多激光的激光退火装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种多激光的激光退火装置和方法，通过多通道延时控制器控制激光之间的延时和合束系统对多个激光合束，实现激光之间的脉冲互相叠加，在时间上按照一定的时间序列排列，形成一个较宽的激光脉冲，从而实现对激光的脉宽（脉冲宽度）进行展宽，这种脉宽展宽几乎没有能量的损耗，不会降低脉冲的峰值能量，且在整个脉宽范围内能量可以均匀分布，还可以根据需要随意调节脉宽。另外，还可通过频率调制系统对激光器的重复频率和偏振状态进行外部调制，降低对激光器的损伤。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种多激光的激光退火装置，其特征在于，包括：多通道延时控制器；分别与所述多通道延时控制器连接的多个激光器；每个激光器的后续光路上设置有频率调制系统，用于控制各个激光器的激光脉冲通过频率调制系统后形成的出射光的重复频率和偏振状态；分别设置于每个频率调制系统的后续光路上的合束系统，用于将所有频率调制系统的出射光合成一束激光脉冲；设置于所述合束系统的后续光路上的光束整形系统，用于将合成一束的激光脉冲形成一矩形光斑；用于放置硅片的工件台；设置于所述光束整形系统的后续光路上的聚焦系统，用于将所述矩形光斑聚焦到所述硅片上，在所述硅片上形成预定尺寸的光束轮廓。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：徐建旭，兰艳平，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31