气场指示片制造技术

本实用新型专利技术涉及一种气场指示片，其设于一开口或一视窗，开口或视窗位于一隔板，隔板位于一化学湿制程机台的二槽室之间，气场指示片包含有：一固定部；以及一指示部，其具有多数个条状片，各条状片具有一自由端与一固定端，固定端连接固定部的一侧；其中，当二槽室之间产生气流时，该指示部产生一指示偏角。本实用新型专利技术的气场指示片装设于二槽室之间，当二槽室内部产生有一压差时，一气场会由气压较高的槽室流向气压较小的槽室，通过气场指示片所产生的指示偏角，以得知气流的流向，再经由适当的气流调整，以避免制程中基板受到化学物质的污染；本实用新型专利技术的气场指示片的结构较为简易，故具有降低成本的优势。

【技术实现步骤摘要】

本技术设及一种气场指示片，特别是指一种在化学湿制程环境下能呈现气场 方向的气场指示片。
技术介绍
现有的基板制程中，基板需要进行多道不同的化学湿制程，故基板会于能够提供 化学湿制程的各槽室之间移动。多个槽室整合于一机台，各槽室之间具有一隔板。 但化学湿制程特别要求槽室的内部处于一特定气压下，而相邻的二槽室的内部气 压可能不同，其一槽室的内部气压有可能大于另一槽室的内部气压。 依据流体的特性，气压大的流体会流向气压较小的位置，因此若如上述内部气压 较高的槽室会产生一流向内部气压较小的槽室的气流，该气流会夹带有至少一种化学物 质，该化学物质会污染位于内部气压较小的槽室的内部的基板。 因此如何判别气场的流向，W避免基板被化学物质污染，其成为各厂商所研究的 项目。现有的作法于各槽室的顶端装设一传感器，W判断气场的流向。然而，传感器因受测 环境的不同，如气压、风速、湿度、化学性质的变化，而需要更多辨识侦测的参数，因此导致 设传感器结构的复杂化，W及装置维修成本的提高。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的目的在于提供一种气场指示片。 为了达到上述的目的，本技术的目的在于提供一种气场指示片，其设于一开 口或一视窗，该开口或该视窗位于一隔板，该隔板位于一化学湿制程机台的二槽室之间，该 气场指示片包含有： -固定部；W及 一指示部，其具有多数个条状片，各条状片具有一自由端与一固定端，该固定端连 接该固定部的一侧； 其中，当二槽室之间产生气流时，该指示部产生一指示偏角。 作为优选方案，其中该化学湿制程机台为一纯水喷洒机台、一清洗制程机台、一隔 离制程机台、一蚀刻制程机台、一显影制程机台、一剥膜制程机台或一吹干制程机台。 作为优选方案，其中二条状片之间具有一第一间距。 作为优选方案，其中该条状片具有一第一侧边与一第二侧边，该第一侧边、该第二 侧边与该条状片的自由端呈一垂直状。 作为优选方案，其中该条状片具有一第一侧边与一第二侧边，该条状片的自由端 呈一尖端状。 作为优选方案，其中该条状片具有一第一侧边与一第二侧边，该第一侧边与该第 二侧边呈一渐缩状，该条状片呈一针状。 作为优选方案，其中该气场指示片为一抗腐蚀材质，该抗腐蚀材质为聚四氣己締、 氣橡胶、聚己締醇、聚醋、己締-四氣化己締共聚物或聚丙締。 作为优选方案，其中该气场指示片的表面涂设有一斥水性涂料层。 作为优选方案，其中该固定部设于该开口，该指示部延伸至该开口中。 作为优选方案，其中该固定部设于该视窗，该指示部延伸至该视窗中。 作为优选方案，其中该机台具有一槽室，该槽室相邻于该指示部的位置处设有至 少一个传感器。 本技术的气场指示片装设于二槽室之间，当二槽室内部产生有一压差时，一 气场会由气压较高的槽室流向气压较小的槽室，通过气场指示片所产生的指示偏角，W得 知气流的流向，再经由适当的气流调整，W避免制程中基板受到化学物质的污染；本实用新 型的气场指示片的结构较为简易，故具有降低成本的优势。【附图说明】 图1为本技术的一种气场指示片的第一实施例的立体示意图； 图2为多个提供化学湿制程的机台的俯视剖面示意图； 图3为本技术的气场指示片设于一开口的示意图； 图4为本技术的气场指示片设于一视窗的示意图； 图5为本技术的气场指示片的第二实施例的立体示意图； 图6为本技术的气场指示片的第二实施例具有一指示偏角的立体示意图； [002引图7为本技术的气场指示片的第S实施例的立体示意图； 图8为本技术的气场指示片的第四实施例的立体示意图； 图9为本技术的气场指示片的第五实施例的立体示意图。 【主要组件符号说明】[003引 10-固定部；10A-固定部；10B-固定部；10C-固定部；10D-固定部；11-固定孔； 11A-固定孔；11B-固定孔；11C-固定孔；11D-固定孔；12-指示部；12A-指示部；12B-指 示部；12C-指示部；12D-指示部；120-自由端；120B-自由端；120C-自由端；120D-自由 端；121-第一侧边；121B-第一侧边；121C-第一侧边；121D-第一侧边；122-第二侧边； 122B-第二侧边；122C-第二侧边；122D-第二侧边；123-条状片；123B-条状片；123C-条状 片；123D-条状片；13A-指示偏角； 20-机台；200-第一槽室；201-第二槽室；202-第S槽室；203-第四槽室；204-隔 板；204A-隔板；205-第四测量位置；206-第S测量位置；207-第二测量位置；208-第一测 量位置；209-抽风机；210-抽风机；211-增压机； 30-开口；30A-开口；31A-视窗。【具体实施方式】 W下通过特定的具体实施例说明本技术的实施方式，所属
中具有通 常知识者可由本说明书所揭示的内容，轻易地了解本技术的其他优点与功效。 请参考图1，本技术的一种气场指示片的第一实施例。气场指示片设于一化学 湿制程机台的二槽室之间，该化学湿制程机台为一纯水喷洒机台、一清洗制程机台、一隔离 制程机台、一蚀刻制程机台、一显影制程机台、一剥膜制程机台或一吹干制程机台，该气场 指示片包含有一固定部10与一指示部12。该气场指示片为一抗腐蚀材质，该抗腐蚀材质具 有耐水性、弹性、耐化学性与可提性。 固定部10的两端分别具有一固定孔11。指示部12位于固定部10的一侧，指示部 12为多数个条状片，各条状片123具有一自由端120与一固定端，该固定端连接固定部10。 各条状片123之间具有一第一间距，第一间距为0. 01mm。第一间距用于配合不同湿度、气体 化性W及气体浓度环境下的室内气场而改变。故当本技术的气场指示片位于较潮湿的 环境时，第一间距可予W增大，减缓指示部12因受潮而发生黏结的情况。前述的说明用于 说明本技术的实施例，而非限制本技术。[003引各条状片123的两侧分别具有一第一侧边121与一第二侧边122,第一侧边121平 行于第二侧边122。各条状片123的自由端120与第一侧边121及第二侧边122呈一垂直 状。上述条状片123平行与垂直的设计减少沾附气场指示片的液体形成水滴，进而减缓指 示部12因受潮而发生黏结的情况。 本技术的气场指示片包含一抗腐蚀材质，该抗腐蚀材质具有耐水性、弹 性、耐化学性与可提性。该抗腐蚀材质为聚四氣己締（Teflon,铁氣龙）、氣橡胶、聚 己締醇（Polyvin}d Alchol, P. V. A)、聚醋（Polyurethane, PU)、全氣烧氧基树脂 (Perfluoroa化〇巧 Mkae，PFA)、聚四氣己締（Pol}ftetrafluo;roethene，町E)、己締-四 氣化己締共聚物巧th}dene Tetrafluoroeth5dene，ET阳）或聚丙締（Polypropylene, PP)。 当气场指示片所使用的抗腐蚀材质为聚丙締时，则于该气场指示片的表面设有一斥水性涂 料层当前第1页1 2 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气场指示片，其设于一开口或一视窗，该开口或该视窗位于一隔板，该隔板位于一化学湿制程机台的二槽室之间，其特征在于，该气场指示片包含有：一固定部；以及一指示部，其具有多数个条状片，各条状片具有一自由端与一固定端，该固定端连接该固定部的一侧；其中，当二槽室之间产生气流时，该指示部产生一指示偏角。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：颜英哲，温俊斌，
申请(专利权)人：亚智科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71