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本发明提供了一种多激光的激光退火装置和方法，通过多通道延时控制器控制激光之间的延时和合束系统对多个激光合束，实现激光之间的脉冲互相叠加，在时间上按照一定的时间序列排列，形成一个较宽的激光脉冲，从而实现对激光的脉宽（脉冲宽度）进行展宽，这种脉...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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