振动元件、振子、振动装置、电子设备以及移动体制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种振动元件、振子、振动装置、电子设备以及移动体。振动元件具备振动部、对振动部进行支承的支承部和连结振动部与支承部的吊臂。另外，吊臂具有从支承部起延伸出的蜿蜒部和连结蜿蜒部与振动部的倾斜部。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种振动元件、振子、振动装置、电子设备以及移动体。
技术介绍
一直以来，作为用于检测加速度的振动元件，已知专利文献1这种振动元件。在专利文献1中记载的振动元件具有：基部；第一、第二检测臂，其从基部起沿着Y轴方向两侧而延伸；第一、第二连结臂，其从基部起向X轴方向两侧延伸；第一、第二驱动臂，其从第一连结臂起向Y轴方向两侧延伸出；第三、第四驱动臂，其从第二连结臂起向Y轴方向两侧延伸出。在这种结构的振动元件中，当在通过驱动模式而使各驱动臂振动的状态下施加绕Z轴的角速度时，将在第一、第二检测臂上激励有检测模式的振动，并能够根据通过该检测模式的振动而得到的信号来检测角速度。而且，在专利文献1中记载的振动元件形成如下的结构，即，具有对基部进行支承的支承部和连结基部与支承部的四个梁(吊臂)，并且各个梁相对于X轴方向以及Y轴方向而倾斜，并且以直线状延伸出(参照专利文献2以及3)。在所涉及的结构的振动元件中，向基部与梁的边界部的应力集中被减小，从而能够提高该边界部处的机械强度(耐冲击性)。但是，由于各个梁呈直线状，因此不能确保充分的长度，从而难以通过各个梁来充分地吸收、缓和冲击。其结果为，存在各专利文献所记载的振动元件的机械强度(尤其是落下时的耐冲击性)不充分的问题。专利文献1：日本特开2006-201011号公报专利文献2：日本特开2006-201053号公报专利文献3：日本特开2009-74996号公报
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种机械强度(耐冲击性)优异的振动元件、振子、电子设备以及移动体。本专利技术是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，并能够作为以下的方式或应用例来实现。应用例1本专利技术的振动元件，其特征在于，具有：基部；支承部，其对所述基部进行支承；吊臂，其对所述基部与所述支承部进行连结；支承臂，其从所述基部起在X轴方向上延伸；检测臂，其从所述基部起在与所述X轴方向正交的Y轴方向上延伸；驱动臂，其从所述支承臂的顶端部起在所述Y轴方向上延伸，所述吊臂具有：蜿蜒部，其从所述支承部起延伸，并在所述X轴方向和所述Y轴方向上交替地延伸；倾斜部，其对所述蜿蜒部与所述基部进行连结，并在相对于所述X轴方向以及所述Y轴方向双方而倾斜的方向上延伸。由此，能够获得机械强度(耐冲击性)优异的振动元件。应用例2在本专利技术的振动元件中，优选为，所述倾斜部具有与所述第一轴所成的角度互不相同的多个部分。由此，能够防止倾斜部与蜿蜒部的边界部处的X轴方向以及Y轴方向上的刚性的急剧变化。因此，该边界部处的应力集中也被减小，从而能够更加可靠地实现振动元件的机械强度(耐冲击性)的提高。应用例3在本专利技术的振动元件中，优选为，所述多个部分的长度大致相等。由此，即使从外部施加冲击(落下时的冲击)，也能够使应力大致均等地作用于在构成倾斜部的各部分上，从而能够理想地防止倾斜部的破损。应用例4在本专利技术的振动元件中，优选为，所述蜿蜒部的所述倾斜部侧的端部沿着与所述支承臂的延伸方向平行的方向而延伸，所述多个部分具有：第一部分，其位于所述基部侧，并与所述X轴方向成第一角度；第二部分，其位于所述蜿蜒部侧，并与所述X轴方向成小于所述第一角度的第二角度。由此，能够防止倾斜部与蜿蜒部的边界部处的X轴方向以及Y轴方向上的刚性的急剧变化。因此，该边界部处的应力集中也被减小，从而能够更加可靠地实现振动元件的机械强度(耐冲击性)的提高。应用例5在本专利技术的振动元件中，优选为，所述第一角度为50～70度。由此，可更加显著地发挥如前文所述的效果。应用例6在本专利技术的振动元件中，优选为，所述第二角度为20～40度。由此，可更加显著地发挥如前文所述的效果。应用例7在本专利技术的振动元件中，优选为，该振动元件的所述各部通过对一块压电基板进行加工而获得，所述蜿蜒部的所述端部与所述支承部之间的间隔距离在所述压电基板的厚度的0.8倍以上。由此，能够将倾斜部与蜿蜒部的边界部和倾斜部与基部的边界部的、支承部侧的侧面(梁的内侧面)形成为平滑面，即，能够有效地防止在梁的内侧面上形成所谓的毛边的情况。应用例8本专利技术的振子的特征在于，具备本专利技术的振动元件和对所述振动元件进行收纳的封装件。由此，能够获得可靠性较高的振子。应用例9本专利技术的电子设备的特征在于，具备本专利技术的振动元件。由此，能够获得可靠性较高的电子设备。应用例10本专利技术的移动体的特征在于，具备本专利技术的振动元件。由此，能够获得可靠性较高的移动体。附图说明图1为表示本专利技术的振动元件的第一实施方式的俯视图。图2为放大表示图1所示的振动元件的中央部附近的俯视图。图3为表示图1所示的振动元件所具有的电极的俯视图。图4为表示图1所示的振动元件所具有的电极的俯视图(透视图)。图5为用于对图1所示的振动元件的动作进行说明的图。图6为放大表示本专利技术的振动元件的第二实施方式的中央部附近的俯视图。图7为表示本专利技术的振子的优选的实施方式的图，(a)为剖视图，(b)为俯视图。图8为表示具备本专利技术的振动元件的物理量传感器的优选的实施方式的剖视图。图9为图8所示的物理量传感器的俯视图。图10为图8所示的物理量传感器的俯视图。图11为具备本专利技术的振动元件的物理量检测装置的框图。图12为表示应用了具备本专利技术的振动元件的电子设备的便携型(或笔记本型)的个人计算机的结构的立体图。图13为表示应用了具备本专利技术的振动元件的电子设备的移动电话(也包括PHS)的结构的立体图。图14为表示应用了具备本专利技术的振动元件的电子设备的数码照相机的结构的立体图。图15为表示应用了具备本专利技术的振动元件的移动体的汽车的结构的立体图。具体实施方式以下，根据附图所示的实施方式来对本专利技术的振动元件、振子、电子设备以及移动体进行详细说明。1、振动元件第一实施方式首先，对本专利技术的振动元件的第一实施方式进行说明。图1为表示本专利技术的振动元件的第一实施方式的俯视图。图2为放大表示图1所示的振动元件的中央部附近的俯视图。图3为表示图1所示的振动元件所具有的电极的俯视图。图4为表示图1所示的振动元件所具有的电极的俯视图(透视图)。图5为用于对图1所示的振动元件的动作进行说明的图。此外，以下，为了便于说明，也将图1以及图2的纸面近前侧称为“上侧”，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种振动元件，其特征在于，具备：振动部，其被设置于由第一轴以及与所述第一轴正交的第二轴规定的平面上；支承部，其对所述振动部进行支承；吊臂，其对所述振动部与所述支承部进行连结，所述吊臂具有：蜿蜒部，其从所述支承部起延伸，并沿着所述第一轴与所述第二轴而交替地延伸；倾斜部，其对所述蜿蜒部与所述振动部进行连结，并且相对于所述第一轴以及所述第二轴双方而倾斜。

【技术特征摘要】
2013.12.05 JP 2013-2517801.一种振动元件，其特征在于，具备：
振动部，其被设置于由第一轴以及与所述第一轴正交的第二轴规定的平
面上；
支承部，其对所述振动部进行支承；
吊臂，其对所述振动部与所述支承部进行连结，
所述吊臂具有：
蜿蜒部，其从所述支承部起延伸，并沿着所述第一轴与所述第二轴而交
替地延伸；
倾斜部，其对所述蜿蜒部与所述振动部进行连结，并且相对于所述第一
轴以及所述第二轴双方而倾斜。
2.如权利要求1所述的振动元件，其特征在于，
所述振动部具有：
基部；
支承臂，其从所述基部起沿着所述第一轴而延伸出；
驱动臂，其从所述支承臂的顶端部起沿着所述第二轴而延伸出；
检测臂，其从所述基部起沿着所述第二轴而延伸出，
所述吊臂对所述基部与所述支承部进行连结。
3.如权利要求1所述的振动元件，其特征在于，
所述倾斜部具有与所述第一轴所成的角度互不相同的多个部分。
4.如权利要求3所述的振动元件，其特征在于，
所述多个部分各自的长度彼此大致相等。
5.如权利要求3...

【专利技术属性】
技术研发人员：小仓诚一郎，山口啓一，西泽竜太，菊池尊行，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP