行了调心的状态。在这里，能够将上述第二方向作为从上述半导体激光器元件射出的激光的快轴的方向。另外，作为上述透镜固定用树脂，能够使用UV固化树脂或者热固化树脂。并且，作为上述块固定用树脂，能够使用UV固化树脂或者热固化树脂。另外，上述元件安装部包含安装上述半导体激光器元件的安装基板和规定厚度的隔离物，上述透镜固定块的块固定面也可以通过上述块固定用树脂固定于上述元件安装部的隔离物在上述第三方向的侧面。另外，优选使隔着上述准直透镜存在于上述第一方向的两侧的透镜固定用树脂的量相互相等。通过这样，由于隔着准直透镜存在于第一方向的两侧的透镜固定用树脂的收缩量或者膨胀量相等而相互抵消，所以实际能够消除由透镜固定用树脂的收缩、膨胀引起的准直透镜向第一方向的影响。同样地，优选使隔着上述准直透镜存在于上述第二方向的两侧的透镜固定用树脂的量相互相等。通过这样，由于隔着准直透镜存在于第二方向的两侧的透镜固定用树脂的收缩量或者膨胀量相等而相互抵消，所以能够实际上消除由透镜固定用树脂的收缩、膨胀引起的准直透镜向第二方向的影响。也可以将上述透镜固定块的透镜安装面的位置，与上述透镜固定块的块固定面的位置相比在上述第三方向上远离上述元件安装部。或者，也可以在上述透镜固定块的透镜安装面与块固定面之间，形成防止上述透镜固定用树脂与上述元件安装部接触的槽。通过这样的结构，在使透镜固定块接近元件安装部的情况下，能够防止透镜固定用树脂与元件安装部接触。根据本专利技术的第二方式，能够一种半导体激光器模块的制造方法，能够一边进行准直透镜的主动调心，一边以高精度对半导体激光器元件固定准直透镜。通过该制造方法来制造半导体激光器模块，上述半导体激光器模块具备:半导体激光器元件，其射出具有沿着第一方向的光轴的激本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体激光器模块，其特征在于，具备：基板；元件安装部，其设置在所述基板上；半导体激光器元件，其安装于所述元件安装部，射出具有沿着第一方向的光轴的激光；准直透镜，其对从所述半导体激光器元件射出的激光的成分中的与所述第一方向垂直的第二方向的成分进行准直；以及透镜固定块，其具有透镜安装面和块固定面，所述透镜安装面相对于与所述第一方向以及所述第二方向垂直的第三方向垂直，所述块固定面与所述第三方向垂直，所述准直透镜在所述第三方向的端部的至少一方通过透镜固定用树脂固定于所述透镜固定块的透镜安装面，所述透镜固定块的所述块固定面通过块固定用树脂固定于所述元件安装部在所述第三方向的侧面。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：木村直树，中谷晋，
申请(专利权)人：株式会社藤仓，
类型：发明
国别省市：日本;JP