加热设备制造技术

一种设备，具有至少一个导电的第一接触板(11)和至少一个导电的第二接触板(12)和分别具备电阻加热机构(1.3至9.3)的加热件(1至9)，所述电阻加热机构(1.3至9.3)借助第一连接触头(1.1至9.1)与所述第一接触板(11)相连接并且借助第二连接触头(1.2至9.2)与所述第二接触板(12)相连接。为了延长所述设备的使用寿命并减少制造成本，在此建议，所述两个接触板(11、12)位于共同的第一平面(E1)内。

【技术实现步骤摘要】
加热设备
本专利技术涉及一种设备，具有至少一个导电的第一接触板和至少一个导电的第二接触板和分别具备电阻加热机构的加热件的，所述电阻加热机构借助第一连接触头与所述第一接触板相连接并且借助第二连接触头与所述第二接触板相连接。
技术介绍
用于加热CVD(化学气相沉积)反应器的基座的设备由现有技术、例如DE102009043960A1、DE102007009145A1、DE10329107A1、DE102005056536A1、DE102006018515A1或DE102007027704A1已知。在已知的加热件中，热量由流过电阻加热机构的电流产生。电阻加热机构具有第一和第二端部，在这些端部上设有第一和第二连接触头。连接触头相互平行地延伸，但是具有不同的长度。第一、较短的连接触头与第一接触板相连接，该接触板由导电材料制成。但是，在第一接触板的平行面内，第二电气接触板与电阻加热机构有较大间距地延伸。两个电气接触板一定程度上相叠地延伸。较长的第二连接触头穿过第一接触板的开口，并且由此与第二接触板相连接。被第二连接触头穿过的开口比第二连接触头的直径要大，因而在开口的边缘和第二连接触头之间存在间距。这种间距自由空间影响第二连接触头与第一接触板的绝缘性。在加热和冷却加热件的属于现有技术的电阻加热机构时会导致巨大的热应力。这种机械应力能够导致接触板不可逆的变形。这会导致，在长时间使用后和尤其在多次加热和冷却后，在第二连接触头和导电的第一接触板的开口之间形成短路。随后，理论上这会导致整个加热件的毁坏。在此，在使用所述设备时，通过金属的挥发还能够污染CVD反应器的处理室。专利技术内容本专利技术所要解决的技术问题在于，在减少制造费用的情况下延长设备的使用寿命。根据本专利技术，所述两个接触板处于共同的平面内。接触板可以具有齿形相互咬合的凸起。在接触板之间、尤其在凸起之间可以设置用于绝缘的间隔自由空间。但是，还可以设定，两个接触板通过不导电的、尤其陶瓷的间隔件永久地相互绝缘。根据本专利技术的改进方案还具有这样的优点，即两个连接触头能够是相同长度。所述一个或多个电阻加热机构可以位于共同的平面内。这些电阻加热机构能够沿着圆弧线或者沿着一条或多条螺旋线安置。优选第一连接触头位于由两个接触板构成的、具有圆形轮廓的接触板装置的中央，该第一连接触头优选配属于中央加热件。中央加热件具有在螺旋弧形上延伸的加热机构。中央加热件构成加热设备最内侧的加热区域。在中央加热件的加热机构上连接着多个分别优选在至少180°上延伸的外侧加热件的加热机构。但是，优选全部加热机构中的多数设在共同的、多次绕着中心弯曲的螺旋弧线上。两个在螺旋弧线上相继设置的加热件的直接并排安置的连接触头配属于共同的接触板。由此，大量加热件、例如新加热件连接技术上并联连接。各个加热件的加热功率可以通过它的加热机构的长度来确定。如果加热件相应地提供相同的加热功率，则设定，各个加热件的加热机构的圆弧长度基本相同。因此尤其可以设定，加热设备的各个加热件具有配备基本相同圆弧长度的加热机构。这一方面提高了设备的使用寿命，并且另一方面降低了制造成本。在本专利技术的改进方案中设定，连接触头沿着共同的第一平面的面法线方向突出。因此，连接触头沿着第二平面的方向突出，电阻加热机构位于第二平面内。这种平面构成加热面，接触板的平面与该加热面相隔。在加热面和接触板的平面之间可以设置支撑板。该支撑板能够具有与加热机构相连接的支撑件。由此将加热机构相互相对地固持在位置上。支撑件可以具有基本上Y型的结构。借助两个Y型侧边固持加热机构。优选具有圆形截面的加热机构位于两个Y型侧边之间。Y型支杆与支撑板固定连接。支撑件可以由板件冲压而成，并且形状接合地插入支撑板相应的开口中。每个支撑件可以具有两个相互平行延伸的臂，在这两个臂之间固持有圆形截面的加热机构。相对于设备的中心向外指向的臂可以比向内指向的臂更长。总体上支撑件具有叉形的结构，其中，自由空间的底部在加热机构的轮廓的两个叉尖之间适配。但是，支撑件还可以设计为j型。此外规定，支撑件只具有一个臂。加热件通过一条或多条金属线可以与支撑件相连接。支撑板由不导电的材料制成。支撑件可由金属构成。但是，支撑板也可以由金属制成，并且起到屏蔽板的作用。该支撑板朝向加热件的表面可反射热量。导电的支撑件可以通过绝缘体与支撑板相连接。加热件优选由钨或者钨合金制成。每个加热件可以由加热丝组成。该加热丝是绕着加热件的圆弧形延伸方向的螺旋式卷绕的金属线。优选两个并排延伸的钨丝是电气并联的。两条加热丝盘绕成双股加热丝。但是，还可以安置总体上螺旋形的多于两条的加热丝，以便提供具有三股加热丝的加热件。此外，还可以设置盖板。这可以直接设置在接触板的上方，并且设置在加热面和接触板的平面之间的间隔空间内。盖板具有开口，连接触头穿过该开口。该盖板由不导电的材料构成。尤其当多个不同的加热机构被相互隔离通电时，可以设置多于两个的接触板，从而能够使得设备的不同区域被加热到不同的温度。加热设备尤其是CVD反应器的组件。CVD反应器具有反应器壳体和安置于其内的进气机构，借助进气机构能够将处理气体导入处理室内。处理室具有由基座构成的底部，在该基座上安置一个或多个基板，该基板通过导入的处理气体被覆层。之前所述的加热件用于将处理室或基座加热到处理温度。加热件如此安置在基座的下方，使得设置的加热面平行于支承着基板的上侧面或平行于基座的下侧面。连接触头在接触板的平面内的优化布置可以使每个接触板具有凸起，该凸起嵌入相应其它接触板的凹处内。因此，接触板相互齿形地咬合。由此构成的接触凸起支承连接触头。CVD设备的基座优选借助具有多个加热区域的加热器来加热。每个加热区域优选由配属于该区域的加热设备构成。根据本专利技术的变型方案的设备具有多个加热设备，其中，中央加热设备被至少一个、优选三个或多个加热设备所包围。中央加热设备优选具有圆形轮廓。另外的围绕中央加热设备的径向外侧的加热设备具有环形轮廓。其它外侧加热设备可以同样具有环形轮廓。至少一个径向外侧加热设备优选具有两个接触板，它们被安置在共同的平面内，并且相互间且相对于其余加热装置的接触板被电流隔离。至少两个加热设备可以相互隔离地通电。两个加热设备的加热件可以同样处于相同的平面内。在本专利技术的变型方案中设置最外侧的加热设备，其中接触板在第一平面内，第二接触板在第二平面内。所述平面相互间隔。径向最外侧的加热设备可以具有一个或多个加热件，这些加热件在平面上方，内侧加热设备或至少一个中央加热设备的加热件处于所述平面内。径向最外侧的加热设备的加热件可以如此紧密地并排设置，使得它们相互接触。对于径向最外侧的加热设备尤其规定，支撑件同时支撑多个加热件。并排延伸的加热件被支撑件在多个位置上支承。如果支撑件由金属构成，则加热件也在多个位置上通过支撑件相互电气连接。设置连接件，其尤其在空间上配属有绝缘件。连接件能够使接触板与盖板或支撑板相连接。优选将连接件与接触板形状接合地连接。用于导电的接触销可以从接触板中突出。附图说明以下结合附图对本专利技术的实施例进行说明。在附图中：图1示出CVD反应器的结构示意图，图2示出第一实施例的根据本专利技术的加热设备的俯视图，图3示出图2所示加热设备的侧视图，图4示出加热设备的底面图，图5示出加热设本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种设备，具有至少一个导电的第一接触板(11)和至少一个导电的第二接触板(12)和分别具备电阻加热机构(1.3至9.3)的加热件(1至9)，所述电阻加热机构(1.3至9.3)借助第一连接触头(1.1至9.1)与所述第一接触板(11)相连接并且借助第二连接触头(1.2至9.2)与所述第二接触板(12)相连接，其特征在于，所述两个接触板(11、12)位于共同的第一平面(E1)内。

【技术特征摘要】
2013.11.26 DE 102013113045.31.一种加热设备，具有至少一个导电的第一接触板(11)和至少一个导电的第二接触板(12)和分别具备电阻加热机构(1.3至9.3)的加热件(1至9)，所述电阻加热机构(1.3至9.3)借助第一连接触头(1.1至9.1)与所述第一接触板(11)相连接并且借助第二连接触头(1.2至9.2)与所述第二接触板(12)相连接，其特征在于，所述两个接触板(11、12)位于共同的第一平面(E1)内。2.根据权利要求1所述的加热设备，其特征在于，所述加热机构(1.3至9.3)安置在与所述第一平面(E1)平行的、在CVD反应器(24)的处理室(23)的基座(21)下方的平面(E2)内。3.根据权利要求2所述的加热设备，其特征在于，沿所述第一平面的面法线方向延伸的第一和第二连接触头，所述第一和第二连接触头与所述加热件的延伸方向呈90°夹角地延伸，和/或所述电阻加热机构(1.3至9.3)形成基本呈90°的弯曲，或者所述第一和第二连接触头构成90°角。4.根据权利要求1所述的加热设备，其特征在于，沿着螺旋线或圆弧线围绕所述设备的中心安置所述电阻加热机构(1.3至9.3)，和/或沿着圆弧线或螺旋线相继地设置或相互嵌套地安置多个所述加热机构(1.3至9.3)。5.根据权利要求1所述的加热设备，其特征在于，所述两个接触板(11、12)以一个间距(13)相互间隔，其中，所述间距(13)设计为缝隙，和/或两个由金属构成的接触板(11、12)通过由绝缘体构成的间隔保持件(31)相互保持一个间距，其中，所述间隔保持件(31)可配属于连接件(27)。6.根据权利要求1所述的加热设备，其特征在于，所述两个位于共同的第一平面(E1)内的第一和第二接触板(11、12)具有齿形的相互咬合的接触凸起(11’、12’)。7.根据上述权利要求之一所述的加热设备，其特征在于，分别有两个并排安置的...

【专利技术属性】
技术研发人员：PA伯丁，ME奥彭，K艾伦，H席尔瓦，
申请(专利权)人：艾克斯特朗欧洲公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE