【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种自驱动阵列式振动传感器,包括:基底层(1)、电极层(2)和功能薄膜层(3),所述电极层(2)设置于基底层(1)上表面,所述功能薄膜层(3)设置于电极层(2)上表面,其特征在于,所述电极层(2)包括若干电极(4),所述电极(4)阵列排布构成电极层(2)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:张跃,梁齐杰,闫小琴,廖新勤,赵艳光,曹诗瑶,
申请(专利权)人:北京科技大学,
类型:发明
国别省市:北京;11
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