基于LAO衬底的非极性蓝光LED外延片及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种基于LAO衬底的非极性蓝光LED外延片及其制备方法，包括如下步骤：a）采用LAO衬底，选取晶体取向，并对LAO衬底进行表面清洁处理；b）对LAO衬底进行退火处理，并在LAO衬底表面形成AlN籽晶层；c）在LAO衬底上采用金属有机化合物化学气相淀积依次形成非极性m面GaN缓冲层、非极性非掺杂u-GaN层、非极性n型掺杂GaN薄膜、非极性InGaN/GaN量子阱、非极性m面AlGaN电子阻挡层和非极性p型掺杂GaN薄膜。本发明专利技术提供的基于LAO衬底的非极性蓝光LED外延片及其制备方法，具有缺陷密度低、结晶质量好，发光性能好的优点，且制备成本低廉。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种基于LAO衬底的非极性蓝光LED外延片，包括衬底，其特征在于，所述衬底为LAO衬底，所述LAO衬底上依次设置有缓冲层、第一非掺杂层、第一掺杂层、量子阱层、电子阻挡层和第二掺杂层。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡卓然，高海，刘智，尹祥麟，刘正伟，
申请(专利权)人：上海卓霖信息科技有限公司，江苏卓宁光电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31