一种高精度线纹标尺精度检测校准系统技术方案

本发明专利技术涉及计量检测校准技术领域，且公开了一种高精度线纹标尺精度检测校准系统，包括光电显微光学图与线纹检测系统图，所述光电显微光学图包括有光源、聚光镜组、线纹标尺、物镜、分光棱镜、滤色片、分划板、CCD组件、光学扫描装置、狭缝、光电管；所述线纹检测系统图包括有精密级丝杆、接近开关组。该高精度线纹标尺精度检测校准系统，通过设置有物镜、CCD组件与激光干涉仪等达到校准精准的目的，本发明专利技术发明专利技术采用包括高精密丝杆、减速机构、光电显微镜及高清晰CCD组件、精密调节机构、环境空间梯度检测、精密伺服采集控制系统（控制原理框图），其中优化的光电显微镜光路结构，使得本发明专利技术专利可以实现更高精度等级的线纹校准。

【技术实现步骤摘要】
一种高精度线纹标尺精度检测校准系统
本专利技术涉及计量检测校准
，具体为一种高精度线纹标尺精度检测校准系统。
技术介绍
高精度线纹标尺精度检测仪是一种精密度很高的线纹标尺精度检测校准仪器，主要用于检测线纹标尺刻划好后的精度检测，适用于线纹标尺生产企业、科研单位，以及国家各级检定机关的计量部门和实验室，这里检测基准为高精度激光干涉仪，目前国内仅有两家单位可以做这方面的检测，一个是本专利申请公司，另一个为中国国家计量院。目前高等级线纹标尺检测的技术难点主要：一、采用传统的刻线瞄准技术（人眼观察），而瞄准技术会带来很多人为的不确定因素；二、传动机构精度以及环境引起的不确定性，而本专利技术则通过消除现有人为因素及增加环境等相关补偿后，采用高清晰度CCD配合光电显微镜获取线纹标尺刻线，精确获取刻线边缘，精确获取刻线信号，从而触发激光干涉仪记录当前数据，三个轴运动实现远程化操作；根据被检测对象的精度高，所以平台的稳定性、形变、硬度等都在考虑的范围，所以平台必须采用长期失效处理合金铸铁，相关关键部件进行了淡化处理；恒温恒湿恒压室实现无人化，完全本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高精度线纹标尺精度检测校准系统，包括光电显微光学图与线纹检测系统图，其特征在于：所述光电显微光学图包括有光源（1）、聚光镜组（2）、线纹标尺（3）、物镜（4）、分光棱镜（5）、滤色片（6）、分划板（7）、CCD组件（8）、光学扫描装置（9）、狭缝（10）、光电管（11）；所述线纹检测系统图包括有精密级丝杆（12）、接近开关组（13）、激光干涉仪（14）、线性分光镜（15）、反射镜（16）、线纹标尺及尺框（17）、调节螺栓（18）、光电显微镜（19）、电机组件（20）、运动控制模块（21）、数据采集系统（22）、减速机构（23）、环境采集系统（24）、软件集成系统（25）、等温台（26）...

【技术特征摘要】
1.一种高精度线纹标尺精度检测校准系统，包括光电显微光学图与线纹检测系统图，其特征在于：所述光电显微光学图包括有光源（1）、聚光镜组（2）、线纹标尺（3）、物镜（4）、分光棱镜（5）、滤色片（6）、分划板（7）、CCD组件（8）、光学扫描装置（9）、狭缝（10）、光电管（11）；所述线纹检测系统图包括有精密级丝杆（12）、接近开关组（13）、激光干涉仪（14）、线性分光镜（15）、反射镜（16）、线纹标尺及尺框（17）、调节螺栓（18）、光电显微镜（19）、电机组件（20）、运动控制模块（21）、数据采集系统（22）、减速机构（23）、环境采集系统（24）、软件集成系统（25）、等温台（26）、温度传感器（27）、湿度传感器（28）。


2.根据权利要求1所述的一种高精度线纹标尺精度检测校准系统，其特征在于：所述光源（1）的右侧放置有聚光镜组（2），所述聚光镜组（2）的顶部放置有线纹标尺（3），所述线纹标尺（3）的顶部放置有物镜（4），所述物镜（4）的顶部放置有分光棱镜（5），所述分光棱镜（5）的顶部放置有滤色片（6），所述滤色片（6）的顶部放置有分划板（7），所述分划板（7）的顶部放置有CCD组件（8），所述分光棱镜（5）的右侧放置有光学扫描装置（9）...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘建刚，徐元玲，潘流平，
申请(专利权)人：贵阳新天光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：贵州;52