一种可控制形核、杂质扩散的多晶铸锭用石英坩埚及其制备方法技术

技术编号:11529841 阅读:113 留言:0更新日期:2015-05-31 18:48
本发明专利技术公开一种可控制形核、杂质扩散的多晶铸锭用石英坩埚,其中,其制备方法包括如下步骤:首先,在多晶铸锭用普通石英坩埚内表面涂一层高纯涂层;在刷涂的高层涂层表面再涂一层细砂涂层来降低高纯涂层表面的粗糙度,并在高温下进行烧结处理;在处理好侧边高纯涂层的坩埚底部涂一层均匀致密的形核源;基于控制形核长晶的原理,创新性的在坩埚底部铺设一层具有一定颗粒度的石英砂作为形核源来控制长晶初期的形核,形成底部具有细小均匀晶粒的高效多晶硅片,熔化过程中硅液完全熔化,不需要插棒做熔化测试,大大降低了工艺控制难度。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种可控制形核、杂质扩散的多晶铸锭用石英坩埚,其特征在于,其制备方法包括如下步骤:A)首先,在多晶铸锭用普通石英坩埚内表面涂一层高纯涂层;B)在刷涂的高层涂层表面再涂一层细砂涂层来降低高纯涂层表面的粗糙度,并在高温下进行烧结处理;C)在处理好侧边高纯涂层的坩埚底部涂一层均匀致密的形核源。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:刘明权王禄宝
申请(专利权)人:江苏美科硅能源有限公司
类型:发明
国别省市:江苏;32

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