本实用新型专利技术提供一种纳米探针的对准装置，所述对准装置至少包括：基座，基座壁上开设有从基座口延伸的插槽；针管，一端套设在所述基座中，另一端的底部沿针管口设置有用于卡住所述纳米探针的开口，所述针管表面还设置有与所述插槽配合固定的凸起。本实用新型专利技术通过在针管口的底部设置开口，可以快速卡住并对准纳米探针，防止探针偏转。另外，本实用新型专利技术在针管表面设置凸起，基座上设置与凸起配合固定的插槽，可以防止针管转动，进一步确保纳米探针的对准精度，从而提高探针的装载效率以及测试效率和准确性。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体测试
，特别是涉及一种纳米探针的对准装置。
技术介绍
集成电路的制造过程中，通常要对失效的晶圆进行测试分析,以确定失效原因,进一步提升最终成品的良率。本专利技术所用的纳米探针正是用于失效分析中对晶体管级别目标的电性量测。该系统利用一个具有若干纳米探针系统的扫描电子显微镜机台，将纳米探针与晶体管或所需结构的端点进行接触，向集成电路施加测试信号，以判断其电学性能是否完好。在纳米探针的测试系统中，装载的纳米探针的角度会影响测试的准确性。现有技术中装载探针的装置如图1～图4所示，其包括：基座1A和针管2A，所述针管2A一端套设在所述基座1A中，另一端固定纳米探针3A。这种装载结构主要依靠手动和目测来确保探针的角度，这样很容易造成探针针尖偏转，使操作效率降低。目前DCG厂商提供的测试系统中装载有8根探针，由于采用了更多便利的自动化操作步骤，使得对探针装载角度的一致性提出了更高的要求，若探针装载后存在较大的偏差，则会显著增加在自动化操作中发生撞针的风险，以及后续测量中的难度。因此，提供一种简单高效的对准装置来确保探针装载角度是本领域技术人员需要解决的课题。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种纳米探针的对准装置，用于解决现有技术中装载纳米探针时容易发生探针偏转造成撞针且装载效率低等的问题。为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种纳米探针的对准装置，所述纳米探针的对准装置至少包括：基座，基座壁上开设有从基座口延伸的插槽；针管，一端套设在所述基座中，另一端的底部沿针管口设置有用于卡住所述纳米探针的开口，所述针管表面还设置有与所述插槽配合固定的凸起。作为本技术纳米探针的对准装置的一种优化的结构，所述插槽的长度范围为1～3cm。作为本技术纳米探针的对准装置的一种优化的结构，所述纳米探针包括针杆和与所述针杆呈一定角度连接的针尖，所述开口卡在所述针杆和针尖的连接处。作为本技术纳米探针的对准装置的一种优化的结构，所述开口的长度范围为0.5～1mm，所述开口的宽度范围为0.05～0.1mm。作为本技术纳米探针的对准装置的一种优化的结构，所述凸起的形状为圆柱体或者长方体。作为本技术纳米探针的对准装置的一种优化的结构，所述凸起的高度范围为0.5～1cm。作为本技术纳米探针的对准装置的一种优化的结构，所述插槽开设在基座顶部的壁上，所述凸起相应地设置在针管顶部。作为本技术纳米探针的对准装置的一种优化的结构，所述基座和针管的材质均为不锈钢。如上所述，本技术的纳米探针的对准装置，至少包括：基座，基座壁上开设有从基座口延伸的插槽；针管，一端套设在所述基座中，另一端的底部沿针管口设置有用于卡住所述纳米探针的开口，所述针管表面还设置有与所述插槽配合固定的凸起。本技术通过在针管口的底部设置开口，可以快速卡住并对准纳米探针，防止探针偏转。另外，本技术在针管表面设置凸起，基座上设置与凸起配合固定的插槽，可以防止针管转动，进一步确保纳米探针的对准精度，从而提高探针的装载效率以及测试效率和准确性。附图说明图1为纳米探针结构示意图。图2为现有技术中针管的结构示意图。图3为现有技术中基座的结构示意图。图4为现有技术中探针装载在针管上的整体示意图。图5为本技术针管的结构示意图。图6为本技术纳米探针的对准装置示意图。元件标号说明1,1A 基座11 插槽2,2A 针管21 开口22 凸起3,3A 纳米探针具体实施方式以下由特定的具体实施例说明本技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点及功效。请参阅图5至图6。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本技术可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当亦视为本技术可实施的范畴。如图6所示，本技术提供一种纳米探针的对准装置，所述纳米探针的对准装置至少包括：基座1和针管2。所述基座1上开设有从基座口延伸的插槽11。所述基座口是针管2的插入端，基座口为水平放置的中空圆柱体。作为示例，所述插槽11的长度范围控制在1～3cm。本实施例中，所述插槽11的长度优选为2cm。当然，在其他实例中，所述插槽11的长度也可以是1cm、1.5cm或2.5cm等。如图5和图6所示，所述针管2的一端套设在所述基座1中，另一端的底部沿针管口设置有用于卡住纳米探针3的开口21。作为示例，所述开口21的长度在0.5～1mm范围内，开口21宽度以刚好卡住纳米探针3为准，约为0.05～0.1mm。本实施例中，所述开口21的长度为0.8mm，宽度为0.1mm。进一步地，所述纳米探针3包括针杆和与所述针杆成一定角度连接的针尖，所述开口21卡在所述针杆和针尖的连接处。由开口21卡住的纳米探针3在装载时自动对准角度，不会往左右发生偏移，提高探针装载的效率。另外，如图5和图6所示，在针管2表面还设置有与所述插槽11配合固定的凸起22。所述凸起22的形状可以是圆柱体或者长方体，也可以是其他任何可以与插槽11相配合的形状，在此不限。本实施例中，所述凸起22的形状为圆柱体。所述凸起22的高度一般选择在0.5～1cm，本实施例中，所述凸起22的盖度暂选为0.6cm。针管2的直径比基座口的直径稍小，将针管2安装到基座1上后，推动针管2，使针管2的凸起22沿着基座1的插槽11滑动，直至凸起22位于插槽11的最尾部固定。优选地，如图6所示，所述插槽11开设在基座1顶部的壁上，相应地，所述凸起22则设置在针管2顶部表面，以防止针管2转动，从而保证卡在针管上的本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种纳米探针的对准装置，其特征在于，所述纳米探针的对准装置至少包括：基座，基座壁上开设有从基座口延伸的插槽；针管，一端套设在所述基座中，另一端的底部沿针管口设置有用于卡住所述纳米探针的开口，所述针管表面还设置有与所述插槽配合固定的凸起。
【技术特征摘要】
1.一种纳米探针的对准装置，其特征在于，所述纳米探针的对准装置至少包括：
基座，基座壁上开设有从基座口延伸的插槽；
针管，一端套设在所述基座中，另一端的底部沿针管口设置有用于卡住所述纳米探针
的开口，所述针管表面还设置有与所述插槽配合固定的凸起。
2.根据权利要求1所述的纳米探针的对准装置，其特征在于：所述插槽的长度范围为1～3cm。
3.根据权利要求1所述的纳米探针的对准装置，其特征在于：所述纳米探针包括针杆和与所
述针杆呈一定角度连接的针尖，所述开口卡在所述针杆和针尖的连接处。
4.根据权利要求1所述的纳米探针的...
【专利技术属性】
技术研发人员：李楠，朱灵，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11
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