一种使用连体十字回气管的激光器制造技术

技术编号:11836176 阅读:105 留言:0更新日期:2015-08-06 00:13
本实用新型专利技术涉及激光器技术领域,公开了一种使用连体十字回气管的激光器,该激光器采用三连体十字管,所述三连体十字管的中部为主支管,主支管的两端作为工作气体流出的出口,管径设为D;主支管沿轴线的两侧对称设有三根进气管,作为气体流进的进口,管径设为d;每根进气管均连接放电管形成三个进气支路。本实用新型专利技术中采用三连体十字管能够减少气体激光器谐振腔的密封点,有效提高谐振腔的密封程度,与常规分离式十字管的激光器比起来,其性能更加稳定、可靠。

【技术实现步骤摘要】

本技术设及激光器
,更具体的说,特别设及一种使用连体十字回气 管的激光器。
技术介绍
高功率轴快流C〇2激光器W化、N2和C〇2的低压混合气体作为工作物质,谐振腔内 光束传输方向与气体流动方向沿同一轴线。为了提高激光器输出功率,广泛使用折叠式谐 振腔来增加工作物质的模体积。工作气体在风机驱动下经放电管阳极孔1位置进入放电管 2,如图1中箭头所示方向。在放电管2中被高压放电或者射频放电激励,从而产生激光。放 电后的工作气体进入十字管3,由十字管3汇聚后,流向两侧的热交换器进行冷却。 谐振腔中间的十字管3是由石英玻璃管焊接而成,对于折叠式谐振腔,=路放电 管2采用=根十字管3组合合成,相邻的十字管3之间中间用硅胶管4密封,由于谐振腔内 工作气体在放电时处于高温状态,所W密封用的硅胶管4必须属于耐高温材料。由于加工 可能存在的误差,相邻十字管3的连接处通常用铁氣龙垫圈5,W保证连在一起的十字管3 和放电管2能够良好装配,两者之间还通过环氧树脂板7连接,端板8上设置有折返镜片9 和输出镜片10。连成一体的十字管3共同汇聚工作气体回流到热交换器的工作。 随着激光器功率的提高和制造工艺的改进,十字管3的该种组合方式的缺点也开 始出现。十字管3之间密封用的硅胶管4,由于平时工作在高温状态,随着使用时间增加会 逐步老化,密封性变差,导致连接处容易漏气。当外界空气进入谐振腔内部时,会导致激光 器功率下降、输出光束模式变差和镜片容易污染等问题。
技术实现思路
本技术的目的在于针对现有技术存在的技术问题,提供一种使用连体十字回 气管的激光器,能够减少激光器谐振腔的密封点,有效提高谐振腔的密封程度。 为了解决W上提出的问题,本技术采用的技术方案为: -种使用连体十字回气管的激光器,该激光器采用=连体十字管,所述=连体十 字管的中部为主支管,主支管的两端作为工作气体流出的出口,管径设为D;主支管沿轴线 的两侧对称设有=根进气管,作为气体流进的进口,管径设为d;每根进气管均连接放电管 形成=个进气支路。 所述=连体十字管中进气管的管径d大于放电管的管径。 所述S连体十字管中主支管的管径D与进气管的管径d关系为:D> 〇 与现有技术相比,本技术的有益效果在于: 本技术中采用=连体十字管能够减少气体激光器谐振腔的密封点,有效提高 谐振腔的密封程度,与常规分离式十字管的激光器比起来,其性能更加稳定、可靠;此外,密 封点的减少对于提高整个激光器的气密性具有重要作用,有利于高功率激光器压缩开机时 间和提高工作稳定性。同时气密性提高有助于激光器耗气量的降低,对于激光器运行成本 的降低具有一定的意义。【附图说明】 图1为常见高功率c〇2激光器谐振腔的局部示意图。 图2为本技术使用连体十字回气管的激光器的结构示意图。 附图标记说明;1-放电管阳极孔、2-放电管、3-十字管、4-硅胶管、5-铁氣龙垫 圈、6-S连体十字管【具体实施方式】 为了便于理解本技术,下面将参照相关附图对本技术进行更全面的描 述。附图中给出了本技术的较佳实施例。但是,本技术可许多不同的形式来 实现,并不限于本文所描述的实施例。相反地,提供该些实施例的目的是使对本技术的 公开内容的理解更加透彻全面。 除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的技术领 域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为 了描述具体的实施例的目的,不是旨在于限制本技术。 参阅图2所示,本技术提供的一种使用连体十字回气管的激光器,该激光器 采用S连体十字管6,用于放电管2内工作气体回流。 所述=连体十字管6的中部为主支管,主支管的两端作为工作气体流出的出口, 管径设为D。主支管沿轴线的两侧对称设有=根进气管,作为气体流进的进口,管径设为d。 相邻两根进气管中屯、线之间即相邻进气口之间的距离设为以其在激光器谐振腔中的安装 方式与分立的十字管类似,即每根进气管均连接放电管2形成=个进气支路。对=个进气 支路由上至下依次设为A、B、C,相邻两个进气支路中屯、线之间的距离设为S,即A-B进气之 路或者B-C进气之路中屯、线之间的距离。 上述中,相邻进气口之间的距离L与相邻两个进气之路中屯、线之间的距离S两者 一致。 上述中,=连体十字管6的进气口,即进气管通过法兰套与放电管2连接端的直径 山要大于放电管2的直径。一方面可W使放电管2内产生的激光束能顺利通过=连体十字 管6的进气口,另一方面可W使放电管2内的工作气体顺利流进=连体十字管6内。为了 能使进入=连体十字管6的气体顺利流出两端的出口,两端出口的截面面积之和要大于六 个进气口截面积之和,即;【主权项】1. 一种使用连体十字回气管的激光器,其特征在于:该激光器采用三连体十字管,所 述三连体十字管的中部为主支管,主支管的两端作为工作气体流出的出口,管径设为D;主 支管沿轴线的两侧对称设有三根进气管,作为气体流进的进口,管径设为d;每根进气管均 连接放电管形成三个进气支路。2. 根据权利要求1所述的使用连体十字回气管的激光器,其特征在于:所述三连体十 字管中进气管的管径d大于放电管的管径。3. 根据权利要求1所述的使用连体十字回气管的激光器,其特征在于:所述三连体十 字管中主支管的管径D与进气管的管径d关系为【专利摘要】本技术涉及激光器
,公开了一种使用连体十字回气管的激光器,该激光器采用三连体十字管,所述三连体十字管的中部为主支管,主支管的两端作为工作气体流出的出口,管径设为D;主支管沿轴线的两侧对称设有三根进气管,作为气体流进的进口,管径设为d;每根进气管均连接放电管形成三个进气支路。本技术中采用三连体十字管能够减少气体激光器谐振腔的密封点,有效提高谐振腔的密封程度,与常规分离式十字管的激光器比起来,其性能更加稳定、可靠。【IPC分类】H01S3-02【公开号】CN204538458【申请号】CN201520193714【专利技术人】魏宁, 陈永兴, 周桂兵, 陈根余, 陈燚, 高云峰 【申请人】大族激光科技产业集团股份有限公司【公开日】2015年8月5日【申请日】2015年4月2日本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种使用连体十字回气管的激光器,其特征在于:该激光器采用三连体十字管,所述三连体十字管的中部为主支管,主支管的两端作为工作气体流出的出口,管径设为D;主支管沿轴线的两侧对称设有三根进气管,作为气体流进的进口,管径设为d;每根进气管均连接放电管形成三个进气支路。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:魏宁陈永兴周桂兵陈根余陈燚高云峰
申请(专利权)人:大族激光科技产业集团股份有限公司
类型:新型
国别省市:广东;44

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