高真空电弧泵及其抽气机组制造技术

本实用新型专利技术属于真空获得技术领域，尤其涉及一种高真空电弧泵及其抽气机组。本实用新型专利技术在传统电弧泵的阴极靶中掺入高蒸汽压材料，高蒸汽压材料为镁、铝、鋅、钙或其中任意至少两种的混合，高蒸汽压材料在阴极靶中的重量百分比为0.5~80%，大幅度拓展了电弧泵的高真空工作范围。本实用新型专利技术在电弧泵的阴极靶和可开合的面板之间设有金属挡板，金属挡板与周围部件绝缘，消除了面板的温升，显著降低面板吸附气体的解吸，进一步提高了电弧泵的极限真空。另外，本实用新型专利技术电弧泵设有阴极靶消耗预警措施，有效避免了电弧泵冷却水套烧穿事故，提高了电弧泵运行的可靠性。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术属于真空获得
，尤其涉及一种高真空电弧泵及其抽气机组。本技术在传统电弧泵的阴极靶中掺入高蒸汽压材料，高蒸汽压材料为镁、铝、鋅、钙或其中任意至少两种的混合，高蒸汽压材料在阴极靶中的重量百分比为0.5~80%，大幅度拓展了电弧泵的高真空工作范围。本技术在电弧泵的阴极靶和可开合的面板之间设有金属挡板，金属挡板与周围部件绝缘，消除了面板的温升，显著降低面板吸附气体的解吸，进一步提高了电弧泵的极限真空。另外，本技术电弧泵设有阴极靶消耗预警措施，有效避免了电弧泵冷却水套烧穿事故，提高了电弧泵运行的可靠性。【专利说明】高真空电弧泵及其抽气机组
本技术属于真空获得
，尤其涉及一种高真空电弧泵及其抽气机组。
技术介绍
专利201210170072.1 (一种抽气系统及工艺) 专利201310241954.7 (真空炉抽气系统及其抽气工艺) 专利201310242244.6 (蒸发镀膜设备及其抽气工艺) 专利201310241939.2 (等离子体镀膜设备及其抽气工艺) 以上四件专利提出了一种利用弧光放电实现化学吸附抽气的电弧泵(通常本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高真空电弧泵，包括泵壳和电源，所述泵壳上设有泵口，所述泵壳一侧的可开合的面板上固设有基座，所述基座与所述面板绝缘，所述基座与所述电源负极电连接，所述基座内侧端与阴极靶固定连接，所述电源正极与所述泵壳电连接，其特征在于，所述泵壳内还设有位于所述阴极靶和所述面板之间的金属挡板，所述金属挡板与周围部件绝缘。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：储继国，
申请(专利权)人：储继国，
类型：新型
国别省市：广东;44