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本发明涉及一种自驱动阵列式振动传感器及其制备方法，其中自驱动阵列式振动传感器包括：基底层、电极层和功能薄膜层，电极层由若干电极阵列构成，本发明通过应用摩擦起电和静电诱导两种效应，相比于一些传统的振动传感器而言，其可以实现自驱动的工作方式，也...
该专利属于北京科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京科技大学授权不得商用。

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