下载基于LAO衬底的非极性蓝光LED外延片及其制备方法的技术资料

文档序号:11414068

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本发明公开了一种基于LAO衬底的非极性蓝光LED外延片及其制备方法,包括如下步骤:a)采用LAO衬底,选取晶体取向,并对LAO衬底进行表面清洁处理;b)对LAO衬底进行退火处理,并在LAO衬底表面形成AlN籽晶层;c)在LAO衬底上采用金属...
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