一种光栅传感器动态检测平台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种光栅传感器动态检测平台，旨在提供一种导向精密、定位精准、实时同步的光栅传感器动态检测平台，其包括底座、固定在底座上的大理石平台、固定在大理石平台上的基准光栅和用于固定被测光栅的被测光栅固定架、用于采集光栅信号并对光栅信号采集处理的综合控制平台；在大理石平台上还设置有超精密导向导轨；在基准光栅的两侧设置有用于传动被测光栅固定架的直线电机；基准光栅沿超精密导向导轨、直线电机通过精密导向滑块以及超轻质平台实现往复运动；综合控制平台与直线电机相连。本实用新型专利技术不仅导向精密、定位精准、实时同步，而且安全可靠和自动化程度高，具有很高的实用价值和推广价值。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种光栅传感器动态检测平台，具体是一种光栅光速动态综合检测平台。
技术介绍
目前，光栅检测技术水平的高低直接影响着光栅的制造技术水平，而且在某种意义上来说，光栅的检测比光栅刻划和复制更为重要。衡量光栅质量的指标主要有准确度、均匀性误差等。不论是光栅或是编码盘，准确度都是光栅检测中最为重要的指标。针对长光栅的准确度检测目前国内外常用的方法为全长最大误差，针对圆光栅的准确度检测为任意两直径栅线直径间隔误差。对于长光栅的准确度检测，通常采用“比较法”来测长光栅的刻划误差，根据精度高低来选择主要有线纹比长仪、光电光波比长仪以及长光栅数显检查仪等三种。而所有光栅检测的准确度以及均匀性误差等方面真实数据的获取，均需要在针对性设计的高精密测试平台上才能获得。而目前在光栅等类似对象的测试平台方面，主要分为两个方面：一方面是纯静态或半静态情况下的测试平台。该情况下虽然可以有效保证获取数据的真实性，但操作起来非常复杂费时，工作效率较低，在批量化生产应用时更是难以实现；另一方面是在准静态测试平台使用受限的基础上，部分人提出采用动态情况下的实时检测平台，但由于并未较好的解决检测平台在动态运动过程中稳态或高加速态行走精度、定位精度等，导致所测数据的动态准确度、回程误差、重复性等无法满足设计要求，同时无法解决动态情况下数据高速采集的问题，因此造成光栅检测在高速动态综合检测平台方面的受限。
技术实现思路
本技术的目的为解决了上述现有的技术缺点，提供一种导向精密、定位精准、实时同步的动态测试平台。为实现上述目的，本技术提供一种光栅传感器动态检测平台，其包括底座、固定在所述底座上的大理石平台、固定在所述大理石平台上的基准光栅和用于固定被测光栅的被测光栅固定架、用于采集光栅信号并对光栅信号进行处理的综合控制平台；在所述大理石平台上还设置有超精密导向导轨；在所述基准光栅的两侧设置有用于传动被测光栅固定架的直线电机；所述基准光栅沿超精密导向导轨、直线电机通过精密导向滑块以及超轻质平台实现往复运动；所述综合控制平台与直线电机相连。作为本技术的一种优选实施例，所述被测光栅固定架通过活动的被测光栅安装夹具与所述大理石平台相连。作为本技术的一种优选实施例，所述大理石平台为A级精密花岗岩济南青石材；所述综合控制平台包括IMAC400控制器、驱动器，工业计算机、数据采集板卡、上位机数据处理器；所述超精密导向导轨为高速、精密级静音型线轨。作为本技术的一种优选实施例，所述超精密导向导轨的两端设置有用于防止误操作产生冲击的限位开关、缓冲器和回零检测器。作为本技术的一种优选实施例，所述直线电机还相连有水冷装置；所述大理石平台的两侧设有宽度不等的用于走强电弱电的走线拖链。作为本技术的一种优选实施例，所述大理石平台上还设置有水平调节器用于调节大理石平台的水平。本技术具有的有效效果是：一种光栅传感器动态监测平台包括底座、固定在所述底座上的大理石平台、固定在所述大理石平台上的基准光栅和用于固定被测光栅的被测光栅固定架、用于采集光栅信号并对光栅信号进行处理的综合控制平台；在所述大理石平台上还设置有超精密导向导轨；在所述基准光栅的两侧设置有用于传动被测光栅固定架的直线电机；所述基准光栅沿超精密导向导轨、直线电机通过精密导向滑块以及超轻质平台实现往复运动；所述综合控制平台与直线电机相连；本技术将全部动态测试组件设置于一整体大理石平台之上，由双直线电机带动被测光栅在超精密导向导轨上往复运动，通过综合控制平台可以实现实时对比分析，不仅导向精密、定位精准、实时同步，而且安全可靠、自动化程度高，具有很高的实用价值和推广价值。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例的结构示意图；图中：1、底座；2、大理石平台；3、水平调节器；4、超轻质平台；5、被测光栅固定架；6、超精密导向导轨；7、直线电机；8、走线拖链；9、水冷装置；10、综合控制平台；11、限位开关；12、缓冲器；13、被测光栅安装夹具；14、精密导向滑块；15、基准光栅；16、回零检测器。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。参见图1，一种光栅传感器动态检测平台的测试平台，包括底座1、固定在所述底座1上的大理石平台2、固定在所述大理石平台2上的基准光栅15和用于固定被测光栅的被测光栅固定架5、用于采集光栅信号并对光栅信号进行处理的综合控制平台10；在所述大理石平台2上还设置有超精密导向导轨6；在所述基准光栅15的两侧设置有用于传动被测光栅固定架5的直线电机7；所述被测光栅固定架5通过超轻质平台4、精密滑块14沿导向导轨6、直线电机7实现往复运动；所述综合控制平台10与直线电机7相连。本技术实施例中，在所述大理石平台2上还设置有水平调节器3用于调节大理石平台2的水平度；所述被测光栅固定架5通过活动的被测光栅安装夹具13与所述大理石平台2相连；优选的大理石平台2为A级精密花岗岩济南青石材；其结构均匀，线膨胀系数极小、不易变形，而且精度高、刚性好、硬度高、耐磨性能好；又保养方便简单，使用寿命长；在室温下能保持温度的测量精度无磁性。具体的，作为本技术的一种优选实施例，所述综合控制平台10包括IMAC400控制器、驱动器，工业计算机、数据采集板卡、上位机数据处理器，综合控制平台10大大提高了设备的整体稳定性和可靠性，不仅降低了接线的复杂性，完全屏蔽的工业插头和外壳也大大提高系统的抗干扰能力，最大限度地降低维护及维修成本，而且有效的保证了动态检测结果的准确性；作为本实用新型的一种优选实施例，所述超精密导向导轨6为高速、精密级静音型线轨，使得设备定位更加精准，导向更加准确。进一步的，在所述超精密导向导轨6的两端设置有用于防止误操作产生冲击的限位开关11本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光栅传感器动态检测平台，其特征在于：包括底座(1)、固定在所述底座(1)上的大理石平台(2)、固定在所述大理石平台(2)上的基准光栅(15)和用于固定被测光栅的被测光栅固定架(5)、用于采集光栅信号并对光栅信号进行处理的综合控制平台(10)；在所述大理石平台(2)上还设置有超精密导向导轨(6)；在所述基准光栅(15)的两侧设置有用于传动被测光栅固定架(5)的直线电机(7)；所述基准光栅(15)沿超精密导向导轨(6)、直线电机(7)通过精密导向滑块(14)以及超轻质平台(4)实现往复运动；所述综合控制平台(10)与直线电机(7)相连。

【技术特征摘要】
1.一种光栅传感器动态检测平台，其特征在于：包括底座(1)、固定在所
述底座(1)上的大理石平台(2)、固定在所述大理石平台(2)上的基准光栅
(15)和用于固定被测光栅的被测光栅固定架(5)、用于采集光栅信号并对光
栅信号进行处理的综合控制平台(10)；在所述大理石平台(2)上还设置有超
精密导向导轨(6)；在所述基准光栅(15)的两侧设置有用于传动被测光栅固
定架(5)的直线电机(7)；所述基准光栅(15)沿超精密导向导轨(6)、直线
电机(7)通过精密导向滑块(14)以及超轻质平台(4)实现往复运动；所述
综合控制平台(10)与直线电机(7)相连。
2.根据权利要求1所述的光栅传感器动态检测平台，其特征在于：所述被
测光栅固定架(5)通过活动的被测光栅安装夹具(13)与所述大理石平台(2)
相连。
3.根据权利要求1所述的光栅...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘建刚，谢永列，钟明宇，杨二军，
申请(专利权)人：贵阳新天光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：贵州;52