一种探测光平行扫描设备制造技术

本发明专利技术实施例提供了一种探测光平行扫描设备：第一反射镜、第二反射镜，第一转动平台，第二转动平台以及驱动设备；第一反射镜固定安装在第一转动平台上，第二反射镜固定安装在第二转动平台上；探测光入射至第一反射镜，第一反射镜将探测光反射至第二反射镜，第二反射镜将探测光反射至探测区域，始终保持第一反射镜与第二反射镜平行，第一反射镜和第二反射镜同步、同向并且同速转动，不断改变探测光照射探测区域的位置，实现对探测区域进行扫描探测。本发明专利技术实施例所提供的扫描设备，保证探测光在探测区域不同位置入射时，彼此水平，实现片状光对不同探测区域的探测样品的平行扫描，提高探测精度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光学
，特别是涉及一种探测光平行扫描设备。
技术介绍
在光学探测领域，光学扫描探测是当前研宄热点之一。光学扫描探测是一种动态 光学探测技术，入射光按照一定的方向和速度改变所照射的被探测区域的位置，从而实现 对被探测区域的不同位置的探测样品进行探测。 为了实现对探测区域中不同位置的探测样品的光学扫描探测，有两种技术方案。 一种方案是保持探测光位置不变，移动探测区域。还有一种方案是保持探测区域不变，移动 探测光。通常情况下，移动探测光来扫面探测区域是更容易实现、更有实际应用价值的方 案。 目前，移动片状光实现光学扫描探测时，主要采用振镜实现扫描，但是，由振镜反 射至探测区域不同位置的探测光，入射时彼此不平行，即不同探测区域的探测样品对入射 光的反射率不同，导致很大误差，影响探测精度。
技术实现思路
本专利技术解决的技术问题在于提供一种探测光平行扫描设备，解决了现有技术探测 光在探测区域的不同位置入射时彼此不平行的问题。 为此，本专利技术解决技术问题的技术方案是： -种探测光平行扫描设备，所述设备包括： 第一反射镜、第二反射镜，第一转动平台，第二转动平台以及驱动设备； 所述第一反射镜固定安装在所述第一转动平台上，所述第二反射镜固定安装在所 述第二转动平台上； 所述驱动设备驱动所述第一转动平台绕所述第一反射镜的第一中轴转动，以使得 所述第一反射镜绕所述第一中轴转动，所述驱动设备驱动所述第二转动平台绕所述第二反 射镜的第二中轴转动，以使得所述第二反射镜绕所述第二中轴转动，第一转动平台和第二 转动平台同步、同向并且同速转动，始终保持所述第一反射镜与所述第二反射镜平行，所述 第一中轴为所述第一反射镜两条长边中点的连线，所述第二中轴为所述第二反射镜两条长 边中点的连线： 所述第一中轴的中点为第一轴心，所述第二中轴的中点为第二轴心，所述第一轴 心和所述第二轴心的连线垂直于探测光入射平面； 探测光入射至所述第一反射镜，第一反射镜将所述探测光反射至所述第二反射 镜，所述第二反射镜将所述探测光反射至探测区域，所述驱动设备驱动所述第一转动平台 绕所述第一中轴转动，并且所述驱动设备驱动所述第二转动平台绕所述第二中轴转动，始 终保持所述第一反射镜与所述第二反射镜平行，不断改变所述探测光照射探测区域的位 置，对探测区域进行扫描探测。 可选的，所述驱动设备包括： 第一驱动电机以及第二驱动电机； 所述第一驱动电机驱动所述第一转动平台绕所述第一中轴转动； 所述第二驱动电机驱动所述第二转动平台绕所述第二中轴转动； 所述第一驱动电机和所述第二驱动电机执行同步驱动，驱动所述第一反射镜和所 述第二反射镜转动的方向和角速度相同，始终保持所述第一反射镜与所述第二反射镜平 行。 可选的，所述设备还包括： 非弹性连接设备； 所述非弹性连接设备一端与所述第一转动平台固定连接，另一端与所述第二转动 平台固定连接，所述非弹性连接设备平行于所述第一轴心和所述第二轴心的连线； 所述非弹性连接设备在所述驱动设备的驱动下，带动所述第一转动平台和所述第 二转动平台沿同一方向，以同一角速度同时转动，始终保持所述第一反射镜与所述第二反 射镜平行。 可选的， 所述非弹性连接设备包括第一非弹性连杆以及第二非弹性连杆； 所述第一非弹性连杆的一端与所述第一转动平台靠近探测区域的一端固定连接， 另一端与所述第二转动平台靠近探测区域的一端固定连接； 所述第二非弹性连杆的一端与所述第一转动平台远离探测区域的一端固定连接， 另一端与所述第二转动平台远离探测区域的一端固定连接； 所述驱动设备同时驱动所述第一非弹性连杆和所述第二非弹性连杆，所述第一非 弹性连杆和所述第二非弹性连杆带动所述第一转动平台和所述第二转动平台沿同一方向， 以同一角速度同时转动，始终保持所述第一反射镜与所述第二反射镜平行。 可选的，所述驱动设备包括： 第三驱动电机，所述第三驱动电机用于驱动所述非弹性连接设备中的所述第一非 弹性连杆和所述第二非弹性连杆，以使得所述非弹性连接设备带动所述第一承载台和所述 第二承载台沿同一方向，以同一角速度同时转动。 可选的， 所述探测光为片状探测光，照射探测区域的不同位置的片状探测光彼此平行，对 探测区域进行三维扫描照射。 可选的， 以第一反射镜的反射面与入射的探测光夹角为135°时，第一反射镜和第二反射 镜的位置作为参考位置； 参考位置上第一反射镜和第二反射镜的旋转角度巾为0,所述探测光所照射的探 测区域的位置为扫描原点； 所述第一反射镜和第二反射镜逆时针旋转后，第一反射镜与所述参考位置的夹角 为小为负，第二反射镜与所述参考位置的夹角为巾为负，扫描距离Z为负； 所述第一反射镜和第二反射镜逆时针旋转后，第一反射镜与所述参考位置的夹角 为小为正，第二反射镜与所述参考位置的夹角为巾为正，扫描距离Z为正；则扫描的最大距离Z、轴心距d和旋转角度巾的当前第1页1 2 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种探测光平行扫描设备，其特征在于，所述设备包括：第一反射镜、第二反射镜，第一转动平台，第二转动平台以及驱动设备；所述第一反射镜固定安装在所述第一转动平台上，所述第二反射镜固定安装在所述第二转动平台上；所述驱动设备驱动所述第一转动平台绕所述第一反射镜的第一中轴转动，以使得所述第一反射镜绕所述第一中轴转动，所述驱动设备驱动所述第二转动平台绕所述第二反射镜的第二中轴转动，以使得所述第二反射镜绕所述第二中轴转动，第一转动平台和第二转动平台同步、同向并且同速转动，始终保持所述第一反射镜与所述第二反射镜平行，所述第一中轴为所述第一反射镜两条长边中点的连线，所述第二中轴为所述第二反射镜两条长边中点的连线；所述第一中轴的中点为第一轴心，所述第二中轴的中点为第二轴心，所述第一轴心和所述第二轴心的连线垂直于探测光入射平面；探测光入射至所述第一反射镜，第一反射镜将所述探测光反射至所述第二反射镜，所述第二反射镜将所述探测光反射至探测区域，所述驱动设备驱动所述第一转动平台绕所述第一中轴转动，并且所述驱动设备驱动所述第二转动平台绕所述第二中轴转动，始终保持所述第一反射镜与所述第二反射镜平行，不断改变所述探测光照射探测区域的位置，对探测区域进行扫描探测。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄真理，
申请(专利权)人：黄真理，
类型：发明
国别省市：北京;11