超声波装置、探测器、电子设备以及超声波图像装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供超声波装置、探测器、电子设备以及超声波图像装置。一种超声波装置，其特征在于，具备：基体，其具有被阵列状地配置的多个开口；多个超声波换能器元件，其分别对应每个所述开口而配置，且分别具有振动膜；以及增强体，从所述基体的厚度方向俯视观察，在相邻的所述振动膜之间的区域中被固定于所述基体，具有比所述基体大的杨氏模量。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供超声波装置、探测器、电子设备以及超声波图像装置。一种超声波装置，其特征在于，具备：基体，其具有被阵列状地配置的多个开口；多个超声波换能器元件，其分别对应每个所述开口而配置，且分别具有振动膜；以及增强体，从所述基体的厚度方向俯视观察，在相邻的所述振动膜之间的区域中被固定于所述基体，具有比所述基体大的杨氏模量。【专利说明】超声波装置、探测器、电子设备以及超声波图像装置
本专利技术涉及超声波装置以及利用了超声波装置的探测器、电子设备及超声波图像 目.-rf* ο
技术介绍
超声波装置普遍为众所知。例如，在专利文献I所记载的超声波装置中，基体具有多个开口。开口被配置为阵列状。分别对应每个开口而配置多个超声波换能器元件。各个超声波换能器元件具有振动膜。在振动膜上形成压电体以及电极。根据振动膜的超声波振动发送超声波。 现有技术文献 专利文献 专利文献I日本专利特开2005-51688号公报 专利文献2日本专利特开2007-235795号公报
技术实现思路
振动膜的超声波振动时，引起超声波的串音。振动膜的超声波振动沿着基体传播到邻接的振动膜。在防止这样的串音时，在例如专利文献2中压电体被分断。然而，在专利文献I所述的超声波装置中，如果振动膜相互之间被分断，则振动膜的支撑强度就会显著地变弱。如果想要确保支撑强度，则超声波换能器元件的高密度化就难。 根据本专利技术的至少一种方式，能够提供一种超声波装置，其能够实现超声波换能器元件的高密度化，并且使基体的强度变大，从而能够良好地防止串音。 (I)本专利技术的一个方式涉及超声波装置，其具备:基体，其具有被阵列状地配置的多个开口 ；多个超声波换能器元件，其以所述开口为单位被配置，分别具有振动膜；以及增强体，从所述基体的厚度方向俯视观察，在相邻的所述振动膜之间的区域中被固定于所述基体，具有比所述基体大的杨氏模量。 在超声波的发送中，超声波换能器元件的振动膜进行超声波振动。根据超声波振动，超声波信号被发送。此时，基体对应每个开口形成包围开口的框体。在框体重叠增强体并形成复合体。复合体的弯曲刚性超过框体单体的弯曲刚性。框体的刚性被提高。能够抑制在振动膜的超声波振动时框体摇晃。这样，防止在一个振动膜的超声波振动时超声波串音。其结果，超声波换能器元件能够高密度地被配置。另外一方面，如果框体的刚性低，则在振动膜的超声波振动时框体就会歪曲，就会引起超声波从一个振动膜向邻接的振动模的中甲曰。 (2)所述增强体与所述基体协作并能够形成具有比所述基体单体的截面二次力矩大的截面二次力矩的复合体。弯曲刚性由杨氏模量与截面二次力矩之积确定。如果复合体的截面二次力矩比基体单体的截面二次力矩大，则弯曲刚性就会被提高。增强体能够有效地增强弯曲刚性。 (3)所述增强体能够具有沿着在所述俯视观察中相互地交叉的第一方向以及第二方向的交叉部。通过使增强体彼此交叉，增强体的刚性被提高。基体的弯曲刚性被进一步提闻。 (4)所述第一方向与所述第二方向的交叉角能够为90度。基体的弯曲刚性被确实地提闻。 (5)所述增强体能够具有在所述俯视观察中沿所述第一方向横穿所述超声波换能器元件的阵列区域的形状的第一直线部。这样，在整个阵列区域基体的刚性被提高。 (6)对应每个被共同地连接于一条信号线的所述超声波换能器元件群，所述增强体能够具有在所述第二方向上被分离且配置的多个所述交叉部。属于被共同地连接于一条信号线的超声波换能器元件群的振动膜根据驱动信号的供给同时振动。同时振动的超声波换能器元件群形成一个片段。增强体以片段为单位被中断，因此能够防止超声波振动沿着增强体在片段相互之间传递。能够减少超声波的串音。 (7)超声波装置能够具备增强体，该增强体具有:所述第一直线部，其在所述俯视观察中位于所述多个所述交叉部之间的区域；以及辅助增强体部，其沿所述第二方向延伸设置。即使增强体被分断，被分断的区域也由辅助增强体部增强。不管增强体的分断与否，通过辅助增强体的作用，刚性也被确保。 (8)所述增强体能够具有在所述俯视观察中沿所述第二方向横穿所述超声波换能器元件的阵列区域的形状的第二直线部。这样，在整个阵列区域上基体的刚性被提高。 (9)对应每个被共同地连接于一条信号线的所述超声波换能器元件群，所述增强体能够具有在所述第一方向上被分离且配置的多个所述交叉部。属于被共同地连接于一条信号线的超声波换能器元件群的振动膜根据驱动信号的供给同时振动。同时振动的超声波换能器元件群形成一个片段。增强体以片段为单位被中断，因此能够防止超声波振动沿着增强体在片段相互之间传递。能够减少超声波的串音。片段被阵列状地配置。 (10)所述增强体由绝缘材料形成，所述超声波装置能够具备:第一导电膜，与多个所述超声波换能器元件共同地沿第一方向延伸；压电体膜，对应每个所述超声波换能器元件被形成在所述第一导电膜上；第二导电膜，与多个所述超声波换能器元件共同地沿第二方向延伸；以及绝缘膜，从所述增强体连续，同时在所述压电体膜上从所述第二导电膜隔开所述第一导电膜。第一导电膜和第二导电膜在压电体膜上被相互隔离。在压电体膜的表面，在第一导电膜与第二导电膜之间形成有与压电体膜毗连的空间。空间被绝缘膜占据。绝缘膜防止水分向空间进入。其结果，即使超声波装置被暴露于水分中，也能够避免在第一导电膜与第二导电膜之间电短路。 (11)所述第一导电膜能够在相邻的所述第二导电膜相互之间具有比所述第二导电膜的膜厚大的膜厚。能够在第一导电膜确保足够的膜厚，因此配线电阻的增加能够被避免。所以，超声波的检测灵敏度能够被充分地确保。 (12)超声波装置能够被组装到探测器使用。此时，探测器只要具备超声波装置和支撑所述超声波装置的框体就可以。 (13)超声波装置能够被组装到电子设备使用。此时，电子设备只要具备超声波装置和被连接于所述超声波装置且处理所述超声波装置的输出的处理装置就可以。 (14)超声波装置能够被组装到超声波图像装置使用。此时，超声波图像装置能够具备超声波装置和显示由所述超声波装置的输出生成的图像的显示装置。 【专利附图】【附图说明】 图1是大致示出电子设备的一个具体例即超声波诊断装置的外观图。 图2是超声波探测器的正面放大图。 图3是第一实施方式涉及的超声波换能器元件单元的平面放大图。 图4是沿图3的A-A线的截面图。 图5是沿图3的B-B线的部分扩大截面图。 图6相当于图3的局部放大图，是第二实施方式涉及的超声波换能器元件单元的部分放大平面图。 图7相当于图3的部分扩大图，是第二实施方式的变形例所涉及的超声波换能器元件单元的部分放大平面图。 图8相当于图4的部分扩大图，是第三实施方式涉及的超声波换能器元件单元的部分扩大截面图。 图9是超声波换能器元件单元的制造方法，是大致示出压电体膜的形成工序的图。 图10是超声波换能器元件单元的制造方法，是大致示出素材膜的形成工序的图。 图11是超声波换能器元件单元的制造方法，是大致示出第二导电膜的形成工序的图。 图12是超声波换能器元件单元的制造方法，是大致示出增强体的形成工序的图。 符号的说明 11作为电子设备的超声波图像装置(超声波诊断装本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超声波装置，其特征在于，具备：基体，具有被阵列状地配置的多个开口；多个超声波换能器元件，分别对应每个所述开口而配置，且分别具有振动膜；以及增强体，从所述基体的厚度方向俯视观察，在相邻的所述振动膜之间的区域中被固定于所述基体，所述增强体具有比所述基体大的杨氏模量。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：清濑摄内，铃木博则，松田洋史，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP