检测发光器件混色缺陷的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供的检测发光器件混色缺陷的装置，涉及半导体器件制造领域，通过增设光源及与其匹配的滤镜，即可在对诸如OLED等发光器件的混色缺陷检测工艺中，利用该光源及滤镜对发光区以外的区域所产生的干扰光线进行互补，以消除该干扰光线，进而使得采集的图像中，将发光区图像与其他区域图像予以区分，进而消除混色等缺陷，在增强后续对发光范围的分析判定精准度的同时，还大大提高了检测工艺的工作效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体器件制造领域，尤其涉及一种检测发光器件混色的装置。
技术介绍
在显示器件(如OLED显示器件等)的制备工艺中，一般需要对其混色(color mixing)缺陷进行检测，以及时发现缺陷产品，进而避免因混色等各种缺陷而给后续工艺带来的不良影响及制程浪费等。当前的工艺中，一般是采用自动光学检测仪(Automatic Optic Inspection，简称AOI)对显示器件的混色缺陷检测，即通过利用电荷耦合器件(Charge-Coupled Device，简称CCD)将光学图像(Video)转换为数字图形(CCD-TDI image)后，以灰阶模式进行运算对比后，以确定显示器件是否存在有诸如混色等缺陷。但是，由于在对显示器件进行检测时，需要利用紫外光(UV)激发显示器件中的有机材料才能使其发光，进而产生光学图像；而在采用UV激发有机材料后，因有机材料特性等原因成像背景区域会产生诸多干扰(如在激发发光时显示器件的背板所成像会偏蓝)，进而影响了后续对发光范围的分析判定，甚至会引起大量的假缺陷及误判，从而导致检测工艺的精准度及效率大大降低。
技术实现思路
鉴于上述技术问题，本技术提供一种检测发光器件混色的装置，发光器件设置有发光区和背材区，所述装置包括：机台，所述发光器件固定设置在所述机台上；激励光源，设置于所述机台的上方，照射所述发光器件，以激励该发光器件发光；有色光源，设置于所述机台的上方，照射所述发光器件，以滤除所述背材区产生的干扰光线；以及数字图形获取装置，设置于所述发光器件的上方，以获取并分析所述发光器件发光时的数字图形。作为一个优选的实施例，上述的检测发光器件混色的装置中：所述发光器件为OLED器件。作为一个优选的实施例，上述的检测发光器件混色的装置中的所述OLED器件包括：有机发光层，具有发射光线的正面及相对于该正面的背面；背板玻璃，设置于所述有机发光层的背面；透光玻璃，设置于所述有机发光层的正面；其中，所述发光区设置于所述有机发光层上。作为一个优选的实施例，上述的检测发光器件混色的装置中：所述机台为自动光学检测仪。作为一个优选的实施例，上述的检测发光器件混色的装置中：所述激励光源为紫外线光源。作为一个优选的实施例，上述的检测发光器件混色的装置中：所述有色光源发射光的波长与所述激励光源发射光的波长不同。作为一个优选的实施例，上述的检测发光器件混色的装置中：所述有色光源发射光的波长及强度可调。作为一个优选的实施例，上述的检测发光器件混色的装置中的所述有色光源包括：可见光源，用于发射包含有与所述背材区发射的光线互补的光线；滤镜，设置在所述可见光源与所述发光器件之间；其中，所述滤镜对所述可见光源照射至所述发光器件上的光线进行滤除，仅允许与所述背材区发射的光线互补的光线照射至所述发光器件上。作为一个优选的实施例，上述的检测发光器件混色的装置中的所述数字图形获取装置包括：电荷耦合器件，固定设置在所述发光器件的上方，以获取所述发光器件发射光时的数字图形。作为一个优选的实施例，上述的检测发光器件混色的装置中的所述数字图形获取装置还包括：运算分析模块，与所述电荷耦合器件连接，以获取并运算分析所述数字图形。上述技术方案具有如下优点或有益效果：本技术中的技术方案可基于现有AOI机台的基础上，通过增设光源及与其匹配的滤镜，即可在对诸如OLED等发光器件的混色缺陷检测工艺中，利用该光源及滤镜对发光区以外的区域所产生的干扰光线进行互补，以消除该干扰光线，进而使得采集的图像中，将发光区图像与其他区域图像予以区分，进而消除混色等缺陷，在增强后续对发光范围的分析判定精准度的同时，还大大提高了检测工艺的工作效率。附图说明参考所附附图，以更加充分的描述本技术的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本技术范围的限制。图1为本申请实施例中检测发光器件混色的装置的结构示意图；图2为本申请实施例中发光器件上发光区域的俯视图。具体实施方式本技术实施例中提供的检测发光器件混色的装置，可基于现有AOI机台的基础上，通过增设光源及与其匹配的滤镜，就能够在对诸如OLED等发光器件的混色缺陷检测工艺中，利用该光源及滤镜对发光器件的发光区以外的区域所产生的干扰光线进行过滤，以消除该干扰光线，进而使得采集的图像中，将发光区图像与其他区域图像予以区分，进而消除混色等缺陷，在增强后续对发光范围的分析判 定精准度的同时，还大大提高了检测工艺的工作效率。下面结合附图和具体实施例对本技术的像素阵列及包括该像素阵列的显示器件的制备方法进行详细说明。图1为本申请实施例中检测发光器件混色的装置的结构示意图；如图1所示，本实施例中的检测发光器件混色等缺陷的装置包括：机台1，该机台1可采用现有的自动光学检测仪(Automatic Optic Inspection，简称AOI)，以与目前的光学缺陷检测设备实现良好的兼容，进而降低生产及改造成本。发光器件2，固定在机台1上，如固定设置在AOI机台的检测产品缺陷的位置区域中，以使其固定在机台上，方便后续对该发光器件2进行诸如混色等缺陷的检测。优选的，该发光器件2可为OLED器件，一般包括有背板玻璃21和透光玻璃23，以及设置在背板玻璃21和透光玻璃23的有机发光层23，且该有机发光层23具有用于发光的正面及相对于该正面的背面，上述的透光玻璃22覆盖在所述有机发光层23的正面上。优选的，上述的发光器件2上设置有发光区和背材区。图2为本申请实施例中发光器件上发光区域的俯视图；如图2所示，上述的发光器件2中的有机发光层22上设置有包括若干像素单元构成的像素阵列，例如该若干像素单元包括发射红光的R像素单元221、发射绿光的G像素单元222和发射蓝光的B像素单元223，且环绕每个像素单元周围并包括该像素单元的区域均可视为一个发光子区域，即对应上述的R像素单元221的红光子区域71、对应上述 的G像素单元221的绿光子区域72和对应上述的B像素单元221的蓝光子区域73；上述所有的像素单元所对应子区域便构成了发光器件2的发光区7，而在有机发光层22上除去上述的发光区7剩余的区域则可视为背材区(图中未标示)。激励光源3，设置在机台1的上，且位于固定的发光器件2的上方，以对该发光器件2进行照射，进而激励发光器件2中的有机发光层22发光，便于后续对该发光器件2进行诸如混色等缺陷的检测。优选的，该激励光源3可为紫外线(UV)光源，例如可以采用AOI机台上预置的UV-AOI作为该激励光源3，以降低生产改造成本，同时也提高了现有设备的利用效率。优选的，上述的激励光源3发射激励光线经透光玻璃23照射至有机发光层22上，以激励该有机发光层22上的像素阵列发光，进而形成上述的发光区7及背本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种检测发光器件混色的装置，其特征在于，发光器件设置有发光区和背材区，所述装置包括：机台，所述发光器件固定设置在所述机台上；激励光源，设置于所述机台的上方，照射所述发光器件，以激励该发光器件发光；有色光源，设置于所述机台的上方，照射所述发光器件，以滤除所述背材区产生的干扰光线；以及数字图形获取装置，设置于所述发光器件的上方，以获取并分析所述发光器件发光时的数字图形。

【技术特征摘要】
1.一种检测发光器件混色的装置，其特征在于，发光器件设置有发光区和背材区，所述装置包括：
机台，所述发光器件固定设置在所述机台上；
激励光源，设置于所述机台的上方，照射所述发光器件，以激励该发光器件发光；
有色光源，设置于所述机台的上方，照射所述发光器件，以滤除所述背材区产生的干扰光线；以及
数字图形获取装置，设置于所述发光器件的上方，以获取并分析所述发光器件发光时的数字图形。
2.如权利要求1所述的检测发光器件混色的装置，其特征在于，所述发光器件为OLED器件。
3.如权利要求2所述的检测发光器件混色的装置，其特征在于，所述OLED器件包括：
有机发光层，具有发射光线的正面及相对于该正面的背面；
背板玻璃，设置于所述有机发光层的背面；
透光玻璃，设置于所述有机发光层的正面；
其中，所述发光区设置于所述有机发光层上。
4.如权利要求1所述的检测发光器件混色的装置，其特征在于， 所述机台为自动光学检测仪。
5.如权利要求1所述的检测发光器件混色的装置，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：颜圣佑，许嘉哲，吴思宗，
申请(专利权)人：上海和辉光电有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31