【技术实现步骤摘要】
一种应用在涂胶机上的光刻胶过滤回收循环系统
本技术涉及光刻胶回收
,具体地说涉及一种应用在涂胶机上的光刻胶过滤回收循环系统。
技术介绍
在半导体光刻匀胶工艺中,在黄光线涂布段,涂胶机向玻璃基板上使用滚轮涂胶的方式,将光刻胶印在玻璃基板上。但目前的半导体光刻匀胶工艺,大多存在如下缺陷:1、由于操作人员在涂胶时,要不断观察玻璃基板的涂胶效果,还需要不断更换光刻胶桶,确保光刻胶不中断向设备的供给;操作人员设备的多种操作,会影响产品检测效率,导致涂胶使用量的增多;2、由于光刻胶在循环使用中,会受到污染,并影响玻璃基板的涂胶效果,所以在循环使用多次后就需更换新的光刻胶,导致涂胶使用量的增多;3、光刻胶保质期为半年时间,而更换下来的光刻胶的杂质过多,无法继续使用,如作为废品丢弃会照成较大的浪费。 由于光刻胶被誉为液体黄金,其价格昂贵并且在生产工艺中90%以上的液体都被排掉,难以有效的回收利用,造成了极大的浪费,因此行业内急需一种能够对光刻胶进行过滤回收的装置,但现有的光刻胶回收系统难以对光刻胶进行过滤回收利用。
技术实现思路
本技术的目的是针对上述现有技术的缺陷,提供一种应用在涂胶机上的智能光刻胶循环过滤系统,以减少设备操作人员对设备光刻胶供给的管理,增加操作人员对产品质量的监督检测时间,为了加强光刻胶的回收再利用,为企业节约生产成本。 为了实现上述目的,本技术的技术方案是: —种应用在涂胶机上的智能光刻胶循环过滤系统,包括光刻胶供给槽、光刻胶补给液槽、光刻胶过滤液回收液槽,所述光刻胶供给槽设置有光刻胶供给管道,与涂胶机相连通, ...
【技术保护点】
一种应用在涂胶机上的智能光刻胶循环过滤系统,其特征在于:该系统包括光刻胶供给槽、光刻胶补给液槽、光刻胶过滤液回收液槽,所述光刻胶供给槽设置有光刻胶供给管道,与涂胶机相连通,为涂胶机提供光刻胶;所述涂胶机设置有回收管道,与光刻胶过滤液回收液槽相连通,所述回收管道上间隔串联设置有第一自吸式水泵、光刻胶过滤器;所述光刻胶过滤液回收液槽设置有回收过滤液管道,与光刻胶供给槽相连通,所述回收过滤液管道上设置有第二自吸式水泵;所述光刻胶补给液槽设置有补给液管道,与光刻胶供给槽相连通,所述补给液管道上设置有第三自吸式水泵;所述光刻胶供给槽一侧设置有检测上水位传感器和检测下水位传感器,分别与第二自吸式水泵相连接,所述检测上水位传感器控制第二自吸式水泵的关闭;所述检测下水位传感器控制第二自吸式水泵的打开,通过检测上水位传感器、检测下水位传感器对第二自吸式水泵的控制,进而控制光刻胶供给槽中光刻胶容量的范围恒定;所述光刻胶供给槽在补给液管道进口处设置有补充液监控传感器,所述补充液监控传感器连接报警灯并与第三自吸式水泵连接。
【技术特征摘要】
1.一种应用在涂胶机上的智能光刻胶循环过滤系统,其特征在于:该系统包括光刻胶供给槽、光刻胶补给液槽、光刻胶过滤液回收液槽,所述光刻胶供给槽设置有光刻胶供给管道,与涂胶机相连通,为涂胶机提供光刻胶;所述涂胶机设置有回收管道,与光刻胶过滤液回收液槽相连通,所述回收管道上间隔串联设置有第一自吸式水泵、光刻胶过滤器;所述光刻胶过滤液回收液槽设置有回收过滤液管道,与光刻胶供给槽相连通,所述回收过滤液管道上设置有第二自吸式水泵;所述光刻胶补给液槽设置有补给液管道,与光刻胶供给槽相连通,所述补给液管道上设置有第三自吸式水泵;所述光刻胶供给槽一侧设置有...
【专利技术属性】
技术研发人员:张宗华,
申请(专利权)人:焦作市金宇阳高科电子有限公司,
类型:新型
国别省市:河南;41
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