本实用新型专利技术公开一种草酸浓度控制器，包括主机台、计量补给部以及测定控制部；所述计量补给部包括酸液进入口、酸液回流口以及净水补给口；待测酸液从所述酸液进入口进入流经所述计量补给部后从所述酸液回流口流出；所述计量补给部向所述测定控制部提供部分所述待测酸液；所述测定控制部包括电导率测定计和温度测定计；所述电导率测定计测量所述待测酸液的电导率；所述温度测定计测量所述待测酸液的温度；所述的测定控制部向所述计量补给部发出补给指令，控制所述净水补给口向所述酸液回流口提供净水补给。本实用新型专利技术根据药液的电导率，实时计算出药液的浓度，并进行控制，能更好的保证产品的质量，并且有效的延长药液的使用寿命，减少使用费用。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开一种草酸浓度控制器，包括主机台、计量补给部以及测定控制部；所述计量补给部包括酸液进入口、酸液回流口以及净水补给口；待测酸液从所述酸液进入口进入流经所述计量补给部后从所述酸液回流口流出；所述计量补给部向所述测定控制部提供部分所述待测酸液；所述测定控制部包括电导率测定计和温度测定计；所述电导率测定计测量所述待测酸液的电导率；所述温度测定计测量所述待测酸液的温度；所述的测定控制部向所述计量补给部发出补给指令，控制所述净水补给口向所述酸液回流口提供净水补给。本技术根据药液的电导率，实时计算出药液的浓度，并进行控制，能更好的保证产品的质量，并且有效的延长药液的使用寿命，减少使用费用。【专利说明】草酸浓度控制器
本技术涉及蚀刻液浓度测定控制设备领域，尤其涉及一种草酸浓度控制器。
技术介绍
TFT、触摸屏ITO膜蚀刻液用量比较大，必须24H连续生产，对蚀刻液浓度控制必须实时进行，用化学滴定法，周期长，而且需要离线测量，不能很好的实时监控。实际在生产过程中，为了节省ITO膜蚀刻液的用量，ITO膜蚀刻液需要反复使用，一次加入量在400L左右，因此需要实时对草酸浓度进行测定以保证药液浓度在一定的可控范围内。一般采用测量草酸溶液的电导率来技术草酸的浓度，但是由于草酸溶液在使用过程中需要加热，而温度对液体的电导率是有很大影响的，因此草酸液体的温度对浓度的计算带来了干扰。
技术实现思路
本技术的目的是:提供一种草酸浓度控制器，根据草酸液浓度与电导率曲线、草酸液温度与电导率曲线，通过实时测量药液的电导率和温度计算出药液的实时浓度，并根据实时浓度对系统进行补水，保证药液浓度在一定的可控范围内，减少了浓度波动对产品质量的影响。 为了实现上述目的，本技术的技术方案是: 一种草酸浓度控制器，包括主机台、计量补给部以及测定控制部；所述计量补给部包括酸液进入口、酸液回流口以及净水补给口 ；待测酸液从所述酸液进入口进入流经所述计量补给部后从所述酸液回流口流出；所述计量补给部向所述测定控制部提供部分所述待测酸液；所述测定控制部包括电导率测定计和温度测定计；所述电导率测定计测量所述待测酸液的电导率；所述温度测定计测量所述待测酸液的温度；所述的测定控制部向所述计量补给部发出补给指令，控制所述净水补给口向所述酸液回流口提供净水补给。 进一步的，所述计量补给部还包括净水供应口，连接于外部净水源。 进一步的，还包括废液排放口。 本技术由于采用了上述技术，使之与现有技术相比具有的积极效果是: 本技术由于设置了测定控制部和计量补给部，测定控制部又包括电导率测定计和温度测定计，通过实时测量药液的电导率和温度，根据草酸液的浓度与电导率曲线、草酸液温度与电导率曲线，计算出药液的实时浓度，并根据实时浓度对系统进行补水，保证药液浓度在一定的可控范围内，减少了浓度波动对产品质量的影响。 【专利附图】【附图说明】 图1为本技术草酸浓度控制器的结构示意图。 【具体实施方式】 以下结合附图进一步说明本技术的实施例。 请参见图1所示，包括主机台1、计量补给部2以及测定控制部3 ;所述计量补给部2包括酸液进入口 4、酸液回流口 5以及净水补给口 8 ;待测酸液从所述酸液进入口 4进入流经所述计量补给部2后从所述酸液回流口 5流出；所述计量补给部2向所述测定控制部3提供部分所述待测酸液；所述测定控制部3包括电导率测定计31和温度测定计32 ;所述电导率测定计31测量所述待测酸液的电导率；所述温度测定计32测量所述待测酸液的温度；所述的测定控制部3向所述计量补给部2发出补给指令，控制所述净水补给口 8向所述酸液回流口 5提供净水补给。 优选的，所述计量补给部2还包括净水供应口 7，连接于外部净水源。 优选的，还包括废液排放口 6，用于草酸浓度控制器内的废液排出。 本技术通过测定控制部3通过实时测量药液的电导率和温度，根据草酸液的浓度与电导率曲线、草酸液温度与电导率曲线，计算出药液的实时浓度，并根据实时浓度确定系统需要的补水量，然后向计量补给部2发出指令，通过净水补给口 8向酸液回流口 5补给净水，保证药液浓度在一定的可控范围内，减少了浓度波动对产品质量的影响。 请参见图1所示，根据生产需求，从刻蚀机台10中的TANKA(储液箱)or TANK B中给机台供液，供液的同时通过酸液进入口 4给本技术草酸浓度控制器供应液体，测定控制部3测得供液的导电率和温度，并计算得待测液的浓度，进而计算补水的量和时间，浓度偏得越高，相对补水时间越长。 综上所述，本技术根据药液的电导率和温度，实时计算出药液的浓度，并进行控制，能更好的保证产品的质量，并且有效的延长药液的使用寿命，减少使用费用。【权利要求】1.一种草酸浓度控制器，其特征在于:包括主机台(1)、计量补给部(2)以及测定控制部⑶；所述计量补给部⑵包括酸液进入口(4)、酸液回流口(5)以及净水补给口⑶；待测酸液从所述酸液进入口(4)进入流经所述计量补给部(2)后从所述酸液回流口(5)流出；所述计量补给部⑵向所述测定控制部⑶提供部分所述待测酸液；所述测定控制部(3)包括电导率测定计(31)和温度测定计(32);所述电导率测定计(31)测量所述待测酸液的电导率；所述温度测定计(32)测量所述待测酸液的温度；所述的测定控制部(3)向所述计量补给部⑵发出补给指令，控制所述净水补给口⑶向所述酸液回流口(5)提供净水补给。2.根据权利要求1所述的草酸浓度控制器，其特征在于:所述计量补给部(2)还包括净水供应口(7)，连接于外部净水源。3.根据权利要求1所述的草酸浓度控制器，其特征在于:还包括废液排放口(6)。【文档编号】G05D11/13GK204256544SQ201420646795【公开日】2015年4月8日 申请日期:2014年11月2日 优先权日:2014年11月2日 【专利技术者】姚强, 蒋继德, 刘宁, 缪星鑫 申请人:上海斡铌禾自动化科技有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种草酸浓度控制器，其特征在于：包括主机台(1)、计量补给部(2)以及测定控制部(3)；所述计量补给部(2)包括酸液进入口(4)、酸液回流口(5)以及净水补给口(8)；待测酸液从所述酸液进入口(4)进入流经所述计量补给部(2)后从所述酸液回流口(5)流出；所述计量补给部(2)向所述测定控制部(3)提供部分所述待测酸液；所述测定控制部(3)包括电导率测定计(31)和温度测定计(32)；所述电导率测定计(31)测量所述待测酸液的电导率；所述温度测定计(32)测量所述待测酸液的温度；所述的测定控制部(3)向所述计量补给部(2)发出补给指令，控制所述净水补给口(8)向所述酸液回流口(5)提供净水补给。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：姚强，蒋继德，刘宁，缪星鑫，
申请(专利权)人：上海斡铌禾自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。