【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及金刚石膜涂层设备，特别是涉及一种金刚石涂层膜设备的进气装置。
技术介绍
金刚石膜具有优良的散热特性能，其热导率可达2000W/(m.k)，可以很好的解决高速运动的摩擦发热量大的工具的散热问题；同时，金刚石膜具有特别高的硬度，金刚石膜的微硬度可以达到9000-10000HV，可以克服巨大的阻力和挤压应力。因此，很多要求耐磨、散热好、刚性好的工件或工具，都采取在表面镀金刚石膜的方法。在工件表面涂层金刚石膜的过程中，需要抽取真空，并向设备反应室内按一定比例充入氩气、氢气与甲烷等气体，所充入气体的数量和比例关系到金刚石膜的生成质量和速度。现有的金刚石涂层膜设备的进气装置存在不能精确控制的缺点。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了克服现有技术的缺点和不足，提供一种结构简单、定位准确、调节方便的用于金刚石涂层设备用的精确进气装置。本专利技术是通过以下技术方案予以实现的： 金刚石涂层设备用的精确进气装置，它包括步进电机、大带轮、小带轮、传动带、滚珠丝杆、丝杆螺母、固定座、滑块、连杆、注射头，所述步进电机输出上装有大带轮，所述大带轮通过传动带与小带轮相连，所述小带轮安装在滚珠丝杆上端，所述滚珠丝杆上装有丝杆螺母，所述丝杆螺母固定在滑块上，所述滑块与固定座成滑动连接，所述滑块上端装有连杆，所述连杆下端装有注射头。本专利技术工作原理：步进电机启动，带动大带轮转动，大带轮通过传动带带动小带轮转动，小带轮带动固定连接的带动滚珠丝杆转动，滚珠丝杆带动相配合的丝杆螺母上升下降，丝杆螺母带动滑块...
【技术保护点】
金刚石涂层设备用的精确进气装置，其特征在于：它包括步进电机、大带轮、小带轮、传动带、滚珠丝杆、丝杆螺母、固定座、滑块、连杆、注射头，所述电机输出上装有大带轮，所述大带轮通过传动带与小带轮相连，所述小带轮安装在滚珠丝杆上端，所述滚珠丝杆上装有丝杆螺母，所述丝杆螺母固定在滑块上，所述滑块与固定座成滑动连接，所述滑块上端装有连杆，所述连杆下端装有注射头。
【技术特征摘要】
1.金刚石涂层设备用的精确进气装置，其特征在于：它包括步进电机、大带轮、小带轮、传动带、滚珠丝杆、丝杆螺母、固定座、滑块、连杆、注射头，所述电机输出上装有大带轮，所述大带轮通过传动...
【专利技术属性】
技术研发人员：肖远龙，
申请(专利权)人：长沙湘愿节能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：湖南;43
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