涂敷设备中的闪光探测制造技术

本发明专利技术涉及一种在用于在真空处理设备内处理工件的过程期间有效地闪光探测的方法。为此，在所述工件上施加偏置电压的情况下，测量流经所述工件的电流与平均值的偏差并且在超过所述偏差的阈值的情况下停止所述过程。根据本发明专利技术，使得所述阈值与所述偏置电压的数值相关。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：A穆斯布鲁格，
申请(专利权)人：欧瑞康贸易股份公司特吕巴赫，
类型：
国别省市：