【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体生产中的运输设备,具体地说,涉及一种运输气体 钢瓶的推车。
技术介绍
在半导体生产过程中需要大量钢瓶盛装的工业气体,由于气体产品质量和 采购价格等方面原因造成钢瓶高度大小经常变化,但是用于放置钢瓶的气瓶拒 的安装高度一般是固定的。另外,目前的钢瓶推车一般只适用于短途运输,不 具有升降钢瓶高度的功能,所以当气瓶拒的安装高度高于钢瓶高度时就需要工 作人员手工将推车托板上的钢瓶放入气瓶柜内。举例来说, 一种二氯硅烷气瓶拒的安装高度为1.47米,而使用的钢瓶高度为L22米,由于推车不具有升降功 能,所以每次更换钢瓶时,工作人员就要把约15公斤重的空钢瓶从0.25米的支 架上抱下,再把装有气体约52公斤重的满钢瓶从推车上抱到气瓶拒的支架上, 这样抱上抱下气体钢瓶的动作很容易造成工作人员身体上的伤害如腰扭伤, 严重时钢瓶滑落会砸到工作人员的脚部,滑落的钢瓶如果摔坏了还可能导致危 险的气体泄漏,这对半导体生产中气体的正常供应是一种潜在的隐患。 有鉴于此,需要提供一种新的钢瓶推车以改善4述问题。
技术实现思路
本技术解决的技术问题是提供一种既可以满足运输功能又可以根据实 ...
【技术保护点】
一种钢瓶推车,其包括车架与放置钢瓶的托板,其特征在于:该钢瓶推车还包括与托板连接的升降装置,升降装置带动托板作升降运动。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:王东海,
申请(专利权)人:中芯国际集成电路制造上海有限公司,
类型:实用新型
国别省市:31[中国|上海]
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