【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种电性失效分析方法,其特征在于,应用于对失效芯片的存储单元进行失效分析,所述方法包括:步骤S1、对所述失效芯片进行读操作,以获取所述存储单元的失效地址和比特拼图;步骤S2、测量所述失效地址中的物性/电性扇区内的所有存储单元的电流,并获取测量结果的物性地址;步骤S3、根据所述测量结果的物性地址生成一电流拼图和一电流分布趋势图;步骤S4、根据所述电流分布趋势图获取失效的物性地址位于所述电流拼图中的物理位置;步骤S5、根据所述失效的物性地址的物理位置和所述比特拼图对所述失效芯片的存储单元进行失效分析。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:周第廷,陆磊,张顺勇,
申请(专利权)人:武汉新芯集成电路制造有限公司,
类型:发明
国别省市:湖北;42
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