应用于炉管设备一致性分析的查询系统及查询方法技术方案

本发明专利技术公开了一种应用于炉管设备一致性分析的查询系统，包括：数据库，用于记录各所述炉管设备内全部批次的晶圆所经过的事件信息以及在各所述炉管设备中的位置信息；界面生成模块，用于提供查询界面以输入查询条件；查询模块，用于根据所述查询条件访问所述数据库以在所述数据库记录的信息中执行查询操作；以及报表生成模块，根据查询结果生成第一报表和第二报表，所述第一报表记录符合查询条件的晶圆的事件信息以及在其所处炉管设备中的位置信息，所述第二报表记录符合查询条件的晶圆所处的炉管设备内全部批次的晶圆的位置信息。本发明专利技术无需逐批逐机台查看日志及手动输入即可高效和准确地对晶圆所经过的炉管设备/腔体信息进行汇总。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体制造
，特别涉及一种应用于炉管设备一致性分析的的查询系统及查询方法。
技术介绍
在项目研发阶段，当产品发生异常时，工艺整合工程师均需要对产品中每一片晶圆经过的工艺机台/站点(腔体)信息进行汇总分析，以确定异常是否由某些特定机台/站点(腔体)造成，这种分析通常称为一致性分析(commonality analysis)。目前，一致性分析虽然可以由商业软件，如ACE系统完成，但ACE系统仅能对晶圆经过的特定站点查询，无法查询所有的站点(腔体)；此外，ACE系统也仅能查询整个组批的晶圆的信息，对该组批晶圆中每个批次的确切信息也无法查询。因此，在进行一致性分析时，通常需要由工艺整合工程师提出需求，由工艺工程师在机台上或在机台状况监控系统(FDC系统)中逐批逐腔体查看日志，然后手动填写表格，最终得到每一片晶圆经过的工艺机台/站点信息。这么做无疑将大幅降低分析效率，而且人工输入也容易产生错误信息。另一方面，特别是对于炉管设备机台，因为炉管设备中不同位置的晶圆处理状况是不同的，因此仅查询出每组批晶圆所经过的炉管设备机台无法直观了解到炉管设备的具体异常情况。因此，需要提供一种新的设计以应用于炉管设备的一致性分析。
技术实现思路
本专利技术的主要目的旨在提供一种应用于炉管设备一致性分析的查询系统和查询方法，以能高效和准确地对晶圆所经过的炉管设备/腔体信息进行汇总，了解炉管设备的异常情况。为达成上述目的，本专利技术提供一种应用于炉管设备一致性分析的查询系统，包括:据库，用于记录各所述炉管设备内全部批次的晶圆所经过的事件信息以及在各所述炉管设备中的位置信息；界面生成模块，用于提供查询界面以输入查询条件；查询模块，用于根据所述查询条件访问所述数据库以在所述数据库记录的信息中执行查询操作；以及报表生成模块，根据查询结果生成第一报表和第二报表，所述第一报表记录符合所述查询条件的晶圆的事件信息以及在其所处炉管设备中的位置信息，所述第二报表记录符合所述查询条件的晶圆所处的炉管设备内全部批次的晶圆的位置信息。优选地，所述事件信息包括晶圆基本信息、炉管设备机台信息和工艺步骤信息；其中所述晶圆基本信息包括产品品名信息、批次信息和晶圆生产线流程信息；所述炉管设备机台信息包括炉管设备编号信息、炉管设备跑货信息、炉管设备运行时间信息和炉管设备的腔体编号信息；所述工艺步骤信息至少包括工艺菜单信息。优选地，所述查询条件至少包括炉管设备查询条件和处理时间查询条件。优选地，所述查询条件还包括晶圆批次查询条件、产品品名查询条件、工艺菜单查询条件至少其中之一。优选地，所述查询模块验证所述查询条件是否包含炉管设备查询条件和处理时间查询条件，当所述查询条件包含炉管设备查询条件和处理时间查询条件时，所述查询模块执行查询操作。本专利技术还提供了一种应用于炉管设备一致性分析的查询方法，包括:记录各所述炉管设备内全部批次的晶圆所经过的事件信息以及在各所述炉管设备中的位置信息；提供查询界面以输入查询条件；根据所述查询条件在所述记录的信息中执行查询操作；以及根据查询结果生成第一报表和第二报表，所述第一报表记录符合所述查询条件的晶圆的事件信息以及在其所处炉管设备中的位置信息，所述第二报表记录符合所述查询条件的晶圆所处的炉管设备内全部批次的晶圆的位置信息。优选地，所述事件信息包括晶圆基本信息、炉管设备机台信息和工艺步骤信息；其中所述晶圆基本信息包括产品品名信息、批次信息和晶圆生产线流程信息；所述炉管设备机台信息包括炉管设备编号信息、炉管设备跑货信息、炉管设备运行时间信息和炉管设备的腔体编号信息；所述工艺步骤信息至少包括工艺菜单信息。优选地，所述查询条件至少包括炉管设备查询条件和处理时间查询条件。优选地，所述查询条件还包括晶圆批次查询条件、产品品名查询条件、工艺菜单查询条件至少其中之一。优选地，根据所述查询条件在所述记录的信息中执行查询操作的步骤包括:验证所述查询条件是否包含炉管设备查询条件和处理时间查询条件；以及当所述查询条件包含炉管设备查询条件和处理时间查询条件时，执行查询操作。本专利技术所提出的查询系统和查询方法，可根据用户设置的查询条件执行查询，不仅可得到符合条件的晶圆的基本信息、机台信息、站点信息等，不需要逐批逐机台查看日志及手动输入数据，可以在分钟级的时间内不需要人为干预地、自动地完成以往需要数小时、工程师大量重复动作来完成的工作，效率和准确度得到大幅提高；此外还能直观了解符合条件的晶圆所在炉管内全部批次晶圆的位置信息，以获得炉管机台异常情况的发生位置。【附图说明】图1为本专利技术一实施例应用于炉管设备一致性分析的查询系统的方块图；图2为本专利技术一实施例的应用于炉管设备一致性分析的查询系统的界面生成模块所提供的查询界面的示意图；图3和图4所示分别为本专利技术一实施例的应用于炉管设备一致性分析的查询系统的报表生成模块所生成的第一报表和第二报表的示意图；图5为本专利技术一实施例应用于炉管设备一致性分析的查询方法的流程图。【具体实施方式】为使本专利技术的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本专利技术的内容作进一步说明。当然本专利技术并不局限于该具体实施例，本领域内的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本专利技术的保护范围内。图1为本专利技术一实施例的用于炉管设备一致性分析的查询系统的方块图，以下将结合图1对本专利技术进行详细的说明。如图1所示，查询系统包括数据库10，界面生成模块11，查询模块12和报表生成模块13。其中，数据库10用于记录各个炉管设备内全部批次的晶圆所经过的事件信息以及这些晶圆在各个炉管设备中的位置信息。事件信息包括品名信息、批次信息、炉管设备信息、工艺站点(腔体)信息、工艺菜单信息、处理时间信息等。在一具体实施例中，该数据库例如为FDC机台状况监控系统数据库，记录了所有炉管设备所有批次晶圆的过货历史及每片晶圆在炉管设备中的位置。界面生成模块11用于提供查询界面以输入查询条件，其中查询条件可至少包括炉管设备查询条件和处理时间查询条件。具体地，如图2所示，查询界面包括至少两个输入区域，用于分别输入炉管设备查询条件和处理时间查询条件，用户可在这两个输入区域中以选中或手动输入的方式输入炉管设备编号和时间范围。此外可选的，查询界面还包括辅助查询条件的输入区域，辅助查询条件例如是晶圆批次查询条件、品名查询条件、工艺菜单查询条件或站点查询条件，供用户以这些辅助查询条件配合炉管设备查询条件和处理时间查询条件进一步缩小查询范围。较佳的，查询界面也提供了特定的输入格式，以规范用户的输入。查询模块12用于根据在查询界面上输入的查询条件访问数据库10，以在数据库10记录的信息中执行查询操作，得到查询结果。查询模块12可根据查询条件自动生成与数据库匹配的语言，如SQL语言，访问数据库，并返回查询结果。较佳的，查询模块12首先会验证查询条件是否已经包含了炉管设备查询条件和处理时间查询条件，如果包含了这两个查询条件，查询模块12执行查询操作；否则将不执行查询操作，或可在查询界面提示用于输入炉管设备和处理时间的查询条件。报表生成模块13根据查询结果自动生成第一报表和第二报表，其中第一报表记录了符合查询条件的晶圆的事件信息以及符合查询条件的晶圆在其所处炉管设备中的位置信息，而第二报表则记录了符合本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种应用于炉管设备一致性分析的查询系统，其特征在于，包括：数据库，用于记录各所述炉管设备内全部批次的晶圆所经过的事件信息以及在各所述炉管设备中的位置信息；界面生成模块，用于提供查询界面以输入查询条件；查询模块，用于根据所述查询条件访问所述数据库以在所述数据库记录的信息中执行查询操作；以及报表生成模块，根据查询结果生成第一报表和第二报表，所述第一报表记录符合所述查询条件的晶圆的事件信息以及在其所处炉管设备中的位置信息，所述第二报表记录符合所述查询条件的晶圆所处的炉管设备内全部批次的晶圆的位置信息。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：孙天拓，冯炳康，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31