一种显微镜下观察立体结构的装置制造方法及图纸

一种显微镜下观察立体结构的装置，包括三个移动平台以及旋转单元，其特征在于：所述三个移动平台包括依次叠加设置的第一移动平台、第二移动平台和第三移动平台，所述第一移动平台沿X方向移动，第二移动平台沿Y方向移动，第三移动平台沿Z方向移动，所述X、Y和Z三个方向相互两两垂直，所述旋转单元固定于所述第三移动平台上，所述旋转单元包括轴向横向设置、并可绕轴向360度旋转的旋转轴，所述旋转轴的外侧端固定待观察的立体微结构样品。本发明专利技术的装置可以实现待测样品360度的旋转，能全方位观测微结构的形貌及尺寸。与扫描电子显微镜相比，具有成本低，操作简便、易于加工制作等突出优点。

【技术实现步骤摘要】
一种显微镜下观察立体结构的装置
本专利技术涉及一种装置，特别是涉及一种用于显微镜下观察立体结构的装置。
技术介绍
近年来，随着各种微加工技术的发展，微结构己经广泛应用于航空航天、生物医疗、机械工业、国防等领域。目前微结构的尺寸一般都在1um-1000um之间，人的肉眼难以分辨，无法具体观察微结构的具体形貌及尺寸。所以在制备微结构后，都需要使用各种显微技术对微结构进行观察或检测。目前，观察微结构的主要方法是使用传统显微镜和扫描电子显微镜两种，且这两种观察微结构的方法各有利弊。传统的显微镜成本低，简单易操作，但却只适用于观测平面微结构的样品。扫描电子显微镜可以精确观测微结构形状以及测量微结构尺寸，适用于各种平面结构和三维立体微结构。但是扫描电子显微镜价格昂贵，操作过程复杂，且需要在被测样品上镀金才可观测，这很大程度上增加了样品观测的成本，破坏了样品的原有性质及形貌，一般只有在专业领域才使用。因此专利技术一种可以简便地利用传统显微镜观测立体结构的装置及方法是非常有必要的。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种结构简单、操作方便、成本低、并且能够360度转动观察的显微镜下观察立体结构的装置。本专利技术解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种显微镜下观察立体结构的装置，包括三个移动平台以及旋转单元，其特征在于：所述三个移动平台包括依次叠加设置的第一移动平台、第二移动平台和第三移动平台，所述第一移动平台沿X方向移动，第二移动平台沿Y方向移动，第三移动平台沿Z方向移动，所述X、Y和Z三个方向相互两两垂直，所述旋转单元固定于所述第三移动平台上，所述旋转单元包括轴向横向设置、并可绕轴向360度旋转的旋转轴，所述旋转轴的外侧端固定待观察的立体微结构样品。优选地，所述第一移动平台、第二移动平台和第三移动平台均包括相互平行间隔设置的底板和顶板，所述顶板和底板之间设有侧杆，所述侧杆包括相互交叉并且中间部位相互铰接的第一侧杆和第二侧杆，该第一侧杆的底端与底板相铰接，该第二侧杆的顶端与顶板相铰接，所述顶板与底板的两侧设有分别与顶板和底板垂直的侧面，所述底板的侧面和顶板的侧面上分别设有长条形的第一槽和第二槽，该第一槽和第二槽与底板所在平面和侧杆所在平面的交线相平行延伸，第二侧杆底端的两侧设有分别向两侧延伸并且与第二侧杆垂直的第一连接杆，第一侧杆顶端分别设有向两侧延伸并且与第一侧杆垂直的第二连接杆，所述第一连接杆插入至第一槽内并且沿该第一槽运动，该第二连接杆插入至该第二槽内并且沿该第二槽运动。优选地，所述第一移动平台的底板水平设置，所述第二移动平台的底板与所述第一移动平台的顶板相互垂直并且相固定，所述第三移动平台的底板与第二移动平台的顶板相互垂直并且相互固定，所述第三移动平台的底板与所述第一移动平台的底板也相互垂直。优选地，驱动杆固定在所述底板上并且在与底板相平行的面上延伸，所述驱动杆可绕其自身的轴旋转，所述驱动杆的内侧端与所述第一连接杆螺纹配合，转动所述驱动杆驱动所述第一连接杆沿第一槽运动。为了使顶板相对于底板的移动更加稳定可靠，所述第一侧杆和第二侧杆在所述底板以及顶板的两侧分别设置有一组，并且两侧的第一侧杆和第二侧杆之间分别通过第二连接杆和第一连接杆相互连接。优选地，所述旋转单元包括竖直设置的盒体以及位于盒体内轴向横向延伸的转盘，该转盘的一侧表面露出于所述盒体并且其上固定连接所述旋转轴，该转盘的周面上设有沿周向分布的多个齿形，驱动轴从盒体上方插入至盒体内，其外表面设有与转盘的齿形相匹配的齿形，转动所述驱动轴驱动所述转盘绕其自身的轴转动。为了调节时便于观察和控制，所述底板和顶板的两侧部位，设有从底板向着顶板延伸，并且与顶板以及底板均垂直的标尺。与现有技术相比，本专利技术的装置可以实现待测样品360度的旋转，能全方位观测微结构的形貌及尺寸。与扫描电子显微镜相比，具有成本低，操作简便、易于加工制作等突出优点。附图说明图1为本专利技术实施例的装置的立体示意图。图2为本专利技术实施例的移动平台的立体示意图。图3为本专利技术实施例的旋转单元的立体示意图。具体实施方式以下结合附图实施例对本专利技术作进一步详细描述。本专利技术实施例的显微镜下观察立体结构的装置，如图1-3所示，用于固定以及连接在显微镜下待观察的立体结构，然后放在显微镜下观察，该装置可以调节立体结构的三个方向的位置，并且可以使得待观察的立体结构可绕水平轴向360度转动。该装置包括三个移动平台，以及旋转单元80，所述三个移动平台依次固定连接，并且每个均可沿不同的方向伸展运动，三个平台的伸展方向相互垂直，即该三个移动平台包括第一移动平台10，第二移动平台20和第三移动平台30，并且第一移动平台可向X方向运动伸展，第二移动平台20可向Y方向运动伸展，第三移动平台30可向Z方向运动伸展，该X、Y、Z三个方向相互之间两两垂直。该三个移动平台结构均相同，如图1、2所示，包括两块相互平行间隔设置的底板1和顶板2，顶板2和底板1之间设有侧杆，该侧杆在与所述底板1和顶板2所在平面垂直的平面内延伸，并且包括相互交叉并且中间部位相互铰接的第一侧杆3和第二侧杆4。该第一侧杆3和第二侧杆4的底端分别与底板1连接，顶端分别与顶板2连接。优选地，该第一侧杆3的底端与底板1相铰接，所述第二侧杆4的顶端与顶板2相铰接，所述底板1和顶板2的两侧部位，分别设有与底板1和顶板2垂直的向上延伸的侧面11和21，该底板1的侧面11和顶面2的侧面21上分别设有长条形的第一槽51和第二槽52，该第一槽51、第二槽52与底板1所在平面和侧杆所在平面的交线平行延伸，第二侧杆4底端的两侧设有分别向两侧延伸并且与第二侧杆4垂直的第一连接杆91，第一侧杆3顶端分别设有向两侧延伸并且与第一侧杆3垂直的第二连接杆92，所述第一连接杆91插入至第一槽51内并且沿该第一槽51运动，该第二连接杆92插入至该第二槽52内并且沿该第二槽52运动。因此，通过第一侧杆3和第二侧杆4之间相对于两者相铰接的铰轴转动，即可调节顶板2与底板1之间的相对位置，即可以实现顶板2相对于底板1的伸展。优选地，该第一侧杆3和第二侧杆4为底板1的两侧各自相互平行均设有一组，这样使得顶板2相对于底板1的位置相互调节时更加稳定可靠。该两侧的第一侧杆3和第二侧杆4之间分别通过第二连接杆92和第一连接杆91相互连接。驱动杆6固定在所述底板1上并且可绕其自身的轴旋转，所述驱动杆6与所述第一连接杆91相互垂直，并且在与底板1相平行的平面上延伸，所述驱动杆6的内侧端连接至所述底板侧的第一连接杆91，外侧端伸出位于底板1的外侧，所述驱动杆6与第一连接杆91相螺纹配合，即所述驱动杆6的外表面设有外螺纹，所述第一连接杆91的外表面设有与该驱动杆6的外螺纹相匹配的螺纹，驱动杆6位于所述第一连接杆91的上方或下方，驱动杆6的外侧端为操作端并且固定有一旋钮61，通过驱动杆6的转动，驱动第一连接杆91沿第一槽51运动，进而带动第二连接杆92沿第二槽52运动，使得顶板2相对于底板1之间的位置的改变。优选地，为了便于调节时观察，在所述底板1和顶板2的两侧部位，即与侧杆相平行的面上，设有一从底板1向着顶板2延伸、与顶板以及底板均垂直的标尺7，这样既便于观察，又不妨碍调节移动平台的伸展的长度。该三个移动平台的伸展长度相互垂直本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显微镜下观察立体结构的装置，包括三个移动平台以及旋转单元(80)，其特征在于：所述三个移动平台包括依次叠加设置的第一移动平台(10)、第二移动平台(20)和第三移动平台(30)，所述第一移动平台(10)沿X方向移动，第二移动平台(20)沿Y方向移动，第三移动平台(30)沿Z方向移动，所述X、Y和Z三个方向相互两两垂直，所述旋转单元(80)固定于所述第三移动平台(30)上，所述旋转单元(80)包括轴向横向设置、并可绕轴向360度旋转的旋转轴(81)，所述旋转轴(81)的外侧端固定待观察的立体微结构样品。

【技术特征摘要】
1.一种显微镜下观察立体结构的装置，包括三个移动平台以及旋转单元(80)，其特征在于：所述三个移动平台包括依次叠加设置的第一移动平台(10)、第二移动平台(20)和第三移动平台(30)，所述第一移动平台(10)沿X方向移动，第二移动平台(20)沿Y方向移动，第三移动平台(30)沿Z方向移动，所述X、Y和Z三个方向相互两两垂直，所述旋转单元(80)固定于所述第三移动平台(30)上，所述旋转单元(80)包括轴向横向设置、并可绕轴向360度旋转的旋转轴(81)，所述旋转轴(81)的外侧端固定待观察的立体微结构样品；所述第一移动平台(10)、第二移动平台(20)和第三移动平台(30)均包括相互平行间隔设置的底板(1)和顶板(2)，所述顶板(2)和底板(1)之间设有侧杆，所述侧杆包括相互交叉并且中间部位相互铰接的第一侧杆(3)和第二侧杆(4)，该第一侧杆(3)的底端与底板(1)相铰接，该第二侧杆(4)的顶端与顶板(2)相铰接，所述顶板(2)与底板(1)的两侧设有分别与顶板(2)和底板(1)垂直的侧面，所述底板(1)的侧面(11)和顶板(2)的侧面(21)上分别设有长条形的第一槽(51)和第二槽(52)，该第一槽(51)和第二槽(52)与底板(1)所在平面和侧杆所在平面的交线相平行延伸，第二侧杆(4)底端的两侧设有分别向两侧延伸并且与第二侧杆(4)垂直的第一连接杆(91)，第一侧杆(3)顶端分别设有向两侧延伸并且与第一侧杆(3)垂直的第二连接杆(92)，所述第一连接杆(91)插入至第一槽(51)内并且沿该第一槽(51)运动，该第二连接杆(92)插入至该第二槽(52)内并且沿该第二槽(52)运动。2.如权利要求1所述的显微镜下观察立体结构的装置，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡雪芳，陶卫东，何如双，颜飞彪，董建峰，
申请(专利权)人：宁波大学，
类型：发明
国别省市：浙江;33