支撑销及基板处理装置制造方法及图纸

该支撑销（9）在通过磁力而被固定于底座板（3）的状态下对基板（200）从背面进行支撑，该支撑销具备：固定部（91），能够固定于底座板；磁铁部件（95），配置于固定部的内部并且构成为在固定部的内部上升和下降，用于利用磁力将固定部固定于底座板；及磁性体部件（94），配置于磁铁部件的上方，并通过在固定部的内部上升而利用磁力使磁铁部件上升来解除固定部与底座板被固定的固定状态。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】支撑销及基板处理装置
本专利技术涉及支撑销及基板处理装置，特别涉及支撑基板的支撑销及具备该支撑销的基板处理装置。
技术介绍
以往，已知有支撑基板的支撑销。例如在日本特开2013-38205号公报中公开了这样的支撑销。在上述日本特开2013-38205号公报中，公开了在利用磁力固定于底座部的状态下从背面支撑基板的销模块。该销模块具备：基部（固定部），能够固定于底座部；及磁铁部件（磁铁部件），配置于基部的内部，并且构成为在基部的内部上升和下降。而且，销模块构成为在磁铁部件下降时利用作用于磁铁部件与底座部之间的磁力将基部固定于底座部。而且，销模块构成为，通过由吸嘴从上方真空吸引磁铁部件来使磁铁部件上升，减弱作用于磁铁部件与底座部之间的磁力，从而解除基部与底座部被固定的固定状态。专利文献1：日本特开2013-38205号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题然而，在上述日本特开2013-38205号公报的销模块中，通过真空吸引磁铁部件来解除基部与底座部被固定的固定状态，因此存在如下问题点：在真空吸引的吸引力降低的情况下，作用于磁铁部件与底座部之间的磁力减弱，无法解除基部与底座部的固定状态。而且，在通过真空吸引解除磁铁部件的固定状态的情况下，也存在下述不良情况。具体来说，真空吸引的力（真空吸引力）由真空压力与外部的压力差（1个大气压力）和磁铁部件被吸引的部分（吸引面积）的积来确定，因此为了更稳固地将基部与底板部固定，在使用磁力大的磁铁部件的情况下需要增大吸引面积。其结果是，支撑销的设置面积增大，因此存在固定于底座部的支撑销的数量和间距受到制约的问题点。如上所述，考虑到在通过使用真空吸引来真空吸引磁铁部件（磁铁部件）以解除基部与底座部的固定状态的情况下，会产生各种各样的问题点。本专利技术为了解决上述的课题而作出。本专利技术的一个目的在于提供能够解除固定部与底座板的固定状态而不使用真空吸引的支撑销和基板处理装置。用于解决课题的方案本专利技术的第一方面的支撑销在通过磁力而被固定于底座板的状态下对基板从背面进行支撑，该支撑销的特征在于，具备：固定部，能够固定于底座板；磁铁部件，配置于固定部的内部并且构成为在固定部的内部上升和下降，用于利用磁力将固定部固定于底座板；及磁性体部件，配置于磁铁部件的上方，并通过在固定部的内部上升而利用磁力使磁铁部件上升来解除固定部与底座板被固定的固定状态。在本专利技术的第一方面的支撑销中，如上所述，通过设置利用磁力使磁铁部件上升来解除固定部与底座板被固定的固定状态的磁性体部件，能够利用在磁铁部件与磁性体部件之间作用的磁力，将使固定部固定于底座板的固定状态的磁铁部件从底座板拉开。由此，能够不使用真空吸引而解除固定部与底座板的固定状态。而且，能够利用磁铁部件与磁性体部件之间的磁力将使固定部固定于底座板的磁铁部件从底座板拉开而不使用真空吸引，因此，即使在为了将固定部与底座板更稳固地固定而使用磁力大的磁铁部件的情况下，也不必增大磁铁部件（磁铁部件的面积）。其结果是，抑制了支撑销的设置面积增大，能够防止固定于底座板的支撑销的数量和间距受到制约。在上述第一方面的支撑销中，优选的是，构成为，在磁铁部件配置于固定部的内部的下降端的状态下，维持固定部与底座板的固定状态，在磁铁部件通过磁性体部件上升而配置于固定部的内部的上升端的状态下，固定部与底座板的固定状态被解除。若如此构成，则通过将磁铁部件从配置于固定部的内部的下降端的固定状态切换至配置于上升端的固定状态被解除的状态（固定解除状态），能够容易地将磁铁部件从底座板拉开。在该情况下，优选的是，构成为，在磁铁部件配置于下降端的状态下，磁性体部件通过下降而与磁铁部件接触，然后，磁性体部件通过上升而利用磁性体部件与磁铁部件之间的磁力使磁铁部件上升。若如此构成，则能够在通过磁铁部件与磁性体部件的接触而使作用在配置于下降端的磁铁部件与磁性体部件之间的磁力增大的状态下使磁性体部件上升，因此能够可靠地将磁铁部件从底座板拉开。在上述磁性体部件与磁铁部件接触的结构中，优选的是，固定部包括：下降端侧保持部，在磁铁部件与底座板未接触的状态下将磁铁部件保持在下降端；及上升端侧保持部，在磁性体部件与磁铁部件接触的状态下使磁性体部件上升时将磁铁部件保持在上升端。若如此构成，则能够利用下降端侧保持部将磁铁部件保持在下降端，因此能够在稳定的状态下将固定部固定于底座板。而且，能够利用上升端侧保持部保持与磁铁部件接触的磁性体部件，因此能够在稳定的状态下维持将磁铁部件从底座板拉开的状态。在上述固定部包括下降端侧保持部的结构中，优选的是，下降端侧保持部构成为向固定部的内部一侧突出，并且构成为以磁铁部件与底座板之间具有第一间隙的状态保持磁铁部件，第一间隙设定为：使得在磁铁部件配置于下降端侧保持部时维持固定部与底座板的固定状态的磁力作用于磁铁部件和底座板之间，并且在磁铁部件与磁性体部件接触后上升时，作用于磁铁部件和底座板之间的磁力与由磁铁部件的自重产生的重力的合计小于作用于磁铁部件与磁性体部件之间的磁力。若如此构成，则能够利用与底座板隔开第一间隔进行保持的磁铁部件将固定部可靠地固定于底座板，并且与磁铁部件和底座板直接接触的情况不同，将作用于磁铁部件与底座板之间的磁力减弱与第一间隙相应的量，从而能够容易地将磁铁部件从底座板拉开。在上述固定部包括下降端侧保持部的结构中，优选的是，固定部包括磁性体部件保持部，该磁性体部件保持部以上升的磁性体部件与磁铁部件之间具有第二间隙的状态保持上升的磁性体部件，第二间隙设定为：在由上升端侧保持部保持磁铁部件且由磁性体部件保持部保持磁性体部件的状态下，作用于磁铁部件和磁性体部件之间的磁力大于作用于磁铁部件和底座板之间的磁力与由磁铁部件的自重产生的重力的合计。若如此构成，则在解除了固定部与底座板的固定状态后，能够在隔开能够可靠地将磁铁部件吸于磁性体部件的第二间隙的状态下保持磁铁部件和磁性体部件，因此，能够容易地维持将磁铁部件从底座板拉开的状态。在上述固定部包括磁性体部件保持部的结构中，优选的是，设定为：在磁铁部件配置于上升端侧保持部的状态下固定部下降并与底座板抵接的情况下，作用于磁铁部件与底座板之间的磁力、由磁铁部件的自重产生的重力及磁铁部件向底座板方向的惯性力的合计大于作用于磁铁部件与磁性体部件之间的磁力。若如此构成，则能够利用固定部下降而与底座板抵接时产生的磁铁部件向底座板方向的惯性力来使磁铁部件从上升端侧保持部移动（落下）到下降端侧保持部，因此能够通过简易的结构从固定解除状态切换到固定状态。在上述第一方面的支撑销中，优选的是，构成为，该支撑销还具备轴部，该轴部安装有磁性体部件，并在固定部的内部滑动，通过轴部上升而使磁性体部件上升，从而解除固定部与底座板被固定的固定状态。若如此构成，则能够使用轴部容易地使磁性体部件上升而将使固定部固定于底座板的磁体部件从底座板拉开。在该情况下，优选的是，轴部构成为在磁铁部件通过磁力而上升的状态下能够由吸嘴吸引，并且构成为在由吸嘴吸引的状态下沿上下方向移动。若如此构成，则在固定部与底座板的固定被解除时，利用吸嘴实质性地以与支撑销的自重对应的吸引力吸引支撑销，并且使包括吸嘴的头部上升，从而能够使支撑销移动。在上述具备轴部的结构中，优选的是，在轴部和固定部之本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种支撑销（9），在通过磁力而被固定于底座板（3）的状态下对基板（200）从背面进行支撑，所述支撑销的特征在于，具备：固定部（91），能够固定于所述底座板；磁铁部件（95），配置于所述固定部的内部并且构成为在所述固定部的内部上升和下降，用于利用磁力将所述固定部固定于所述底座板；及磁性体部件（94），配置于所述磁铁部件的上方，并通过在所述固定部的内部上升而利用磁力使所述磁铁部件上升来解除所述固定部与所述底座板被固定的固定状态。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种支撑销（9），在通过磁力而被固定于底座板（3）的状态下对基板（200）从背面进行支撑，所述支撑销的特征在于，具备：固定部（91），能够固定于所述底座板；磁铁部件（95），配置于所述固定部的内部并且构成为在所述固定部的内部上升和下降，用于利用磁力将所述固定部固定于所述底座板；及磁性体部件（94），配置于所述磁铁部件的上方，并通过在所述固定部的内部上升而利用磁力使所述磁铁部件上升来解除所述固定部与所述底座板被固定的固定状态。2.根据权利要求1所述的支撑销，构成为，在所述磁铁部件配置于所述固定部的内部的下降端（911a）的状态下，维持所述固定部与所述底座板的固定状态，在所述磁铁部件通过所述磁性体部件上升而配置于所述固定部的内部的上升端（912a）的状态下，所述固定部与所述底座板的固定状态被解除。3.根据权利要求2所述的支撑销，构成为，在所述磁铁部件配置于所述下降端的状态下，所述磁性体部件通过下降而与所述磁铁部件接触，然后，所述磁性体部件通过上升而利用所述磁性体部件与所述磁铁部件之间的磁力使所述磁铁部件上升。4.根据权利要求3所述的支撑销，其中，所述固定部包括：下降端侧保持部（911），在所述磁铁部件与所述底座板未接触的状态下将所述磁铁部件保持在所述下降端；及上升端侧保持部（912），在所述磁性体部件与所述磁铁部件接触的状态下在所述磁性体部件上升时将所述磁铁部件保持在所述上升端。5.根据权利要求4所述的支撑销，其中，所述下降端侧保持部构成为，向所述固定部的内部一侧突出，并且以所述磁铁部件与所述底座板之间具有第一间隙的状态保持所述磁铁部件，所述第一间隙设定为：使得在所述磁铁部件配置于所述下降端侧保持部时维持所述固定部与所述底座板的固定状态的磁力作用于所述磁铁部件和所述底座板之间，并且在所述磁铁部件与所述磁性体部件接触后上升时，作用于所述磁铁部件和所述底座板之间的磁力与由所述磁铁部件的自重产生的重力的合计小于作用于所述磁铁部件与所述磁...

【专利技术属性】
技术研发人员：内海智仁，
申请(专利权)人：雅马哈发动机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP