温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型属于真空获得技术领域，尤其涉及一种高真空电弧泵及其抽气机组。本实用新型在传统电弧泵的阴极靶中掺入高蒸汽压材料，高蒸汽压材料为镁、铝、鋅、钙或其中任意至少两种的混合，高蒸汽压材料在阴极靶中的重量百分比为0.5~80%，大幅度拓展了电...
该专利属于储继国所有，仅供学习研究参考，未经过储继国授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。