并联环流泵、组合环流泵、复合环流泵及其抽气机组制造技术

本发明专利技术涉及一种并联环流泵、组合环流泵、复合环流泵及其抽气机组，该并联环流泵采用梯形抽气槽截面，转子平盘外径递增或递减，每个环形槽中设置若干抽气单元等结构，从而获得大抽速、高压缩能力、节能、减小体积、降低重量和提高运行可靠性等优点。

【技术实现步骤摘要】
并联环流泵、组合环流泵、复合环流泵及其抽气机组
本专利技术属于真空泵
，尤其涉及一种并联环流泵、组合环流泵、复合环流泵及其抽气机组。
技术介绍
目前，中真空区段普遍采用罗茨泵抽气，该泵体积大、能耗高，而且存在油蒸汽污染。传统的周向牵引分子泵(又称环流泵)的结构简单、能耗低、压缩能力强，并且能在中真空区段运行，还能获得高真空，无油蒸汽污染。然而，该泵抽速小，不到罗茨泵的1/10，不能满足工业应用的需求。除此之外，传统环流泵还存在如下缺点: 1.抽气槽中，外侧部位气体获得的牵引速度大，压强提升快，内侧部位的气体压强提升慢，导致气体产生紊流，抽速下降，能耗上升。2.采用单抽气槽抽气，每个抽气槽中，只设一个抽气单元； 3.抽气槽的进气口部位与排气口部位存在较大的压强差，导致转子受力不均衡，在高压强下运行，易发生变形、损坏。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种能在中、高真空区段有效运行、体积小、重量轻、能耗低、抽速大、无油蒸汽污染和运行可靠的并联环流泵、组合环流泵、复合环流泵及其抽气机组。本专利技术是这样实现的，一种并联环流泵，包括泵壳以及固设于所述泵壳内壁的隔环，所述隔环的中心位置设有一沿所述隔环的轴向延伸的转轴，所述转轴上固设有一转子，所述转子外周缘凸设有若干间隔设置且与所述转子同轴的转子平盘，每相邻两所述转子平盘之间的间隔形成一抽气槽，所述若干抽气槽互相并联，所述隔环上设有至少一组插入所述抽气槽的堵块，所述隔环上开设有位于所述堵块两侧的进气口和排气口，所述进气口和排气口分别相连，组成自外向外抽气的并联环流泵。具体地，所述抽气槽的截面为矩形或倒梯形。具体地，最外侧的两所述转子平盘与隔环之间留有起隔离作用的工作间隙，其余所述转子平盘与隔环之间留有的工作间隙是最外侧的两所述转子平盘与隔环之间留有的工作间隙的1.5飞倍。具体地，所述转子平盘的外径相同，或者所述转子平盘自进气侧至排气侧依次递增、或递减、或先递增后递减。进一步地，所述隔环紧靠上游抽气级的一侧开设有环形气体通道，所述环形气体通道与所述进气口相连。本专利技术提供的一种组合环流泵，包括外壳，所述外壳上开设有泵进气口和泵排气口，所述外壳内设有若干同轴设置且相互串联的如前所述的并联环流泵； 第一组所述并联环流泵的进气口与所述泵进气口相对应，第一组所述并联环流泵的排气口与第二组所述并联环流泵的进气口相对应；其余各组所述并联环流泵的进气口与上游并联环流泵的排气口相对应，其余各组所述并联环流泵的排气口与下游所述并联环流泵的进气口相对应，最后一组所述并联环流泵的排气口与所述泵排气口相对应，组成组合环流栗。本专利技术提供的一种并联环流泵，包括泵壳以及固设于所述泵壳内壁的隔环，所述隔环的中心位置设有一沿所述隔环的轴向延伸的转轴，所述转轴上固设有一转子，所述转子外周缘凸设有若干间隔设置且与所述转子同轴的转子平盘，每相邻两所述转子平盘之间的间隔形成一抽气槽，所述若干抽气槽互相并联，所述隔环上设有至少一组插入所述抽气槽的堵块； 所述抽气槽的槽底与所述转子分离，所述抽气槽的槽底与所述堵块相连，所述堵块顺着气流方向倾斜； 所述隔环紧靠所述堵块的一侧设有排气口，所述槽底紧靠所述堵块的另一侧设有进气口 ；或者，所述隔环紧靠所述堵块的一侧设有进气口，所述槽底紧靠所述堵块的另一侧设有排气口 ； 所述转子平盘靠近所述转轴部位开设有气体通道； 所述进气口、排气口和气体通道均与所述抽气槽相通，组成自内向外或自外向内抽气的并联环流泵。具体地，所述抽气槽的截面为矩形或倒梯形； 最外侧的两所述转子平盘与所述隔环之间留有起隔离作用的工作间隙，其余所述转子平盘与所述隔环之间留有的工作间隙是最外侧的两所述转子平盘与隔环之间留有的工作间隙的1.5?5倍； 所述转子平盘的外径相同，或者所述转子平盘的外径自进气侧至排气侧依次递增、或递减、或先递增后递减。本专利技术提供的一种卧式复合环流泵，包括外壳，所述外壳上开设有泵进气口和泵排气口， 所述外壳内依次设有若干同轴设置且相互串联的径流泵组和环流泵组，所述径流泵组靠近所述泵进气口设置，所述环流泵组靠近所述泵排气口设置； 所述径流泵组由若干对径流泵串联组成，每对所述径流泵由单个或若干并联的自外向内的径流泵抽气单元以及单个或若干并联的自内向外的径流泵抽气单元串联组成，所述自外向内的径流泵抽气单元和所述自内向外的径流泵抽气单元之间设有动密封； 靠近所述泵进气口的所述径流泵的第一组自外向内的径流泵抽气单元的外侧开设有径向气体通道，靠近所述环流泵的所述径流泵的最后一组自内向外的径流泵抽气单元的外侧开设有环形气体通道； 所述环流泵组位于所述径流泵组的两侧，所述环流泵组由若干级并联环流泵串联组成，所述环流泵组的第一级并联环流泵采用如前所述的带环形气体通道的并联环流泵，所述环流泵组其余的并联环流泵采用如前所述的不带环形气体通道的并联环流泵。本专利技术提供的一种立式复合环流泵，包括外壳，所述外壳上开设有泵进气口和泵排气口，所述外壳内依次设有若干同轴设置且相互串联的涡轮泵组、径流泵组和环流泵组； 所述涡轮泵组靠近所述泵进气口设置，所述涡轮泵组由若干串联的涡轮泵抽气单元组成，最后一级所述涡轮泵抽气单元采用短叶片结构； 所述径流泵组位于所述涡轮泵组的下方，所述径流泵组由若干对径流泵串联组成，每对所述径流泵由单个或若干并联的自外向内的抽气单元以及单个或若干并联的自内向外的抽气单元串联组成，所述自外向内的抽气单元和所述自内向外的抽气单元之间设有动密封； 靠近所述涡轮泵组的所述径流泵的第一组自外向内的抽气单元的外侧开设有轴向气体通道，靠近所述环流泵的所述径流泵的最后一组自内向外的抽气单元的外侧开设有环形气体通道； 所述环流泵组位于所述径流泵组的下方，所述环流泵组由若干级并联环流泵串联组成，所述环流泵组的第一级并联环流泵采用如前所述的带环形气体通道的并联环流泵，所述环流泵组其余的并联环流泵采用如前所述的不带环形气体通道的并联环流泵。本专利技术提供的一种卧式复合环流泵，包括外壳，所述外壳上开设有泵进气口和泵排气口， 所述外壳内依次设有若干同轴设置且相互串联的径流泵组和环流泵组，所述径流泵组靠近所述泵进气口设置，所述环流泵组靠近所述泵排气口设置； 所述径流泵组由若干对径流泵串联组成，每对所述径流泵由单个或若干并联的自外向内的抽气单元以及单个或若干并联的自内向外的抽气单元串联组成，所述自外向内的抽气单元和所述自内向外的抽气单元之间设有动密封； 靠近所述泵进气口的所述径流泵的第一组自外向内的抽气单元的外侧开设有径向气体通道，靠近所述环流泵的所述径流泵的最后一级自内向外的抽气单元由如前所述的自内向外抽气的并联环流泵取代； 所述环流泵组位于所述径流泵组的两侧，所述环流泵组由若干级如前所述的不带环形气体通道的并联环流泵串联组成。本专利技术提供的一种立式复合环流泵，包括外壳，所述外壳上开设有泵进气口和泵排气口，所述外壳内依次设有若干同轴设置且相互串联的涡轮泵组、径流泵组和环流泵组； 所述涡轮泵组靠近所述泵进气口设置，所述涡轮泵组由若干串联的涡轮泵抽气单元组成，最后一级所述涡轮泵抽气单元采用短叶片结构； 所述径流泵组位于所述涡轮泵组的下方，所述径流本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种并联环流泵，包括泵壳以及固设于所述泵壳内壁的隔环，所述隔环的中心位置设有一沿所述隔环的轴向延伸的转轴，所述转轴上固设有一转子，其特征在于：所述转子外周缘凸设有若干间隔设置且与所述转子同轴的转子平盘，每相邻两所述转子平盘之间的间隔形成一抽气槽，所述若干抽气槽互相并联，所述隔环上设有至少一组插入所述抽气槽的堵块，所述隔环上开设有位于所述堵块两侧的进气口和排气口，所述进气口和排气口分别相连，组成自外向外抽气的并联环流泵。

【技术特征摘要】
1.一种并联环流泵，包括泵壳以及固设于所述泵壳内壁的隔环，所述隔环的中心位置设有一沿所述隔环的轴向延伸的转轴，所述转轴上固设有一转子，其特征在于:所述转子外周缘凸设有若干间隔设置且与所述转子同轴的转子平盘，每相邻两所述转子平盘之间的间隔形成一抽气槽，所述若干抽气槽互相并联，所述隔环上设有至少一组插入所述抽气槽的堵块，所述隔环上开设有位于所述堵块两侧的进气口和排气口，所述进气口和排气口分别相连，组成自外向外抽气的并联环流泵。2.根据权利要求1所述的并联环流泵，其特征在于:所述抽气槽的截面为矩形或倒梯形。3.根据权利要求1所述的并联环流泵，其特征在于:最外侧的两所述转子平盘与隔环之间留有起隔离作用的工作间隙，其余所述转子平盘与隔环之间留有的工作间隙是最外侧的两所述转子平盘与隔环之间留有的工作间隙的1.5飞倍。4.根据权利要求1所述并联环流泵，其特征在于:所述转子平盘的外径相同，或者所述转子平盘的外径自进气侧至排气侧依次递增、或递减、或先递增后递减。5.根据权利要求1-4中任一项所述的并联环流泵，其特征在于:所述隔环紧靠上游抽气级的一侧开设有环形气体通道，所述环形气体通道与所述进气口相连。6.一种组合环流泵，包括外壳，所述外壳上开设有泵进气口和泵排气口，其特征在于:所述外壳内设有若干同轴设置且相互串联的如权利要求1~4中任一项所述的并联环流泵； 第一组所述并联环流泵的进气口与所述泵进气口相对应，第一组所述并联环流泵的排气口与第二组所述并联环流泵的进气口相对应；其余各组所述并联环流泵的进气口与上游并联环流泵的排气口相对应，其余各组所述并联环流泵的排气口与下游所述并联环流泵的进气口相对应，最后一组所述并联环流泵的排气口与所述泵排气口相对应，组成组合环流栗。7.一种并联环流泵，包括泵壳以及固设于所述泵壳内壁的隔环，所述隔环的中心位置设有一沿所述隔环的轴向延伸的转轴，所述转轴上固设有一转子，其特征在于:所述转子外周缘凸设有若干间隔设置且与所述转子同轴的转子平盘，每相邻两所述转子平盘之间的间隔形成一抽气槽，所述若干抽气槽互相并联，所述隔环上设有至少一组插入所述抽气槽的堵块；其特征在于: 所述抽气槽的槽底与所述转子分离，所述抽气槽的槽底与所述堵块相连，所述堵块顺着气流方向倾斜； 所述隔环紧靠所述堵块的一侧设有排气口，所述槽底紧靠所述堵块的另一侧设有进气口 ；或者，所述隔环紧靠所述堵块的一侧设有进气口，所述槽底紧靠所述堵块的另一侧设有排气口 ； 所述转子平盘靠近所述转轴部位开设有气体通道； 所述进气口、排气口和气体通道均与所述抽气槽相通，组成自内向外或自外向内抽气的并联环流泵。8.根据权利要求7所述的并联环流泵，其特征在于:所述抽气槽的截面为矩形或倒梯形； 最外侧的两所述转子平盘与所述隔环之间留有起隔离作用的工作间隙，其余所述转子平盘与所述隔环之间留有的工作间隙是最外侧的两所述转子平盘与所述隔环之间留有的工作间隙的1.5~5倍； 所述转子平盘的外径相同，或者所述转子平盘的外径自进气侧至排气侧依次递增、或递减、或先递增后递减。9.一种卧式复合环流泵，包括外壳，所述外壳上开设有泵进气口和泵排气口，其特征在于: 所述外壳内依次设有若干同轴设置且相互串联的径流泵组和环流泵组，所述径流泵组靠近所述泵进气口设置，所述环流泵组靠近所述泵排气口设置； 所述径流泵组由若干对径流泵串联组成，每对所述径流泵由单个或若干并联的自外向内的径流泵抽气单元以及单个或若干并联的自内向外的径流泵抽气单元串联组成，所述自外向内的径流泵抽气单元和所述自内向外的径流泵抽气单元之间设有动密封； 靠近所述泵进气口的所述径流泵的第一组自外向内的径流泵抽气单元的外侧开设有径向气体通道，靠近所述环流泵的所述径流泵的最后一组自内向外的径流泵抽气单元的外侧开设有环形气体通道； 所述环流泵组位于所述径流泵组的两侧，所述环流泵组由若干级并联环流泵串联组成，所述环流泵组的第一级并联环流泵采用如权利要求5所述的带环形气体通道的并联环流泵，所述环流泵组其余的并联环流泵采用如权利要求1~4中任一项所述的不带环形气体通道的并联环流泵。10.一种立式复合环流泵，包括外...

【专利技术属性】
技术研发人员：储继国，
申请(专利权)人：储继国，
类型：发明
国别省市：