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本发明公开了一种基于LAO衬底的非极性蓝光LED外延片及其制备方法,包括如下步骤:a)采用LAO衬底,选取晶体取向,并对LAO衬底进行表面清洁处理;b)对LAO衬底进行退火处理,并在LAO衬底表面形成AlN籽晶层;c)在LAO衬底上采用金属...该专利属于上海卓霖信息科技有限公司;江苏卓宁光电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海卓霖信息科技有限公司;江苏卓宁光电子有限公司授权不得商用。