【技术实现步骤摘要】
本技术涉及电容检测
,特别涉及一种采用分级补偿技术的电容检测 装置。
技术介绍
现有的传感器的差分检测电容包括检测电容CxP和CxN,如图1所示,当传感器的 输入量(如加速度、角速度、压力等)为零时,检测电容CxP和CxN的大小应该相同。但是 由于工艺制造、环境变化等的影响,在零输入量时,检测电容CxP和CxN可能会有偏差。这 个偏差一方面会导致传感器出现零偏,另一方面也可能导致电容检测电路中的放大器出现 饱和,从而影响检测电路性能和功能,所以在电容检测电路中需要对CxP和CxN进行补偿。 参考图1,现有的补偿方式是在检测电容CxP和CxN两端分别并联补偿电容CcP 和CcN。在传统的单级补偿方式中,补偿精度和补偿范围之间需要做出权衡,例如补偿精度 为5fF,补偿范围为1. 28pF时,单个电容选取相同的尺寸(为了实现更好的电容匹配),则 补偿电容CcP和CcN就需要用256个5fF的电容。 这种方式存在以下两个缺陷: (1)标准CMOS工艺下单个电容往往远大于5fF,而且电容之间的匹配精度随着电 容值的减小而降低; ⑵电容范围跨度越大,电容之 ...
【技术保护点】
一种采用分级补偿技术的电容检测装置,其特征在于,包括:与传感器的检测电容相连的分级补偿装置,其中,所述分级补偿装置包括多个级联的补偿单元,每个所述补偿单元包括:第一和第二补偿电容,所述第一补偿电容的一端接入正向输入电压,所述第二补偿电容的一端接入负向输入电压;电荷敏感放大器,所述电荷敏感放大器的正向输入端连接至所述第一补偿电容的另一端和所述检测电容,所述电荷敏感放大器的负向输入端连接至所述第二补偿电容的另一端和所述检测电容;第一和第二反馈电容,所述第一反馈电容并联于所述电荷敏感放大器的正向输入端和负向输出端之间,所述第二反馈电容并联于所述电荷敏感放大器的负向输入端和正向输出 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:陆游,张晰泊,
申请(专利权)人:北京芯动联科微电子技术有限公司,
类型:新型
国别省市:北京;11
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