一种采用磁控溅射镀彩色膜的方法技术

本发明专利技术涉及一种采用磁控溅射镀彩色膜的方法，该方法是：在真空室内，通过磁控溅射的方法，将靶材上的锡元素电离并使它沉积到工件表面，在电场作用下，工件表面的锡与氧气反应形成氧化锡并附着于阳极基板上成膜。采用本发明专利技术的方法，所镀氧化锡膜根据厚度，可以呈现银白、粉红、绿、蓝和金黄等色彩。膜层艺简单，成本低，膜层附着力好，并具有很好的耐腐蚀性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种采用磁控溅射镀彩色膜的方法。
技术介绍
采用真空镀膜的方法已经能够制备很多中色彩鲜艳的膜层，其中很多已经广泛应用到我们生产生活的各个方面，但是由于真空镀膜本身条件的限制，真空镀膜产生的颜色色彩种类相对自然颜色还是比较缺乏；本专利技术采用磁控溅射的方法，在材料表面镀制氧化锡膜，通过控制膜的成份、厚度，可以产生银白色、粉红色、绿色、蓝色和金黄色等产品，丰富了真空镀膜在装饰行业的应用。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种采用磁控溅射镀彩色膜的方法，可以实现所镀的彩色膜层为单层氧化锡膜，其反射光颜色为多种单色光，而且附着力强、不导电。本专利技术的采用磁控溅射镀彩色膜的方法，其特征在于：在真空室中，通入工作氩气和氧气，借由真空室内设置的锡靶和阳极基板电离出氩离子，氩离子受到电场加速具有高能量后，轰击阴极锡靶表面，将动量转移给锡靶原子，锡靶原子获得动量后逸出靶材表面，在电场作用下，与氧气反应形成氧化锡并附着于阳极基板上形成彩色膜。本专利技术具有以下优点：通过改变氧化锡薄膜的折射率和厚度使产品产生某一特定颜色；产品颜色为膜层折射或反射不同波长的光而产生，不易褪色，外观看起来具有绚丽的金属反光色泽，特别高雅美观；可通过调节膜层厚度及折射率，制成银白色、粉红、绿色、蓝色和金黄色等产品；业界主要应用于电子产品外壳镀制一层金属或金属氧化物，以达到反光颜色为多种单色光的目的。本专利技术则是主要应用于电子产品显示屏幕，以达到反光颜色为多种单色光的目的；所镀膜层为单层氧化锡膜，工艺简单，成本降低；彩色膜为不导电层，不影响射频通讯；膜层附着力好，具有很好的耐腐蚀性。具体实施方式本专利技术提供一种采用磁控溅射镀彩色膜的方法，其特征在于：在真空室中，通入工作氩气和氧气，借由真空室内设置的锡靶和阳极基板电离出氩离子，氩离子受到电场加速具有高能量后，轰击阴极锡靶表面，将动量转移给锡靶原子，锡靶原子获得动量后逸出靶材表面，在电场作用下，与氧气反应形成氧化锡并附着于阳极基板上形成彩色膜。这里要说明的是，本专利技术的方法在实施前，跟业界产品镀膜的方式类似，都要将基片进行前处理，包括纯清水洗净>超音波溶剂清洗>超音波纯水清洗>烘干；然后装夹于治具上>电枪除尘>本专利技术的磁控溅射>印刷油墨>烘烤>清洁>检查>包装。这里我们就以电子显示屏幕为例，对于详细的操作我们就不进行分析介绍。电子显示屏幕的镀膜包括：1)基片前处理，该工序的目的是为了除去基片表面的灰尘、油腻、白点、指纹；2)装夹于卡具上；3)电枪除尘，目的是在溅镀前再次除去基片上的灰尘，增加膜层的附着力；4)磁控溅射在基片镀氧化锡膜层；5)印刷油墨可起保护膜层的作用，使膜层在油墨底色的映照下，呈现绚丽的金属颜色光泽；6)烘烤，在160℃烘箱内，烘烤0.5h，该工艺主要为了干燥固化油墨；7)清洁，用酒精擦拭去除不洁、异物等；8)检查，确认是否存在刮擦伤、白点、颜色不均等不良；9)包装。值得一提的是，采用本专利技术实现的彩色膜的反光颜色包括：白色、黄色、粉色、蓝色以及绿色等。该些反光颜色可通过改变氧化锡膜的厚度实现。这里我们以黄色为例，所述溅射的起始压力为8.0×10-5Pa，溅射过程中的压力为：2.0×10-3Pa，我们将阳极基板设为运动的，把阴极锡靶材设为静止的，在制程中，我们将阳极基板的运行速度设定为15mm／s，加于阴极锡靶材上面的电功率为0.6KW，通入的氩气速度为：100ml／min，通入的氧气速度为：10ml／min，经过4趟的溅射处理，所述的趟数是指靶材从起点到终点，或者从终点到起点为一趟，往返为两趟，即可做出反光颜色为黄色。表一是列出了生成其他几种颜色，所需要的较佳的条件，可见，本专利技术制备不同颜色的方法是通过改变氧化锡膜的厚度实现。颜色速度(mm／s)功率(kw)趟数氧气(ml／min)氩气(ml／min)起始压力(Pa)制程压力(Pa)白色150.64101008.0×10-5Pa2.0×10-3Pa黄色150.65101008.0×10-5Pa2.0×10-3Pa粉红150.68101008.0×10-5Pa2.0×10-3Pa蓝色150.69101008.0×10-5Pa2.0×10-3Pa绿色150.610101008.0×10-5Pa2.0×10-3Pa表一以上所述仅为本专利技术的较佳实施例，凡依本专利技术申请专利范围所做的均等变化与修饰，皆应属本专利技术的涵盖范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种采用磁控溅射镀彩色膜的方法，其特征在于：在真空室中，通入工作氩气和氧气，借由真空室内设置的锡靶和阳极基板电离出氩离子，氩离子受到电场加速具有高能量后，轰击阴极锡靶表面，将动量转移给锡靶原子，锡靶原子获得动量后逸出靶材表面，在电场作用下，与氧气反应形成氧化锡并附着于阳极基板上形成彩色膜。

【技术特征摘要】
1.一种采用磁控溅射镀彩色膜的方法，其特征在于：在真空室中，通入工作氩气和氧气，借由真空
室内设置的锡靶和阳极基板电离出氩离子，氩离子受到电场加速具有高能量后，轰击阴极锡靶表面，将动
量转移给锡靶原子，锡靶原子获得动量后逸出靶材表面，在电场作用下，与氧气反应形成氧化锡并附着于
阳极基板上形成彩色膜。
2.根据权利要求1所述的采用磁控溅射镀彩色膜的方法，其特征在于：所述的氧化锡膜的反光颜色
包括：金黄色、银白色、粉红色、蓝色以及绿色。
3.根据权利要求2所述的采用磁控溅射镀彩色膜的方法，其特征在于：所述的彩...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁萍，
申请(专利权)人：无锡慧明电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32